Massendurchflussregler Massendurchflussmesser CS200
Merkmale
1. Hohe Genauigkeit und schnelle Reaktion
Die Genauigkeit des CS200 MFC wurde auf ±1,0 % des SP verbessert und die fortschrittlichsten Modelle haben eine reduzierte Reaktionszeit von weniger als 0,8 Sekunden.
2. Niedriger Nullpunktdrift und Temperaturkoeffizient
Die Erfindung einer neuen Sensortechnologie ermöglicht es dem CS200 MFC, Stabilität zu bewahren und Temperaturschwankungen standzuhalten.Ohne einen Auto-Zero-Verstärker beträgt die erwartete Nullpunktdrift weniger als 0,6 %FS/Jahr und der Temperaturkoeffizient weniger als 0,02 %FS/℃ (Null), 0,05 %FS/℃ (Spanne).
3. Metallversiegelte Modelle und hohe Reinheit
Der benetzte Strömungsweg des CS200 MFC der Linie besteht aus oberflächenpassiviertem Edelstahl.Alle CS200 MFCs werden in Sevenstars ultrareinen Reinräumen der Klasse 100 gemäß den Standards SEMI und ISO 9001 zusammengebaut.
4. Kompatible Schnittstellen
Der CS200 MFC ist mit den folgenden Schnittstellen kompatibel, die vom Kunden ausgewählt werden können: ±8 V–±16 V doppelseitiges Netzteil und +14 V–+28 V einseitiges Netzteil;digitaler oder analoger Signaleingang und -ausgang;Mechanische Abmessungen nach SEMI-Standard;und RS-485- oder DeviceNet-Kommunikationsmodul.
5. Verschiedene Funktionen
Leistungsstarke Kundensoftware ist standardmäßig bei jedem Modell enthalten, während zusätzliche Funktionen wie Mehrgas, Mehrbereich, automatische Nullstellung, Alarme, Sanftanlauf und Verzögerung als Kundenauswahl verfügbar sind.
Spezifikation
| CS200 | |||||||
| Typ | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Vollausschlagsbereich (N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Genauigkeit | ±1,0 % SP (≥35 % FS) ±0,35 % FS?(<35 % FS) | ||||||
| Linearität | ±0,5 % FS | ||||||
| Wiederholbarkeit | ±0,2 % FS | ||||||
| Reaktionszeit | ≤1 Sek | ≤0,8 Sek. (SEMI E17-0600) | |||||
| Ventilruheposition | Normalerweise geschlossen oder | Kein Ventil | Normalerweise geschlossen oder | Kein Ventil | Normalerweise geschlossen oder | Kein Ventil | |
| Normalerweise offen (100 sccm ≤ FS ≤ 5 slm) | Normalerweise offen (100 sccm ≤ FS ≤ 5 slm) | Normalerweise offen (100 sccm ≤ FS ≤ 5 slm) | |||||
| Differenzdruck | 0,05 ~ 0,35 MPa (Durchfluss ≤ 10 slm) | ＜0,02 MPa | (0,05～0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02 MPa | (0,05～0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02 MPa | |
| 0,1 ~ 0,35 MPa (10 slm < Durchfluss ≤ 30 slm) | (0,1～0,35) MPa（＞10slm） | (0,1～0,35) MPa（＞10slm） | |||||
| 0,2 ~ 0,45 MPa (Durchfluss > 30 slm) | |||||||
| Maximaler Betriebsdruck | 0,45 MPa | |||||
| Temperatur | Null: ≤ ± 0,05 % FS/℃; | Null: ≤ ± 0,02 % FS/℃;Spanne: ≤ ± 0,05 % FS/℃ | ||||
| Koeffizient | Spanne: ≤ ± 0,1 % FS/℃ (Durchfluss ≤ 30 slm) | |||||
| Spanne: ≤ ±0,2 % FS/℃ (Durchfluss > 30 slm) | ||||||
| Beweisdruck | 3MPa (435pisg) | |||||
| Nulldrift | ＜0,6 % FS pro Jahr ohne Autozero | |||||
| Leckintegrität | 1×10-9 atm·cc/s He | 1×10-10atm·cc/s He | ||||
| Benetzte Materialien | Viton; | Metall? (Edelstahl V/V, 5Ra) | Metall | |||
| Oberflächenchemie | —— | Cr/Fe-Verhältnis > 2,0;CrO-Dicke > 20 Angström | ||||
| Oberflächenfinish | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Betriebs-Temperatur | （5～45）℃ | （0～50）℃ | ||||
| Eingangssignal | Digital: RS485 oder ProfiBus | N / A | Digital: RS485 oder ProfiBus oder DeviceNetTM | N / A | Digital: RS485 oder ProfiBus oder DeviceNetTM | N / A |
| oder DeviceNetTM | Analog: (0–5) VDC oder (4–20) mA oder (0–20) mA | Analog: (0–5) VDC oder (4–20) mA oder (0–20) mA | |||||
| Analog: (0–5) VDC oder (4–20) mA oder (0–20) mA | |||||||
| Ausgangssignal | Digital: RS485 oder DeviceNetTM oder ProfiBus Analog: (0–5) VDC oder (4–20) mA oder (0–20) mA | ||||||
| Stromversorgung | ±8 ~ ±16 VDC oder +14 ~ +28 VDC (400 mA) | ||||||
| Elektronischer Steckverbinder | 9-poliger Sub-D-Stecker, 15-poliger Sub-D-Stecker, DeviceNetTM，ProfiBus, Analog | ||||||
| Beschläge | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4” M; | |||||
| KlemmringverschraubungΦ10; KlemmringverschraubungΦ6； | KlemmverschraubungΦ6, | ||||||
| Klemmverschraubung 3/8 Zoll;Klemmverschraubung 1/4 Zoll; | KompressionsverschraubungΦ3, | ||||||
| Klemmverschraubung 1/8 Zoll;KlemmverschraubungΦ3； | Kompressionsverschraubung 1/4 Zoll, | ||||||
| Ф6(innen)×1Schlauch;ф5(innen)×1,5Schlauch;ф4(innen)×1Schlauch; | W-Dichtung, | ||||||
| A-sael; | C-Dichtung | ||||||
| Gewicht | 1 kg | 0,8 kg | 1,2 kg | 1 kg | 1,2 kg | 1 kg | |
