Großes Saugvermögen, langlebig, geräuscharme DRV-Drehschieber-Luftpumpe, Vakuumpumpe
Die Vakuumpumpe der DRV-Serie ist eine zweistufige ölgedichtete Drehschieber-Vakuumpumpe, die für Anwendungen im niedrigen und mittleren Vakuumbereich geeignet ist und hauptsächlich zum Entfernen von Luft und anderen trockenen Gasen verwendet wird.Es ist eines der Hauptgeräte für niedriges und mittleres Vakuum und kann allein oder als Vorgerät verwendet werden
Pumpe anderer Vakuumpumpen.
Die Vakuumpumpe zeichnet sich durch zuverlässige Laufleistung, weniger Verschleißteile, geringe Vibration, geringe Geräuschentwicklung und hohe Effizienz aus.
Die Vakuumpumpe der SV-Serie wird aus ausländischer Spitzentechnologie importiert, und die Schlüsselkomponenten sind importierte Komponenten oder importiert
Materialien.Die Vakuumpumpe der DRV-Serie kann ähnliche ausländische Produkte vollständig ersetzen.
Broschüre für das Molekularpumpenprodukt der EVFB-Serie
Modell:
Integrierte Molekularpumpe EVFB-100/301
Integrierte Molekularpumpe EVFB-160/401
EVFB-160/450D Anti-Vibrations-Molekularpumpe
Integrierte Molekularpumpe EVFB-160/701Compound
Integrierte Molekularpumpe EVFB-200/1401
EVFB-250/2201 Compound-integrierte Molekularpumpe
EVFB-160/701Verbindungsmolekularpumpe
EVFB-200/1401 Verbundmolekularpumpe
EVFB-250/2201 Verbundmolekularpumpe
EVFB-400/3600 Turbo-Molekularpumpe
EVFB-400/4500 Turbo-Molekularpumpe
Produktübersicht
Die Molekularpumpe ist eine Art rotierende Impulsübertragungs-Vakuumpumpe mit hoher Geschwindigkeit, ihr Arbeitsdruckbereich beträgt im Allgemeinen 10-1Pa ~ 10-7Pa ist eines der wichtigsten Vakuumerfassungsgeräte zur Erzielung von Hochvakuum und Ultrahochvakuum.Die Molekularpumpe bietet die Vorteile einer schnellen Startgeschwindigkeit, eines großen Arbeitsbereichs, eines geringen Stromverbrauchs, einer hohen Sauberkeit und einer einfachen Wartung.
Bei den in diesem Musterbuch beschriebenen Molekularpumpenprodukten handelt es sich um Produkte der zweiten Generation
Die vom Unternehmen neu auf den Markt gebrachten Produkte sind hauptsächlich für industrielle Vakuum- und wissenschaftliche Forschungsbereiche konzipiert und optimiert, darunter die erste Serie industrieller Vakuum-Molekularpumpenprodukte mit integrierten Steuerungen und flexiblen Anwendungsszenarien.Je nach Kaliber gibt es hauptsächlich DN100, DN160, DN200, DN250 und DN400 sowie weitere Produkte.
Fettgeschmierte integrierte Molekularpumpe
Hauptmerkmale dieser Produktserie:
(1) Integrierter Controller: Integriertes Controller-Design, erleichtert die Systemintegration, ein wichtiger Start-Stopp.
(2) Präzisionslager: Präzisions-Keramikkugellager mit Fettschmierung, in jedem Winkel installierbar;
(3) Hohe Zuverlässigkeit: Gesamtrotoren, BLDC-Antriebstechnologie;
(4) Funktionsvielfalt: Umfassendes Zubehörsortiment. Kundenspezifische Lösungen sind verfügbar.
(5) Bietet eine einstellbare Geschwindigkeitsfunktion, um den Anforderungen einer Vielzahl von Pumpgeschwindigkeiten gerecht zu werden.
