Γνώση – Βαλβίδες κενού

I. Εισαγωγή βαλβίδας
Η βαλβίδα κενού είναι ένα εξάρτημα συστήματος κενού που χρησιμοποιείται για την αλλαγή της κατεύθυνσης ροής αέρα, τη ρύθμιση του μεγέθους της ροής αερίου, την αποκοπή ή τη σύνδεση του αγωγού στο σύστημα κενού.Τα μέρη κλεισίματος της βαλβίδας κενού σφραγίζονται με ελαστικό ή μεταλλικό σφράγισμα.

II.Συνήθεις εφαρμογές βαλβίδων κενού.
Βαλβίδες κενού
Χρησιμοποιείται σε εξοπλισμό συστήματος υψηλού ή εξαιρετικά υψηλού κενού όταν το κενό πρέπει να διατηρείται σε κλειστό σύστημα χειρισμού κενού.Οι βαλβίδες κενού χρησιμοποιούνται για τον έλεγχο της ροής του αέρα στον θάλαμο κενού, την απομόνωση, τον εξαερισμό, την παροχή μείωσης πίεσης ή ελέγχου αγωγιμότητας.Οι βαλβίδες πύλης, οι βαλβίδες εν σειρά και οι γωνιακές βαλβίδες είναι οι πιο συνηθισμένοι τύποι βαλβίδων κενού που χρησιμοποιούνται για εφαρμογές υψηλού ή εξαιρετικά υψηλού κενού.Οι πρόσθετοι τύποι βαλβίδων περιλαμβάνουν βαλβίδες πεταλούδας, βαλβίδες μεταφοράς, σφαιρικές βαλβίδες, βαλβίδες εκκρεμούς, βαλβίδες εξ ολοκλήρου από μέταλλο, βαλβίδες κενού, γωνιακές βαλβίδες αλουμινίου, βαλβίδες κενού με επίστρωση τεφλόν και βαλβίδες απευθείας διέλευσης.

Βαλβίδες πεταλούδας
είναι βαλβίδες γρήγορου ανοίγματος που αποτελούνται από μεταλλικούς δίσκους ή πτερύγια που περιστρέφονται σε ορθή γωνία προς την κατεύθυνση της ροής στον αγωγό και όταν περιστρέφονται στον άξονά τους, η βαλβίδα σφραγίζει την έδρα στο σώμα της βαλβίδας.

Βαλβίδες μεταφοράς (ορθογώνιες βαλβίδες πύλης)
Βαλβίδες διαχωρισμού κατάλληλες για χρήση μεταξύ θαλάμων κενού που κλειδώνονται με φορτίο και θαλάμων μεταφοράς και μεταξύ θαλάμων μεταφοράς και θαλάμων επεξεργασίας σε εξοπλισμό κατασκευής ημιαγωγών.

Σφαίρες κενού
είναι βαλβίδες ευθείας ροής τέταρτης στροφής με κυκλικό συγκρότημα κλεισίματος με ταιριαστές κυκλικές θέσεις για ομοιόμορφη τάση στεγανοποίησης.

Βαλβίδες εκκρεμούς
είναι μια μεγάλη βαλβίδα γκαζιού τοποθετημένη μεταξύ του θαλάμου κενού διεργασίας και της στροβιλομοριακής εισόδου της αντλίας.Αυτές οι βαλβίδες εκκρεμούς κενού σχεδιάζονται συνήθως ως βαλβίδες πύλης ή εκκρεμούς για εφαρμογές που περιλαμβάνουν συστήματα βιομηχανικής κατασκευής OLED, FPD και PV.

Εξολοκλήρου μεταλλικές βαλβίδες
Σχεδιασμένο για χρήση σε περιβάλλοντα εξαιρετικά υψηλού κενού όπου οι υψηλές θερμοκρασίες δεν επιτρέπουν τη χρήση ελαστομερών και κρυογονικών μετάλλων παρεμβύσματος.Οι πλήρως μεταλλικές βαλβίδες που ψήνονται παρέχουν αξιόπιστη σφράγιση υψηλής θερμοκρασίας από ατμοσφαιρική πίεση έως κάτω από 10-11 mbar.

