Turbomolekularpumpe der EV-Serie
Profilabmessungen und Montageanschlüsse von Turbomolekularpumpen
Die Geschwindigkeitskurve der Turbo-Molekularpumpe
Pumpen von Stickstoff und Wasserstoff
Die Geschwindigkeitskurve von Turbomolekular
in die Atmosphäre pumpen
Technische Daten zum EV-3600
Einlassflansch (mm) | 400 ISO - K | |
Auslassflansch (mm) | 100 ISO - K | |
Pumprate (L/S) | 3600 | |
Kompressionsrate | N2 | >108 |
H2 | >5X102 | |
Enddruck (Pa) | <2X10-6 | |
Nenngeschwindigkeit (U/min) | 13500 | |
Vibration | ≤0,15 μm | |
Startzeit (Min.) | <11 | |
Stoppzeit (min) | <20 | |
Empfohlene Rotationspumpe | 30-70 L/S | |
Kühlungsmethode | Wasserkühlen | |
Temperatur der Wasserkühlung (℃) | ≤25 | |
Der Durchfluss der Wasserkühlung (l/min) | 2 | |
Backtemperatur des Pumpenkörpers | <120℃ | |
Installationsmodus | Vertikal ±5° | |
Gewicht (kg) | ≈100 |
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