Diese Produktreihe eignet sich hauptsächlich für PVD-, CVD-, Flüssigkristallplatten- und andere industrielle Beschichtungen.Massenspektrometrie, Hochenergiephysik, Vakuumlecksuche, Medizin und Biotechnik sowie andere wissenschaftliche Forschungsbereiche.
Technische Daten der Molekularpumpe
| Modell | EVFB-100/301 | EVFB-160/401 | EVFB-160/450D（Mass angefertigt） | ||||
| ☑Der Vakuum Parameter | |||||||
| Pumpen Geschwindigkeit (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | He | |
| 300 | 230 | 460 | 380 | 38 | 310 | ||
| Ultimativ Druck | < 5×10-6 Pa (LF);< 5×10 -7 Pa (CF) | < 8×10 -6 Pa (LF) < 8×10 -7 Pa (CF) | |||||
| Kompression Verhältnis | > | > | > | > | > 1×108 | > 1×10 3 | |
| Maximaler Dauereinlassvorss ure | 10 Pa | 2Pa | 10 Pa | 2 Pa | 20 | 5 Pa | |
| Maximaler kontinuierlicher Vordruck | 300 | 200 | 300 | 200 Pa | 20 | 10 Pa | |
| Max. Vorleitungsdrucktoleranz | 1000 | 500 | 1000 | 500 Pa | 50 | 20 Pa | |
| ☑Körperlich Parameter | |||||||
| Einlass Flansch | DN100 ISO-K (LF) oder CF | DN160 ISO-K (LF) oder CF | |||||
| Vorlinie Flansch | DN25 ISO-KF oder DN40KF (optional) | ||||||
| Säubern Flansch | DN16 ISO-KF | ||||||
| Gewicht | 9,6 kg（ISO-K | 10 kg (ISO-K) | |||||
| 10 kg (CF) | 11 kg (CF) | ||||||
| Vibration | ≤0,05 μm | ||||||
| Lärm | ≤55 dB (Standard-Luftkühlung) | ||||||
| Lager | Fettgeschmiertes Keramikkugellager | ||||||
| Betriebs Position | Beliebig | ||||||
| Oper.ambient Magnetisch Feld | ≤3 mT (die größten 10 mT, muss angepasst werden) | ||||||
| Oper.ambie nt | Luftkühlung | 5 ~ 35 ℃ | |||||
| Wasserkühlen | 5 ~ 40 ℃ | ||||||
| Kühlwasserbedarf | Wassertemperatur: 15–30 °C; Druck: 0,15 MPa; pH-Wert: 6–8, klar, ölfrei; Durchfluss: ≥ 1 l/min | ||||||
| Empfohlen Vorpumpe | 2~6 l/s | 3~8 l/s | |||||
| ☑Regler Parameter | |||||||
| Regler | EVFB-II | ||||||
| Rotation Geschwindigkeit | 48000 U/min | 36000 U/min | |||||
| Niedrig Geschwindigkeit | 33600 U/min | 25200 U/min | |||||
| Start-up Zeit | ≤5min | ||||||
| Stromspannung | 48VAC±2% | ||||||
| Kommunikation Modus | RS-485 | ||||||
| Modell | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | ||||
| ☑Der Vakuum Parameter | |||||||
| Ultimativ Druck (Pa) | <5x10-6（LF）；<5x10-7（CF） | ||||||
| Pumpen Geschwindigkeit (L/s) | N2 | He | N | He | N2 | He | |
| 6 | 5 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | ||
| Kompression Verhältnis | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | |
| Maximaler Dauereinlassvorss ure(Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | |
| Maximaler kontinuierlicher Vordruck (Pa) | 30 | 2 | 3 | 2 | 2 | 1 | |
| Maxforelinepress Uretoleranz (Pa) | 10 | 5 | 1000 | 5 | 5 | 2 | |
| ☑Körperlich Parameter | |||||||
| Einlass Flansch | DN160 ISO-K (LF) oder CF | DN200 ISO-K （LF）或 CF | DN250 ISO-K (LF) oder | ||||
| Vorlinie Flansch | DN25 ISO-KF oder KF40 (optional) | DN40 ISO-KF oder KF50 (optional) | |||||
| Säubern Flansch | DN16 ISO-KF | ||||||
