Verbundmolekularpumpen der EV-Serie
Technische Daten der EV-Serie
| Modell | EV-600 EV-600F | EV-1200 EV-1200F | EV-1600 EV-1600F | ||||
| Einlassflansch (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
| Auslassflansch (mm) | 40 KF | 40 KF | 50 KF | ||||
| Pumpgeschwindigkeit (L/S) | 600 | 1200 | 1600 | ||||
| Kompressionsrate | N2 | >109 | >109 | >109 | |||
| H2 | >8X103 | >1X104 | >1X104 | ||||
| Ultimatives Vakuum (Pa) | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | |
| Drehzahl (U/min) | 24000 | 24000 | 24000 | ||||
| Vibration | ≤0,1 μm | ≤0,1 μm | ≤0,15 μm | ||||
| Hochlaufzeit (min) | <4,5 | <5 | <6 | ||||
| Vorpumpe | 4-8 L/S | 8-15 L/S | 15 L/S | ||||
| Kühlungsmethode | Wasser-(Luft-)Kühlung | Wasser-(Luft-)Kühlung | Wasser-(Luft-)Kühlung | ||||
| Kühlwassertemperatur (℃) | ≤20 | ≤20 | ≤20 | ||||
| Umgebungstemperatur (℃) | ≤35 | ≤35 | ≤35 | ||||
| Kühlwasserdurchflussmenge | 1-2 l/min | 1-2 l/min | 1-2 l/min | ||||
| Ausheiztemperatur (℃) | <120 | <120 | <120 | ||||
| Heizleistung (w) | <250 | <300 | <300 | ||||
| Heizeingangsspannung (V) | AC220 | AC220 | AC220 | ||||
| Montage | Vertikal ±5° | Vertikal ±5° | Vertikal ±5° | ||||
| Gewicht (kg) | ≈25 | ≈29 | ≈31 | ||||
Atmosphärische Pumpkurve der Verbindung
Molekularpumpe
Verdichtungsverhältniskurve von Stickstoff und Wasserstoff
durch zusammengesetzte Molekularpumpe
Installationsabmessungstabelle der Compound-Molekularpumpe der EV-Serie
| Modell | EV-600 | EV-1200 | EV-1600 | ||||
| Einlassflansch (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
| D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 | |
| D2 | Φ212 | Φ212 | Φ237 | Φ237 | Φ274 | Φ274 | |
| D3 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ296 | Φ296 | |
| D4 | ¨145,7 | ¨145,7 | ¨167,6 | ¨167,6 | ¨183,9 | ¨183,9 | |
| H1 | 375 | 375 | 405 | 405 | 393 | 393 | |
| H2 | 235 | 235 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
| H3 | 238 | 238 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
| H4 | 108 | 108 | 113 | 113 | 110 | 110 | |
| H5 | 4 | 4 | 19 | 19 | 16 | 16 | |
| L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 160 | 160 | |
| L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 176 | 176 | |
| Schraubenloch für Pumpenfuß | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | |
| Auslassflansch (mm) | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF50 | KF50 | |
Luftgekühlte Molekularpumpen der EV-Serie
Die luftgekühlte Verbundmolekularpumpe der EV-Serie besteht aus einer Turbomolekularpumpe und einer Scheibentraktionspumpe.Es verfügt über die Eigenschaften einer hohen Pumpgeschwindigkeit und eines Kompressionsverhältnisses für den Molekularfluss einer Turbomolekularpumpe, einer hohen Pumpgeschwindigkeit und eines Kompressionsverhältnisses für einen hohen Druck einer Traktionspumpe und erweitert den Anwendungsbereich der Molekularpumpe.
Die Verbindungsmolekularpumpe hat keine Selektivität und keinen Memory-Effekt auf das gepumpte Gas.Aufgrund ihres hohen Kompressionsverhältnisses gegenüber dem Gas mit großem Molekulargewicht kann die Pumpe ein sauberes Hoch- und Ultrahochvakuum ohne Kühlfalle und Ölleitblech erzeugen.Es wird häufig in verschiedenen Bereichen der Elektronik, Metallurgie, chemischen Industrie, wissenschaftlichen Forschung und Vakuumtechnik eingesetzt.
| Modell | EV-600F | EV-1200F | EV-1600F | |||
| Einlassflansch (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K |
| D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 |
| D2 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ274 | Φ274 |
| D3 | ¨145,7 | ¨145,7 | ¨167,6 | ¨167,6 | ¨183,8 | ¨183,8 |
| H1 | 455 | 455 | 472 | 472 | 465 | 465 |
| H2 | 217,5 | 217,5 | 210 | 210 | 214,5 | 214,5 |
| H3 | 151 | 151 | 151 | 151 | 153 | 153 |
| L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 161 | 161 |
| L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 166 | 166 |
| Schraubenloch für Pumpenfuß | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 |
