Kundenspezifische Turbopumpeneinheit
Arbeitsprinzip
Das Gaskreislaufschema der Molekularpumpe, wie in der obigen Abbildung dargestellt, wird im Allgemeinen zum Testen der Leistung von Molekularpumpen oder verschiedenen wissenschaftlichen Nachweisgeräten verwendet und zeichnet sich dadurch aus, dass die Vakuumkammereinrichtungen und die Materialien relativ fest sind Die Vakuumkammer muss für den Innenbetrieb nicht häufig geöffnet werden.Wenn die vordere Stufe die mechanische Drehflügelpumpe des Ölmediums verwendet, muss das Luftablassventil installiert werden.Das Entlüftungsventil der Trennwand muss mit der Vorpumpe verriegelt sein, um sicherzustellen, dass der Öldampf und sogar das Öl nicht in die Molekularpumpe gesaugt werden, nachdem die mechanische Pumpe ausgeschaltet wurde.Einige mechanische Rotorblattpumpen verfügen über eigenständige Entlüftungsventile, um einen Langzeitgebrauch zu vermeiden, und die Vorrohre sind überall mit Öl bedeckt und die Verschmutzung ist schwerwiegend.
Technische Indikatoren
1.Die Einheit ist eine bewegliche Wagenstruktur, die den Anforderungen des Auspuffs an verschiedenen Positionen gerecht werden kann
2. Der Vakuumgrad der Anlage ist besser als 8×10-4 Pa, nachdem die Molekularpumpe auf 400 Hz hochgefahren wurde, besser als 5×10-5 Pa innerhalb von 30 Minuten, und das Endvakuum beträgt 8×10-7 Pa.
3. Das Gerät ist mit einem Vorabsaugsystem ausgestattet, das den Ersatz-, Vorvakuum- und Hochvakuum-Absaugstrom ohne Stoppen der Molekularpumpe realisieren kann, was die Absaugzeit verkürzt und die Arbeitseffizienz effektiv verbessert.