| Empfohlen Vorpumpe (L/s) | 4~ | 8~ | 16~2 | ||||
| Gewicht（kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ||||
| 23 (CF) | 34 | 45 (CF) | |||||
| Vibration | ≤ | ||||||
| Lärm (dB) | ≤ | ||||||
| Lager | Fettgeschmiertes Keramikkugellager | ||||||
| Betriebs Position | Beliebig | ||||||
| Magnetisch Feld Intensität (mT) | ≤3 (Der größte 10 mT, muss angepasst werden) | ||||||
| Oper.ambient Temperatur | Luft Kühlung | 5~35℃ | |||||
| Wasser Kühlung | 5~40℃ | ||||||
| Kühlung Wasser Anforderungen | Wassertemperatur: 15–25 °C, Druck: 0,15 MPa, pH-Wert 6–8, offensichtlich ölfrei ；Durchfluss: ≥1,5 l/min | ||||||
| ☑Regler Parameter | |||||||
| Regler | EVFB-III-A | ||||||
| Kommunikation Modus | RS-485 | ||||||
| Stromspannung（V） | 220 V Wechselstrom ±10 % | ||||||
| Frequenz（Hz） | 50/60±5 % | ||||||
| Maximal Eingang Leistung（W） | 100 | ||||||
| Start stop Kontrolle Modus | Controller-Tasten steuern Start und Stopp / RS485-Controller Start und Stopp / DB15 steuern Start und Stopp | ||||||
| Schutzmaßnahmen | Controller-Überstrom, Überspannung, Unterspannung, Überhitzungsschutz, Molekularpumpen-Überstrom, Überlastung, Überhitzungsschutz usw | ||||||
| Rotation Geschwindigkeit (U/min) | 36000 ± 0,1 % | 30000 ± 0,1 % | 24000 ± 0,1 % | ||||
| Niedrig Geschwindigkeit (U/min) | 25200 ± 0,1 % | 21000 ± 0,1 % | 16800 ± 0,1 % | ||||
| Aktuell（A） | ≤0,6 | ≤1 | ≤1 | ||||
| Schutz Sicherung（A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | ||||
| Startzeit（Mindest） | ~5 | ~6 | ~7 | ||||
| Ausfallzeit（Mindest） | ~5 | ~10 | ~12 | ||||
Gesamtabmessungen
| Modell | DN | d1 | h | h1 | h2 | d2 | n |
| EVFB-100/301 | 100 LF | 130 | 253,5 | 180 | 170 | — | — |
| 100 CF | 152 | 274,5 | 201 | 191 | 130.3 | 16 | |
| EVFB-160/401 | 160 LF | 180 | 239,5 | 169,5 | 159,5 | — | — |
| 160 CF | 202 | 238,5 | 168,5 | 158,5 | 181 | 20 | |
| EVFB-160/450D | 160 LF | 180 | 243 | 169,5 | 159,5 | — | — |
| 160 CF | 202 | 242 | 168,5 | 158,5 | 181 | 20 |
| Modell | DN | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 | 160 LF | 180 | 218,5 | 241,8 | 336,8 | 201.8 | 124,8 |
| EVFB-160/701 | 160CF | 202 | 218,5 | 268,8 | 359,8 | 224,8 | 124,8 |
| EVFB-200/1400 | 200 LF | 240 | 267 | 257,5 | 352,5 | 231,5 | 155.1 |
| EVFB-200/1401 | 200CF | 253 | 267 | 274,5 | 369,5 | 248,5 | 155.1 |
| EVFB-250/2200 | 250 LF | 290 | 296 | 229,8 | 324,8 | 203,8 | 165,3 |
| EVFB-250/2201 | 250CF | 305 | 296 | 259,8 | 354,8 | 233,8 | 165,3 |
Bestellung Information
| Nummer | Produkt Modell | Produkt Code | Zubehör | BefehlNummer | Erklären |
|
1 |
EVFB-100/301(LF) |
A3123 | Standard-Molekularpumpe | A3123 | Die Standardpumpe (Luftkühlung ist standardmäßig Standard) |
| Zubehör für Spülventile(kleiner Durchfluss) | A3123-A | Die Standardpumpe + Spülventilzubehör (kleiner Durchfluss) | |||
| Wasserkühlungskomponenten | A3123-B | Die Standardpumpe + Wasserkühlungskomponenten (luftgekühlte Komponenten ersetzen) | |||
