Beijing Super Q Technology Co., Ltd. verfügt über ölgeschmierte 600L-, 1200L-, 1600L-Verbundmolekularpumpen und 3600L-Turbinenmolekularpumpen;Fettgeschmierte 300L-, 650L-, 1300L- und 2000L-Verbundmolekularpumpen.Dieser Artikel konzentriert sich auf die Erläuterung der Eigenschaften, Installation, Verwendung und Wartung von Molekularpumpen mit Fettschmierverbindung der Serie EV-Z.
Strukturmerkmale
Die Fettmolekularpumpe der EV-Serie verwendet importierte Präzisionskeramiklager, der Pumpenrotor verfügt über ein dynamisches Gleichgewicht, einen stabilen und zuverlässigen Betrieb, einen Dreiphasenmotor mit Kurzschlussläufer und Lagerschmierung durch Fettschmierung und kann in jeder Ausrichtung montiert werden.
Installation und Verwendung
I. Über den ultimativen Druck
Der „Enddruck“ der Molekularpumpe basiert auf der internationalen ISO-Norm „Testmethode für die Leistung von Turbomolekularpumpen“. Nach dem vollständigen Aushärten des Pumpenkörpers und der Testabdeckung (48 Stunden Trocknen und Entgasen) wird der niedrigste gemessene Druck erreicht die vorgegebene Position der Prüfabdeckung.Druckwert.Im tatsächlichen Einsatz hängt der Wert des „Grenzdrucks“ vom Arbeitsdruck und der effektiven Sauggeschwindigkeit der konfigurierten Vorvakuumpumpe ab.Die Wahl einer leistungsstärkeren Vorvakuumpumpe ist sehr vorteilhaft, um ein höheres Vakuum zu erzielen und die Absaugzeit zu verkürzen.
Aufgrund der Besonderheit des Abgasprinzips der Molekularpumpe muss der Lufteinlass der Pumpe außerdem so breit wie möglich sein, und der Gasweg von der Vakuumkammer zum Molekularpumpenanschluss sollte möglichst keine Drehungen verursachen möglich, um die beste Effizienz der Molekularpumpe zu erzielen und ein höheres Endvakuum zu gewährleisten.
II.Installation
2.1 Öffnen Sie das Paket
Überprüfen Sie vor der Installation, ob die Molekularpumpe beim Transport beschädigt wurde.
Die Methode ist wie folgt: Sehen Sie sich die Stromversorgungsanweisungen der Molekularpumpe an, schließen Sie sie richtig an die Molekularpumpe an, müssen Sie weder Wasser noch Vakuum durchlassen, starten Sie die Molekularpumpe und prüfen Sie, ob sie läuft und ob welche vorhanden ist ungewöhnliches Geräusch.Wenn eine Anomalie auftritt, drücken Sie rechtzeitig den Stoppschalter, um die Pumpe zu stoppen.Hinweis: Die Netzfrequenz sollte im Probebetrieb nicht höher als 25 Hz sein
2.2 Anschluss des Hochvakuumflansches
Der Anschluss der Molekularpumpe kann am Hochvakuumflansch angehoben oder am Sockel befestigt werden.Die Molekularpumpe muss fixiert werden, wenn der Hochvakuumflansch der Molekularpumpe über einen Metallbalg mit dem System verbunden ist.
(Die Flanschdichtfläche weist keine Kratzer auf und am Dichtring darf sich nichts befinden)
2.3 Vorvakuumanschluss
Zwischen der Vorpumpe und der Molekularpumpe sollte ein Absperr- und Entlüftungsventil installiert werden, um zu verhindern, dass die mechanische Pumpe nach dem Abschalten Öl zurückgibt.
2.4 Gasladegerät anschließen
Um eine saubere Vakuumumgebung zu gewährleisten, kann das Vakuumsystem nach dem Stoppen der Molekularpumpe mit Stickstoff oder trockener Luft gefüllt werden.Im Allgemeinen kann ein Entlüftungsventil an die Rohrleitung der vorderen Stufe angeschlossen werden, oder es kann ein Hochvakuumventil verwendet werden, um das Gas am Hochvakuumende abzulassen.