Βαλβίδες κενού
Λειτουργούν αξιόπιστα σε συστήματα παραγωγής ημιαγωγών και σε εφαρμογές με χημική και σωματιδιακή μόλυνση.Μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε ακατέργαστα περιβάλλοντα κενού, υψηλού κενού ή εξαιρετικά υψηλού κενού.

Γωνιακές βαλβίδες αλουμινίου
Η είσοδος και η έξοδος αυτών των βαλβίδων βρίσκονται σε ορθή γωνία μεταξύ τους.Αυτές οι γωνιακές βαλβίδες είναι κατασκευασμένες από αλουμίνιο A6061-T6 και χρησιμοποιούνται στην κατασκευή ημιαγωγών και οργάνων, Ε&Α και βιομηχανικά συστήματα κενού για εφαρμογές ακατέργαστων έως υψηλού κενού.

Η βαλβίδα κενού με επίστρωση τεφλόν είναι μια πλήρως κατασκευασμένη συσκευή εξαρτημάτων κενού από ανοξείδωτο χάλυβα με ανθεκτική και εξαιρετικά ανθεκτική στα χημικά επίστρωση.

III.Χαρακτηριστικά των βαλβίδων κενού.
Η πίεση είναι κάτω από την ατμοσφαιρική πίεση και η πτώση πίεσης στο πτερύγιο της βαλβίδας δεν μπορεί να υπερβαίνει το 1 kg δύναμη/cm.Η θερμοκρασία λειτουργίας του μέσου εξαρτάται από τη διαδικασία της χρησιμοποιούμενης συσκευής.Η θερμοκρασία γενικά δεν υπερβαίνει το εύρος των -70 ~ 150°C.Η πιο βασική απαίτηση για τέτοιες βαλβίδες είναι να εξασφαλίζεται υψηλός βαθμός στεγανότητας της σύνδεσης και η πυκνότητα της δομής και του υλικού φλάντζας.

Σύμφωνα με τη μέση πίεση οι βαλβίδες κενού μπορούν να χωριστούν σε τέσσερις ομάδες.
1) Βαλβίδες χαμηλού κενού: μέτρια πίεση p=760~1 mmHg.
2) Βαλβίδες μεσαίου κενού: p=1×10-3 mmHg.
3）Βαλβίδες υψηλού κενού: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4）Βαλβίδα κενού εξαιρετικά υψηλού: p≤1×10-8 mmHg.

Ως βαλβίδα κλειστού κυκλώματος με διάμετρο διέλευσης μικρότερη από 250 mm, το ευρέως χρησιμοποιούμενο στέλεχος είναι μια βαλβίδα διακοπής φυσητήρων κενού με γραμμική κίνηση.Οι βαλβίδες πύλης, ωστόσο, είναι πιο περιορισμένες, αλλά αυτό ισχύει κυρίως για μεγάλες διαμέτρους.Διατίθενται επίσης σφαιρικές βαλβίδες βύσματος (σφαιρικές βαλβίδες), βαλβίδες εμβόλου και βαλβίδες πεταλούδας.Οι βαλβίδες βύσματος για βαλβίδες κενού δεν έχουν προωθηθεί επειδή απαιτούν λίπανση λαδιού, καθιστώντας δυνατή την είσοδο ατμών λαδιού στο σύστημα κενού, κάτι που δεν επιτρέπεται.Οι βαλβίδες κενού μπορούν να ελεγχθούν χειροκίνητα και εξ αποστάσεως στο πεδίο, καθώς και ηλεκτρικά, ηλεκτρομαγνητικά (σωληνοειδείς βαλβίδες), πνευματικά και υδραυλικά.