| Zubehör für Spülventile (kleiner Durchfluss) 、 Wassergekühlte Komponenten | A3123-C | Die Standardpumpe + Spülventilzubehör (kleiner Durchfluss) + wassergekühlte Komponenten (luftgekühlte Komponenten ersetzen) | |||
|
2 |
EVFB-100/301(CF) |
A3124 | Standard-Molekularpumpe | A3124 | Die Standardpumpe (Luftkühlung ist standardmäßig Standard) |
| Zubehör für Spülventile(kleiner Durchfluss) | A3124-A | Die Standardpumpe + Spülventilzubehör (kleiner Durchfluss) | |||
| Wasserkühlungskomponenten | A3124-B | Die Standardpumpe + Wasserkühlungskomponenten (luftgekühlte Komponenten ersetzen) | |||
| Zubehör für Spülventile (kleiner Durchfluss) 、 Wassergekühlte Komponenten | A3124-C | Die Standardpumpe + Spülventilzubehör (kleiner Durchfluss) + wassergekühlte Komponenten (luftgekühlte Komponenten ersetzen) | |||
|
3 |
EVFB-160/401(LF) |
A3127 | Standard-Molekularpumpe | A3127 | Die Standardpumpe (Luftkühlung ist standardmäßig Standard) |
| Zubehör für Spülventile(kleiner Durchfluss) | A3127-A | Die Standardpumpe + Spülventilzubehör (kleiner Durchfluss) | |||
| Wasserkühlungskomponenten | A3127-B | Die Standardpumpe + Wasserkühlungskomponenten (luftgekühlte Komponenten ersetzen) | |||
| Zubehör für Spülventile (kleiner Durchfluss) 、 Wassergekühlte Komponenten | A3127-C | Die Standardpumpe + Spülventilzubehör (kleiner Durchfluss) + wassergekühlte Komponenten (luftgekühlte Komponenten ersetzen) | |||
|
4 |
EVFB-160/401(CF) |
A3128 | Standard-Molekularpumpe | A3128 | Die Standardpumpe (Luftkühlung ist standardmäßig Standard) |
| Zubehör für Spülventile(kleiner Durchfluss) | A3128-A | Die Standardpumpe + Spülventilzubehör (kleiner Durchfluss) | |||
| Wasserkühlungskomponenten | A3128-B | Die Standardpumpe + Wasserkühlungskomponenten (luftgekühlte Komponenten ersetzen) | |||
| Zubehör für Spülventile | A3128-C | Die Standardpumpe + Spülventil |
| (kleiner Durchfluss) 、 Wassergekühlte Komponenten | Zubehör (kleiner Durchfluss) + Wasserkühlungskomponenten (ersetzenluftgekühlte Komponenten） | ||||
|
5 |
EVFB-160/450D(LF) |
A3129 | Standard-Molekularpumpe | A3129 | Die Standardpumpe (Luftkühlung ist standardmäßig Standard) |
| Zubehör für Spülventile(kleiner Durchfluss) | A3129-A | Die Standardpumpe + Spülventilzubehör (kleiner Durchfluss) | |||
| Wasserkühlungskomponenten | A3129-B | Die Standardpumpe + Wasserkühlungskomponenten (luftgekühlte Komponenten ersetzen) | |||
| Zubehör für Spülventile (kleiner Durchfluss) 、 Wassergekühlte Komponenten | A3129-C | Die Standardpumpe + Spülventilzubehör (kleiner Durchfluss) + wassergekühlte Komponenten (luftgekühlte Komponenten ersetzen) | |||
|
6 |
EVFB-160/450D(CF) |
A3130 | Standard-Molekularpumpe | A3130 | Die Standardpumpe (Luftkühlung ist standardmäßig Standard) |
| Zubehör für Spülventile(kleiner Durchfluss) | A3130-A | Die Standardpumpe + Spülventilzubehör (kleiner Durchfluss) | |||
| Wasserkühlungskomponenten | A3130-B | Die Standardpumpe + Wasserkühlungskomponenten (luftgekühlte Komponenten ersetzen) | |||