III．Kühlung anschließen
Aufgrund der Hochgeschwindigkeitsdrehreibung des Lagers, der Erwärmung des Pumpenkörpers und des Temperaturanstiegs des Motors müssen das Lager und der Motor gekühlt werden, wenn die Molekularpumpe arbeitet.Im Allgemeinen wird Luftkühlung verwendet, und Wasserkühlung wird verwendet, wenn die Umgebungstemperatur höher als 38 °C ist.Das Weichwasserrohr mit einem Außendurchmesser von 10 mm kann direkt an den Wassereinlass und -auslass der Molekularpumpe angeschlossen werden.Es wird ein Kreislaufwassersystem mit reinem Wasser verwendet, es kann auch niederschlagsarmes Leitungswasser verwendet werden (die Wassertemperatur muss ≤28°C betragen).
Ein versehentlicher Wasserstopp oder eine hohe Wassertemperatur führen dazu, dass der Temperatursensor des Molekularpumpenkörpers aktiviert wird und das Netzteil sofort einen Alarm auslöst und die Ausgabe stoppt.
Nach dem unerwarteten Wasserstopp oder einer zu hohen Wassertemperatur vergeht ein Intervall von etwa 15 Minuten (die genaue Zeit hängt von der Temperaturanstiegsrate ab), bis die Molekularpumpe aufgrund einer Überhitzung einen Alarm auslöst.
IV．Backen
Der Enddruck hängt von der Sauberkeit des Pumpeninneren und des Vakuumpfads einschließlich der Vakuumkammer ab.Um den Enddruck in kürzester Zeit zu erreichen, müssen das Vakuumsystem und die Molekularpumpe ausgeheizt werden.Das Backen sollte bei normal laufender Molekularpumpe erfolgen.
Die Backtemperatur der Molekularpumpe sollte unter 80 °C liegen, der mit dem Pumpenanschluss verbundene Hochvakuumflansch sollte nicht höher als 120 °C sein und die Backtemperatur des Vakuumsystems sollte im Allgemeinen weniger als 300 °C betragen.von Schäden.
Die Backzeit hängt vom Verschmutzungsgrad des Systems und der Molekularpumpe sowie dem erwarteten Grenzarbeitsdruck ab, die Mindestzeit sollte jedoch nicht weniger als 4 Stunden betragen.
Um ein Vakuum von 10-4Pa zu erreichen, ist grundsätzlich kein Backen erforderlich;Um ein Vakuum von 10-5 Pa zu erhalten, reicht es aus, nur das Vakuumsystem selbst zu heizen.Um ein Ultrahochvakuum zu erreichen, müssen das Vakuumsystem und die Molekularpumpe normalerweise gleichzeitig gebacken werden.Das Messsystem sollte vollständig ausgeheizt sein, da es sonst durch Ausgasungen zu einer Beeinträchtigung der Genauigkeit der Messdaten kommt.
V．Betrieb
Vergewissern Sie sich, dass das Vorvakuum besser als 15 Pa ist, drücken Sie die RON-Taste, um die Molekularpumpe zu starten, und drücken Sie die STOP-Taste, um sie nach der Verwendung zu stoppen.Aufmerksamkeit!Der Softstartschlüssel muss bei der Erstinbetriebnahme bzw. Wiederverwendung nach längerem Nichtgebrauch verwendet werden.Der Sanftanlaufvorgang läuft wie folgt ab: Das Vakuum der aktuellen Stufe ist besser als 15 Pa und die Sanftanlauftaste wird gedrückt.Nach 110 Minuten erreicht die Molekularpumpe die Arbeitsfrequenz von 550 Hz (550 Hz entspricht der Molekularpumpe EV300Z, 400 Hz entspricht der Molekularpumpe EV650Z, 1300Z, 2000). Drücken Sie dann die Softstart-Taste (die Taste ist oben), um den Softstart zu stoppen Start.
(Während des normalen Betriebs der Molekularpumpe ist das Tragen, Bewegen oder Befüllen mit Luft verboten.)
VI．Instandhaltung und Reparatur
6.1 Reinigung der Pumpe
Wenn sich die Luftleckage und die Desorptionsrate des Vakuumsystems nicht ändern und die Vakuumleistung auch nach einer langen Backzeit nicht wiederhergestellt werden kann oder wenn die Vorvakuumpumpe stark Öl zurückführt, sollte die Pumpe gereinigt werden.
（Wenn die Pumpe repariert und gereinigt werden muss, muss sie von professionellen Technikern zerlegt werden.Wenn es ohne Schulung demontiert wird, gehen die Folgen auf Ihr eigenes Risiko.）
6.2 Austausch der Lager
Da die Pumpe ausgewuchtet werden muss, kann das Lager nicht vom Benutzer ausgetauscht werden.
