Thermischer Gas-Massendurchflussregler (MFC)
DerrmAlgenmArschfniedrigmeter(MFM)isakindofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfLuctuationsintemperatureorpressSicher, brauche ich nichtthecompensationoftemperatureandpressure.
Modell | SQC-100 |
Durchflussbereiche (N2) | 0 ~ 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 500 SCCM |
0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
Genauigkeit | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Ventilantriebstyp | Normal geschlossen |
Linearität | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Wiederholbarkeit | ±0,2%FS |
Reaktionszeit | ≤1 Sek |
Eingangs-/Ausgangssignal | 0~5V |
Elektrisches Gelenk | DB15-Pin (Nadel) |
Betriebstemperatur | 5~45℃ |
Differenzialvor. | 0,05–0,5 MPa (MFC); 0,03–3,0 MPa (MFM) |
Leckrate | 1×10-8SCCS (He) |
Max.Druck | 3MPa |
Mittleres Material | 316L SS und Dichtungsmaterial |
Dichtungsmaterial | Viton, Silikonkautschuk, NBR, Teflon, Metalldichtung. |
Gelenkgröße | Videorecorder 1/4 Zoll; Swagelok 1/8 Zoll, 1/4 Zoll; 3, 6 mm |
Stromversorgung | +15 V, 50 mA; -15 V, 200 mA |
Modell | SQC-200 |
Durchflussbereiche (N2) | MFC: 0 ~ 20, 30, 50, 100, 150, 200SLM |
MFM: 0–20, 30, 50, 100, 150, 200, 250, 300 SLM | |
Genauigkeit | ±2%FS |
Ventilantriebstyp | Normal geschlossen |
Linearität | ±2%FS |
Wiederholbarkeit | ±0,2%FS |
Reaktionszeit | ≤5 Sek |
Eingangs-/Ausgangssignal | 1~5V;4~20mA |
Elektrisches Gelenk | DB15-Pin (Nadel) |
Betriebstemperatur | 5~45℃ |
Differenzialvor. | 0,1–0,3 MPa (MFC); 0,05–3,0 MPa (MFM) |
Leckrate | 1×10-8SCCS (He) |
Max.Druck | 3MPa |
Mittleres Material | 316L SS und Dichtungsmaterial |
Dichtungsmaterial | Viton, Silikonkautschuk, NBR, ERP, Teflon |
Gelenkgröße | Swagelok 3/8" 、 1/2"; φ8、φ10、φ12mm |
Stromversorgung | 24 V, 0,5 A |
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