| Zubehör für Spülventile (kleiner Durchfluss) 、 Wassergekühlte Komponenten | A3130-C | Die Standardpumpe + Spülventilzubehör (kleiner Durchfluss) + wassergekühlte Komponenten (luftgekühlte Komponenten ersetzen) | |||
|
7 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139 | Standard-Molekularpumpe | A3139 | Die Standardpumpe (Wasserkühlung).ist standardmäßig Standard） |
| Zubehör für Spülventile | A3139-A | Die Standardpumpe + SpülventilZubehör | |||
| Lüfterkomponenten | A3139-B | Die Standardpumpe + Lüfter | |||
| Zubehör für Spülventile、Lüfterkomponenten | A3139-C | Die Standardpumpe + SpülventilZubehör + Lüfterkomponenten | |||
|
8 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140 | Standard-Molekularpumpe | A3140 | Die Standardpumpe (Wasserkühlung).ist standardmäßig Standard） |
| Zubehör für Spülventile | A3140-A | Die Standardpumpe + SpülventilZubehör | |||
| Lüfterkomponenten | A3140-B | Die Standardkomponenten für Pumpe und Lüfter | |||
| Zubehör für Spülventile、Lüfterkomponenten | A3140-C | Die Standardpumpe + SpülventilZubehör + Lüfterkomponenten | |||
|
9 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135 | Standard-Molekularpumpe | A3135 | Die Standardpumpe (Wasserkühlung ist standardmäßig Standard) |
| Zubehör für Spülventile | A3135-A | Die Standardpumpe + SpülventilZubehör | |||
| Lüfterkomponenten | A3135-B | Die Standardkomponenten für Pumpe und Lüfter | |||
| Zubehör für Spülventile、 | A3135-C | Die Standardpumpe + Spülventil |
| Lüfterkomponenten | Zubehör + Lüfterkomponenten | ||||
|
10 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136 | Standard-Molekularpumpe | A3136 | Die Standardpumpe (Wasserkühlung ist standardmäßig Standard) |
| Zubehör für Spülventile | A3136-A | Die Standardpumpe + SpülventilZubehör | |||
| Lüfterkomponenten | A3136-B | Die Standardkomponenten für Pumpe und Lüfter | |||
| Zubehör für Spülventile、 | A3136-C | Die Standardpumpe + SpülventilZubehör + Lüfterkomponenten | |||
|
11 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141 | Standard-Molekularpumpe | A3141 | Die Standardpumpe (Wasserkühlung ist standardmäßig Standard) |
| Zubehör für Spülventile | A3141-A | Die Standardpumpe + SpülventilZubehör | |||
| Lüfterkomponenten | A3141-B | Die Standardpumpe + Lüfter | |||
| Zubehör für Spülventile、Lüfterkomponenten | A3141-C | Die Standardpumpe + SpülventilZubehör + Lüfterkomponenten | |||
|
12 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142 | Standard-Molekularpumpe | A3142 | Die Standardpumpe (Wasserkühlung ist standardmäßig Standard) |
| Zubehör für Spülventile | A3142-A | Die Standardpumpe + SpülventilZubehör | |||
| Lüfterkomponenten | A3142-B | Die Standardpumpe + Lüfter | |||
| Zubehör für Spülventile、 | A3142-C | Die Standardpumpe + SpülventilZubehör + Lüfterkomponenten | |||
| 13 | EVFB-II | A3261 | - | A3261 | Molekularpumpen-Controller (geeignet für Molekularpumpen wie EVFB-100/301, EVFB-160/401, EVFB-100/450D). |