6.3 Aufprallschutz
Die Molekularpumpe ist eine rotierende Hochgeschwindigkeitsmaschine.Der Spalt zwischen der beweglichen Platte und der statischen Platte ist sehr klein und kann übermäßigen Stößen nicht standhalten.Die Geschwindigkeit und Beschleunigung des sich bewegenden Trägers, der ihn berührt, sollte begrenzt sein.Darüber hinaus führen der plötzliche Einfluss des atmosphärischen Volumens und das Herabfallen externer harter Objekte während des normalen Betriebs der Molekularpumpe zu schweren Schäden an der Molekularpumpe.
6.4 Schwingungsisolierung
Normalerweise wurde die Molekularpumpe streng getestet, die Vibration ist sehr gering und sie kann direkt an das Pumpsystem angeschlossen werden.Für hochpräzise Instrumentenanwendungen (wie Elektronenmikroskope usw.) wird die Verwendung von Vibrationsisolatoren empfohlen, um die Auswirkungen von Vibrationen auf das Instrument zu minimieren.
6.5 Starke Magnetfeldabschirmung
Der rotierende Rotor erzeugt im Magnetfeld einen Wirbelstrom, der zu einer Erwärmung des Rotors führt.Da die Hitze die Festigkeit des Aluminiummaterials schwächt, ist die Anwendung der Molekularpumpe im Magnetfeld bis zu einem gewissen Grad begrenzt.
6.6 Elektromagnetische Interferenz
Bestimmte Hochfrequenzinstrumente wie Molekularpumpen und Frequenzwandler können elektromagnetische Störungen in der Umgebung verursachen.Bei Einhaltung internationaler Standards wird der Einsatz von Molekularpumpen jedoch nicht eingeschränkt.Bei Vorliegen der Voraussetzungen sollten gleichzeitig entsprechende Zertifikate ausgestellt werden.
6.7 Starke Einschränkung der Radioaktivität
Die meisten Materialien verändern ihre Eigenschaften in einer stark radioaktiven Umgebung, insbesondere organische Materialien (wie Molekularpumpenöl, Dichtungsringe) und Halbleiterkomponenten.Die Molekularpumpe kann einer Strahlungsintensität von 105 Rad standhalten.Durch die Auswahl antiradioaktiver Materialien und die Verwendung einer motorbetriebenen Stromversorgung kann die Strahlungsfestigkeit verbessert werden.Um beim Pumpen von Tritium zu verhindern, dass das radioaktive Element Tritium in die Atmosphäre gelangt, müssen alle Dichtungsringe in der Molekularpumpe aus metallischen Werkstoffen bestehen
6.8 Vorpumpe
Am Hochdruckende der Leistungskurve der Molekularpumpe liegt der Einlassdruck zwischen etwa 200 Pa und 10-1 Pa und erstreckt sich über drei Größenordnungen.Die mittlere freie Weglänge der Gasmoleküle wird kleiner und die Pumpwirkung beginnt sich zu verschlechtern.Daher ist in der Übergangszone die Pumpgeschwindigkeit der Molekularpumpe umso größer, je häufiger die Vorpumpe eingesetzt wird.Die Vorpumpe sollte mindestens 3 L/S haben.
Häufige Fehler und Fehlerbehebung
Die fettgeschmierte Verbundmolekularpumpe der EV-Z-Serie ist eine mechanische Vakuumpumpe, die die Luftabsaugung durch relativ hohe Rotationsgeschwindigkeit mehrstufiger dynamischer und statischer Turbinenschaufeln realisiert.Die Turbomolekularpumpe zeichnet sich durch eine hohe Pumpgeschwindigkeit und ein hohes Kompressionsverhältnis im Molekularströmungsbereich aus, ist energiesparender als die Diffusionspumpe und weist keine Öl- und Dampfverschmutzung auf.Die fettgeschmierte Verbundmolekularpumpe der EV-Serie ist die Molekularpumpe mit der größten Pumpgeschwindigkeit von 100 Kalibern in China.
Diese Molekularpumpe hat keine Selektivität und keinen Memory-Effekt auf das zu pumpende Gas.Aufgrund des hohen Kompressionsverhältnisses des Gases mit großem Molekulargewicht kann die Pumpe ein sauberes Hochvakuum und Ultrahochvakuum ohne Kühlfallen und Ölleitbleche erzeugen..Es wird häufig in verschiedenen Bereichen der Elektronik, Metallurgie, chemischen Industrie, wissenschaftlichen Forschung und Vakuumtechnik eingesetzt.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 01.07.2022