Die Ausrüstung, die Gas aus einem geschlossenen Behälter ausstoßen oder die Anzahl der Gasmoleküle im Behälter verringern kann, wird üblicherweise als Vakuumerzeugungsgerät oder Vakuumpumpe bezeichnet.Nach dem Funktionsprinzip von Vakuumpumpen lassen sich Vakuumpumpen grundsätzlich in zwei Typen einteilen, nämlich Gastransferpumpen und Gasabfangpumpen.
Gastransferpumpen
Eine Gastransferpumpe ist eine Vakuumpumpe, die das kontinuierliche Ansaugen und Ablassen von Gasen zu Pumpzwecken ermöglicht.
1) Vakuumpumpen mit variablem Volumen
Die Vakuumpumpe mit variablem Volumen ist eine Vakuumpumpe, die die zyklische Änderung des Pumpenkammervolumens nutzt, um den Ansaug- und Ausstoßvorgang abzuschließen.Das Gas wird vor dem Ausstoß komprimiert und es gibt zwei Arten von Pumpen: Kolben- und Rotationspumpen.
Die Rotationsvakuumpumpen in der obigen Tabelle sind außerdem in folgenden Ausführungen erhältlich:
Die ölgedichteten Vakuumpumpen in der obigen Tabelle können anhand ihrer strukturellen Eigenschaften wie folgt weiter in fünf Typen unterteilt werden:
2) Impulsübertragungspumpen
Diese Art von Pumpe beruht auf schnell rotierenden Flügeln oder Hochgeschwindigkeitsstrahlen, um den Impuls auf das Gas oder die Gasmoleküle zu übertragen, so dass das Gas kontinuierlich vom Einlass zum Auslass der Pumpe transportiert wird.Sie können in die folgenden Typen unterteilt werden.
| Typ | Definition | Einstufung |
| Molekulare Vakuumpumpen | Dabei handelt es sich um eine Vakuumpumpe, die mithilfe eines mit hoher Geschwindigkeit rotierenden Rotors Energie auf die Gasmoleküle überträgt, um diese zu komprimieren und auszustoßen | Traktionsmolekularpumpen:Die Gasmoleküle gewinnen durch die Kollision mit einem sich mit hoher Geschwindigkeit bewegenden Rotor an Impuls und werden zum Auslass geleitet. Sie sind somit eine Impulsübertragungspumpe |
| Turbomolekularpumpen:Die Pumpen sind mit Schlitzscheiben oder Rotoren mit Flügeln ausgestattet, die zwischen den Statorscheiben (oder Statorschaufeln) rotieren.Der Rotorumfang weist eine hohe Lineargeschwindigkeit auf.Dieser Pumpentyp arbeitet normalerweise im molekularen Strömungszustand | ||
| Zusammengesetzte Molekularpumpe: Es handelt sich um eine zusammengesetzte Molekularvakuumpumpe, die zwei Arten von Molekularpumpen in Reihe kombiniert, den Turbinentyp und den Traktionstyp | ||
| Jet-Vakuumpumpen | Dabei handelt es sich um eine Impulsübertragungspumpe, die einen durch den Druckabfall des Venturi-Effekts erzeugten Hochgeschwindigkeitsstrahl nutzt, um das Gas zum Auslass zu transportieren. Sie eignet sich für den Betrieb unter viskosen Strömungsbedingungen und Übergangsströmungsbedingungen | Flüssigkeitsstrahl-Vakuumpumpen:Strahlvakuumpumpen mit Flüssigkeit (meist Wasser) als Arbeitsmedium |
| Gasstrahl-Vakuumpumpen:Strahlvakuumpumpen mit nicht kondensierbaren Gasen als Arbeitsmedium | ||
| Dampfstrahl-Vakuumpumpen:Strahlvakuumpumpen mit Dampf (Wasser, Öl oder Quecksilberdampf usw.) als Arbeitsmedium | ||
| Diffusionspumpen | Strahlvakuumpumpe mit einem Dampfstrom mit niedrigem Druck und hoher Geschwindigkeit (Dampf wie Öl oder Quecksilber) als Arbeitsmedium.Die Gasmoleküle diffundieren in den Dampfstrahl und werden zum Auslass geleitet.Die Dichte der Gasmoleküle im Strahl ist immer sehr gering und die Pumpe ist für den Betrieb im molekularen Strömungszustand geeignet | Selbstreinigende Diffusionspumpe:Eine Öldiffusionspumpe, bei der flüchtige Verunreinigungen in der Pumpenflüssigkeit durch spezielle Maschinen zum Auslass gefördert werden, ohne zum Kessel zurückzukehren |
| Fraktionierte Diffusionspumpe:Diese Pumpe verfügt über eine Fraktionierungsvorrichtung, sodass der Arbeitsflüssigkeitsdampf mit einem niedrigeren Dampfdruck für Hochvakuumarbeiten in die Düse eintritt, während der Arbeitsflüssigkeitsdampf mit einem höheren Dampfdruck für Niedervakuumarbeiten in die Düse eintritt. Es handelt sich um ein mehrstufiges Öl Diffusionspumpe | ||
| Diffusionsstrahlpumpen | Dabei handelt es sich um eine ein- oder mehrstufige Düse mit den Eigenschaften einer Diffusionspumpe und eine ein- oder mehrstufige Düse mit den Eigenschaften einer Strahlvakuumpumpe, die zu einer Impulstransferpumpe in Reihe geschaltet sind.Die Öldruckerhöhungspumpe ist von diesem Typ | Keiner |
| Ionentransferpumpen | Dabei handelt es sich um eine Impulsübertragungspumpe, die unter Einwirkung eines elektromagnetischen oder elektrischen Feldes das ionisierte Gas zum Auslass fördert | Keiner |
Gasabfangpumpen
Bei diesem Pumpentyp handelt es sich um eine Vakuumpumpe, bei der die Gasmoleküle an der Innenfläche der Pumpe adsorbiert oder kondensiert werden, wodurch die Anzahl der Gasmoleküle im Behälter verringert und der Pumpzweck erreicht wird. Es gibt verschiedene Typen.
Da Vakuumanwendungen im Bereich der Produktion und der wissenschaftlichen Forschung einen immer größeren Bereich an angelegten Drücken erfordern, erfordern die meisten von ihnen mehrere Vakuumpumpen, um ein Vakuumpumpsystem zu bilden, um gemeinsam zu pumpen, um den Anforderungen von Produktions- und wissenschaftlichen Forschungsprozessen gerecht zu werden Es gibt mehr Fälle, in denen verschiedene Arten von Vakuumpumpen zum Pumpen verwendet werden.Um dies zu ermöglichen, ist es notwendig, die detaillierte Klassifizierung dieser Pumpen zu kennen.
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Zeitpunkt der Veröffentlichung: 02.12.2022