| 14 | EVFB-III-A | A3263 | - | A3263 | Molekularpumpen-Controller (geeignet für Molekularpumpen wie EVFB-160/701, EVFB-200/1401, EVFB-250/2201） |
Molekularpumpen mit getrennten Verbindungen
Hauptmerkmale dieser Produktserie:
(1) Getrennter Controller: AC220V-Stromversorgung, A-Taste Start-Stopp;
(2) Hohe Zuverlässigkeit: Gesamtrotoren, BLDC-Antriebstechnologie;
(3) Präzisionslager: Präzisions-Keramikkugellager, in jedem Winkel installierbar (nur fettgeschmierte Modelle);
(4) Funktionsvielfalt: Umfassendes Zubehörsortiment. Kundenspezifische Lösungen sind verfügbar.
(5) Bietet eine einstellbare Geschwindigkeitsfunktion, um den Anforderungen verschiedener Pumpgeschwindigkeiten gerecht zu werden. Diese Produktreihe ist hauptsächlich für PVD, CVD, Flüssigkristallplatten und andere Anwendungen geeignet
Industriebeschichtung, wissenschaftliche Forschung und andere Bereiche.
Technische Parameter der Molekularpumpe
| Modell | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | EVFB-400/3600 | EVFB-400/4500 | |||||
| ☑Der Vakuum Parameter | ||||||||||
| Enddruck (Pa) | <5x10-6（LF）；<5x10-7（CF） | |||||||||
| Pumpen Geschwindigkeit (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | H | N2 | He | N2 | He |
| 650 | 550 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | 3600 | 3000 | 4800 | 3500 | |
| Kompressionsrate | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | >1x108 | >6x102 | >1x108 | >8x103 |
| Maximal kontinuierlich EinlassDruck (Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | 0,05 | 0,02 | 0,03 | 0,01 |
| Maximalkontinuierlich Vorlinie | 300 | 200 | 300 | 200 | 200 | 100 | 50 | 35 | 40 | 30 |
| Max. Vorleitungsdrucktoleranz (Pa) | 1000 | 500 | 1000 | 500 | 500 | 200 | 340 | 160 | 160 | 80 |
| ☑Körperlich Parameter | ||||||||||
| Einlass Flansch | DN160 ISO-K (LF) oder CF | DN200 ISO-K (LF) oder CF | DN250 ISO-K (LF) oder CF | DN400 ISO-K (LF) oder CF | DN400 ISO-K (LF) oder CF | |||||
| Vorlinie Flansch | DN25 ISO-KF,KF40 (Optional) | DN40 ISO-KF, KF50 (optional) | DN100 ISO-K (LF) | DN100 ISO-K (LF)oderKF50 (optional) | ||||||
| Säubern Flansch | DN16 ISO-KF | / | DN16 ISO-KF | |||||||
| Empfohlen | 4~10 l/s | 8~16 l/s | 16~24 l/s | 30~70 l/s | ||||||
| Gewicht（kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ≈ 100 ISO-K(LF) | ≈ 83 ISO-K(LF) | |
| 23 (CF) | 34 (CF) | 45 (CF) | ≈ 105 (CF) | ≈ 88 (CF) | ||
| Vibration | ≤ 0,05 | ≤ 0,3 | ||||
| Lärm (dB) | ≤ 50 | ≤ 60 | ||||
| Lager | Fettgeschmiertes Keramikkugellager | Keramikkugellager | ||||
| Betriebs Position | Beliebig | Vertikal ±5° | ||||
| Oper.Ambient Magnetfeld | ≤ 3 mT (das größte 10 mT, muss angepasst werden) | ≤ 3mT | ||||
| Oper.Umgebungs Temperatur | Luft Kühlung | 5~35oC | / | / | ||
| Wasserkühlen | 5~40oC | |||||
| Kühlung Wasser Anforderungen | Wassertemperatur: 15–25 °C; Druck: 0,15 MPa; Durchfluss: ≥ 1,5 l/min | Durchfluss: ≥ 3 l/min | ||||
