Massendurchflussregler (MFC) ermöglichen eine präzise Messung und Steuerung des Massendurchflusses von Gasen.
I. Was ist der Unterschied zwischen einem MFC und einem MFM?
Der Massendurchflussmesser (MFM) ist eine Art Instrument, das den Gasdurchfluss genau misst, und dessen Messwert aufgrund von Temperatur- oder Druckschwankungen nicht ungenau ist und keine Temperatur- und Druckkompensation erfordert. Der Massendurchflussregler (MFC) nicht nur hat die Funktion eines Massendurchflussmessers, aber was noch wichtiger ist, es kann den Gasfluss automatisch steuern, d. h. der Benutzer kann den Fluss nach seinen Bedürfnissen einstellen, und der MFC hält den Fluss automatisch konstant auf dem eingestellten Wert, auch wenn Schwankungen oder Veränderungen der Umgebungstemperatur führen nicht zu einer Abweichung des Systemdrucks vom eingestellten Wert.Beim Massendurchflussregler handelt es sich um ein Gerät mit stetigem Gasdurchfluss, das manuell eingestellt oder über die Verbindung mit einem Computer automatisch gesteuert werden kann.Massendurchflussmesser messen nur, regeln aber nicht.Der Massendurchflussregler verfügt über ein Regelventil, das den Gasdurchfluss sowohl messen als auch regeln kann.
II.Wie ist die Struktur undFunktionsprinzip?
1、 Struktur
2、Funktionsprinzip
Wenn der Durchfluss in das Ansaugrohr eintritt, strömt der größte Teil des Durchflusses durch den Umlenkkanal, von dem ein kleiner Teil in das Kapillarrohr im Inneren des Sensors gelangt.Aufgrund der besonderen Struktur von
Durch den Umlenkkanal können die beiden Teile des Gasstroms direkt proportional sein.Der Sensor wird vorgewärmt und erwärmt, und die Temperatur im Inneren ist höher als die Temperatur der Einlassluft.Zu diesem Zeitpunkt wird der Massenstrom des kleinen Teils des Gases nach dem Prinzip der Wärmeübertragung durch das Kapillarrohr und dem Prinzip der Temperaturdifferenzkalorimetrie gemessen.Der auf diese Weise gemessene Gasfluss kann die Auswirkungen von Temperatur und Druck ignorieren.Das vom Sensor erfasste Durchflussmesssignal wird in die Leiterplatte eingegeben, verstärkt und ausgegeben, und die Funktion des MFM ist abgeschlossen.Durch Hinzufügen einer automatischen PID-Regelungsfunktion zur Platine wird das vom Sensor gemessene Durchflussmesssignal mit dem vom Benutzer eingegebenen Einstellsignal verglichen.Auf dieser Grundlage wird das Steuerventil so gesteuert, dass das Durchflusserkennungssignal gleich dem eingestellten Signal ist, wodurch die Funktion des MFC realisiert wird.
III.Anwendungen und Funktionen.
MFC, das in folgenden Bereichen weit verbreitet ist: Halbleiter- und IC-Herstellung, spezielle Materialwissenschaften, chemische Industrie, Erdölindustrie, pharmazeutische Industrie, Umweltschutz und Vakuumsystemforschung usw. Zu den typischen Anwendungen gehören: mikroelektronische Prozessausrüstung wie Diffusion , Oxidation, Epitaxie, CVD, Plasmaätzen, Sputtern, Ionenimplantation;Vakuumabscheidungsgeräte, Schmelzen optischer Fasern, Mikroreaktionsgeräte, Misch- und Anpassungsgassysteme, Kapillarflusskontrollsysteme, Gaschromatographen und andere Analyseinstrumente.
MFC bietet hohe Genauigkeit, hervorragende Wiederholgenauigkeit, schnelle Reaktion, Sanftanlauf, bessere Zuverlässigkeit, große Auswahl an Betriebsdruckbereichen (guter Betrieb in Hochdruck- und Vakuumsituationen), einfache, bequeme Bedienung, flexible Installation und mögliche Verbindung mit einem PC zur automatischen Ausführung Kontrolle auf das System des Benutzers übertragen.
IV.Wie man f erkennt und damit umgehtStörungen?
Unser Unternehmen verfügt über einen professionellen Kundendiensttechniker, der Ihnen bei der Lösung von Problemen bei der Installation und Verwendung helfen kann.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 29. Juli 2022