Ultrahochvakuum-Pneumatikschieber, CF-Flansch
Ultrahochvakuum-Pneumatikschieber der EVCCQ-Serie
Das Ultrahochvakuum-Einsteckventil der EVCCQ-Serie wird durch die Zylinderstange nach oben und unten bewegt, um die Ventilplatte zu öffnen oder zu schließen.
Ventile eignen sich zum Unterbrechen oder Verbinden des Luftstroms in Ultrahochvakuumsystemen.Es bietet die Vorteile eines angemessenen Strukturdesigns, eines stabilen Betriebs, einer geringen Größe, einer zuverlässigen Verwendung, einer guten Dichtleistung und einer langen Lebensdauer.
Das geeignete Arbeitsmedium ist saubere Luft und nicht korrosives Gas.
Technische Parameter des pneumatischen Ultrahochvakuum-Absperrschiebers der EVCCQ-Serie
Modell | EVCCQ-63B(CF) | EVCCQ-80B(CF) | EVCCQ-100B(CF) | EVCCQ-160B(CF) | EVCCQ-200B(CF) | EVCCQ-250B(CF) | ||
Druckbereich | Pa | 1,3x10-7~1,2x105 | ||||||
Innennenndurchmesser | mm | 63 | 80 | 100 | 150 | 200 | 250 | |
Leckrate | Pa·L/s | 1,3x10-7 | ||||||
Unterschiedlicher Druck in Öffnungsrichtung | Pa | 3000 (willkürlich) | ||||||
Anschlussflansch | — | CF, ISO-K, GB-LP, ISO-F | ||||||
Lebensdauer bis zur ersten Wartung | mal | 10000 | ||||||
Heiztemperatur (Ventilkörper) | ℃ | Geschlossen ≤ 120, geöffnet ≤ 150 | ||||||
Versorgungsspannung | V | 220 ± 10 % (Andere Spezifikationen können angepasst werden) | ||||||
Öffnungs-/Schließungszeit | s | ≤ 6 | ||||||
Druckluft | MPa | 0,4~0,7 | 0,5~0,7 | |||||
Stellungsanzeige des Ventils | — | Magnetschalter | ||||||
Einbauausrichtung | — | beliebig | ||||||
Umgebungstemperatur | ℃ | 5~40 |
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