| ☑Regler Parameter | ||||||
| Getrennt Regler | EVFB-III-B（2U） | EVFB-VI (4U) | ||||
| Fernbedienung Kontrolle | Ultra-Distanzkontrolle (bitte wenden Sie sich an unsere Ingenieure) | |||||
| Kommunikation Modus | RS-485 | |||||
| Stromspannung（V） | Von 100 bis 240 VAC（± | 220VAC（±10%） | ||||
| Frequenz（Hz） | 50/60Hz±5% | |||||
| Maximale Eingangsleistung（W） | 1000 | 1500 | ||||
| Start stop Kontrolle Modus | Controller-Tasten steuern Start und Stopp / RS485-Controller Start und Stopp / DB15 steuern Start und Stopp | |||||
| Schutzmaßnahmen | Controller-Überstrom, Überspannung, Unterspannung, Überhitzungsschutz, Molekularpumpen-Überstrom,Überlastung, Überhitzungsschutz usw | |||||
| Rotation Geschwindigkeit (U/min) | 36000 ± 0,1 % | 30000 ± 0,1 % | 24000 ± 0,1 % | 13500 ± 0,1 % | 16200 ± 0,1 % | |
| Niedrig Geschwindigkeit (U/min) | 25200 ± 0,1 % | 21000 ± 0,1 % | 16800 ± 0,1 % | / | ||
| Aktuell（A） | ≤ 0,6 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 5 | ||
| Schutz Sicherung（A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | 12 | ||
| Start-up Zeit（Mindest） | ~5 | ~6 | ~7 | ~20 | ||
| Ausfallzeit（Mindest） | ~5 | ~10 | ~12 | ~30 | ||
| Oper. Umgebungs Zustand | Keine korrosiven Gase und offensichtliche Staubpartikel; Umgebungstemperatur: -10℃~50℃；UmgebungLuftfeuchtigkeit: ≤ 90 %, Vibrationsintensität: ≤ 0,5 g | |||||
Gesamtdimension
| Modell | D N | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 EVFB-160/701 | 160 LF | 180 | 218,5 | 241,8 | 336,8 | 201.8 | 124,8 |
| 160CF | 202 | 218,5 | 268,8 | 359,8 | 224,8 | 124,8 | |
| EVFB-200/1400 EVFB-200/1401 | 200 LF | 240 | 267 | 257,5 | 352,5 | 231,5 | 155.1 |
| 200CF | 253 | 267 | 274,5 | 369,5 | 248,5 | 155.1 | |
| EVFB-250/2200 EVFB-250/2201 | 250 LF | 290 | 296 | 229,8 | 324,8 | 203,8 | 165,3 |
| 250CF | 305 | 296 | 259,8 | 354,8 | 233,8 | 165,3 |
Abmessungen der Turbomolekularpumpe EVFB-400/3600
Abmessungen der Turbomolekularpumpe EVFB-400/4500
Aussehen des getrennten Controllers
EVFB-III-B (2U) separater Controller
EVFB-VI (4U) separater Controller
Befehl Information
| Nummer | Produkt Modell | Produkt Code | Zubehör | Befehl Nummer | Erklären |
|
1 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139-F | Standard-Molekularpumpe | A3139-F | Die Standardpumpe (Wasserkühlung ist standardmäßig Standard) |
| Zubehör für Spülventile | A3139-FA | Das Standardzubehör für Pumpe und Spülventil | |||
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| Zubehör für Spülventile, Lüfterkomponenten | A3139-FC | Die Standardpumpe + Spülventilzubehör + Lüfterkomponenten | |||
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2 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140-F | Standard-Molekularpumpe | A3140-F | Die Standardpumpe (Wasserkühlung ist standardmäßig Standard) |
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| Zubehör für Spülventile, Lüfterkomponenten | A3140-FC | Die Standardpumpe + Spülventilzubehör + Lüfterkomponenten | |||
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3 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135-F | Standard-Molekularpumpe | A3135-F | Die Standardpumpe (Wasserkühlung) ist standardmäßig standardmäßig） |
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4 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136-F | Standard-Molekularpumpe | A3136-F | Die Standardpumpe (Wasserkühlung ist standardmäßig Standard) |
| Zubehör für Spülventile | A3136-FA | Das Standardzubehör für Pumpe und Spülventil | |||
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5 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141-F | Standard-Molekularpumpe | A3141-F | Die Standardpumpe (Wasserkühlung ist standardmäßig Standard) |
| Zubehör für Spülventile | A3141-FA | Das Standardzubehör für Pumpe und Spülventil | |||
| Lüfterkomponenten | A3141-FB | Die Standardkomponenten für Pumpe und Lüfter | |||
| Zubehör für Spülventile, Lüfterkomponenten | A3141-FC | Die Standardpumpe + Spülventilzubehör + Lüfterkomponenten | |||
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6 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142-F | Standard-Molekularpumpe | A3142-F | Die Standardpumpe (Wasserkühlung ist standardmäßig Standard) |
| Zubehör für Spülventile | A3142-FA | Das Standardzubehör für Pumpe und Spülventil | |||
| Lüfterkomponenten | A3142-FB | Die Standardkomponenten für Pumpe und Lüfter | |||
| Zubehör für Spülventile | A3142-FC | Die Standardpumpe + Spülventil |
| Lüfterkomponenten | Zubehör + Lüfterkomponenten | ||||
| 7 | EVFB-400/3600(LF) | A3187 | Standard-Molekularpumpe | A3187 | Die Standardpumpe (Wasserkühlung). ist standardmäßig Standard） |
| 8 | EVFB-400/3600(CF) | A3188 | Standard-Molekularpumpe | A3188 | Die Standardpumpe (Wasserkühlung). ist standardmäßig Standard） |
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9 |
EVFB-400/4500(LF) |
A3185 | Standard-Molekularpumpe | A3185 | Die Standardpumpe (Wasserkühlung ist standardmäßig Standard) |
| Zubehör für Spülventile | A3185-A | Das Standardzubehör für Pumpe und Spülventil | |||
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10 |
EVFB-400/4500(CF) |
A3186 | Standard-Molekularpumpe | A3186 | Die Standardpumpe (Wasserkühlung ist standardmäßig Standard) |
| Zubehör für Spülventile | A3186-A | Das Standardzubehör für Pumpe und Spülventil | |||
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11 |
EVFB-III-HMI |
A3261-1 |
Handbedientes Bedienfeld |
A3261-1 | Vom Kunden optional, geeignet für Molekularpumpen wie EVFB-160/701, EVFB-200/1401, EVFB-250/2201 |
| 12 | EVFB-VI | A3270 | Separater Controller (4HE) | A3270 | Geeignet für Turbomolekularpumpen wie EVFB-400/3600, EVFB-400/450 |
| 13 | EVFB-III-B | A3264 | Separater Controller (2U) | A3264 | Geeignet für Molekularpumpen wie EVFB-160/701, EVFB-200/1401 und EVFB-250/2201 (getrennter Typ) |
