Η Beijing Super Q Technology Co., Ltd. διαθέτει σύνθετες μοριακές αντλίες 600L, 1200L, 1600L με λίπανση λαδιού σειράς EV και μοριακές αντλίες τύπου στροβίλου 3600L.σύνθετες μοριακές αντλίες 300L, 650L, 1300L, 2000L με λίπανση.Αυτό το άρθρο εστιάζει στην επεξήγηση των χαρακτηριστικών, της εγκατάστασης, της χρήσης και της συντήρησης των μοριακών αντλιών λίπανσης γράσου της σειράς EV-Z.
Χαρακτηριστικά δομής
Η μοριακή αντλία γράσου σειράς EV υιοθετεί εισαγόμενα κεραμικά ρουλεμάν ακριβείας, ο ρότορας της αντλίας μέσω της δυναμικής ισορροπίας, η σταθερή και αξιόπιστη λειτουργία, ο τριφασικός κινητήρας κλωβού κινητήρα, που φέρει λίπανση με λίπανση γράσου, μπορεί να τοποθετηθεί σε οποιονδήποτε προσανατολισμό.
εγκατάσταση και χρήση
I. Σχετικά με την τελική πίεση
Η «τελική πίεση» της μοριακής αντλίας βασίζεται στο διεθνές πρότυπο ISO «Μέθοδος δοκιμής απόδοσης στροβιλομοριακών αντλιών», μετά το πλήρες ψήσιμο του σώματος της αντλίας και του καλύμματος δοκιμής (48 ώρες στέγνωμα και απαέρωση), η χαμηλότερη πίεση μετρήθηκε σε την καθορισμένη θέση του καλύμματος δοκιμής.τιμή πίεσης.Στην πραγματική χρήση, η τιμή της «οριακής πίεσης» σχετίζεται με την πίεση λειτουργίας και την πραγματική ταχύτητα άντλησης της διαμορφωμένης αντλίας υποστήριξης.Η επιλογή μιας αντλίας υποστήριξης υψηλότερης απόδοσης είναι πολύ επωφελής για την επίτευξη υψηλότερου κενού και τη μείωση του χρόνου εξαγωγής.
Επιπλέον, λόγω της ιδιαιτερότητας της αρχής των καυσαερίων της μοριακής αντλίας, η είσοδος αέρα της αντλίας απαιτείται να είναι όσο το δυνατόν ευρύτερη και η διαδρομή αερίου από τον θάλαμο κενού προς τη θύρα της μοριακής αντλίας θα πρέπει να αποφεύγει να περιστρέφεται όσο είναι δυνατό, έτσι ώστε να εξασκείται η καλύτερη απόδοση της μοριακής αντλίας, και εγγυημένο υψηλότερο τελικό κενό.
II.Εγκατάσταση
2.1 Ανοίξτε το πακέτο
Πριν την εγκατάσταση, ελέγξτε εάν η μοριακή αντλία έχει υποστεί ζημιά κατά τη μεταφορά.
Η μέθοδος είναι η εξής: ανατρέξτε στις οδηγίες τροφοδοσίας της μοριακής αντλίας, συνδέστε τη σωστά με τη μοριακή αντλία, δεν χρειάζεται να περάσετε νερό ή κενό, ξεκινήστε τη μοριακή αντλία και ελέγξτε αν λειτουργεί και αν υπάρχει μη φυσιολογικός ήχος.Εάν υπάρχει κάποια ανωμαλία, πατήστε εγκαίρως τον διακόπτη διακοπής για να σταματήσει η αντλία.Σημείωση: Η συχνότητα ισχύος δεν πρέπει να είναι μεγαλύτερη από 25 Hz κατά τη δοκιμαστική λειτουργία
2.2 Σύνδεση της φλάντζας υψηλού κενού
Η σύνδεση της μοριακής αντλίας μπορεί να ανυψωθεί από τη φλάντζα υψηλού κενού ή να στερεωθεί στη βάση.Η μοριακή αντλία πρέπει να στερεώνεται όταν η φλάντζα υψηλού κενού της μοριακής αντλίας συνδέεται στο σύστημα μέσω μεταλλικής φυσούνας.
(Η επιφάνεια στεγανοποίησης της φλάντζας δεν έχει γρατσουνιές και δεν πρέπει να υπάρχει τίποτα στον στεγανοποιητικό δακτύλιο)
2.3 Σύνδεση κενού πρώτης γραμμής
Θα πρέπει να εγκατασταθεί μια βαλβίδα απομόνωσης και εξαερισμού μεταξύ της αντλίας πρόσθιας γραμμής και της μοριακής αντλίας για να αποτραπεί η επιστροφή λαδιού από τη μηχανική αντλία μετά την απενεργοποίηση.
2.4 Σύνδεση της συσκευής φόρτισης αερίου
Για να έχουμε ένα καθαρό περιβάλλον κενού, μετά τη διακοπή της μοριακής αντλίας, το σύστημα κενού μπορεί να γεμίσει με άζωτο ή ξηρό αέρα.Γενικά, μια βαλβίδα εξαερισμού μπορεί να συνδεθεί στον αγωγό του μπροστινού σταδίου ή μια βαλβίδα υψηλού κενού μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την εξαέρωση του αερίου στο άκρο υψηλού κενού.
III.Σύνδεση της ψύξης
Λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστρεφόμενης τριβής του ρουλεμάν, της θέρμανσης του σώματος της αντλίας και της αύξησης της θερμοκρασίας του κινητήρα, το ρουλεμάν και ο κινητήρας πρέπει να ψύχονται όταν λειτουργεί η μοριακή αντλία.Η ψύξη αέρα χρησιμοποιείται γενικά και η υδρόψυξη χρησιμοποιείται όταν η θερμοκρασία περιβάλλοντος είναι υψηλότερη από 38°C.Ο σωλήνας μαλακού νερού με εξωτερική διάμετρο 10 mm μπορεί να συνδεθεί απευθείας στην είσοδο και την έξοδο νερού της μοριακής αντλίας.Χρησιμοποιείται σύστημα κυκλοφορίας νερού με καθαρό νερό και μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί νερό βρύσης με χαμηλή βροχόπτωση (η θερμοκρασία του νερού πρέπει να είναι ≤28°C).
Η τυχαία διακοπή νερού ή η υψηλή θερμοκρασία του νερού θα κάνει τον αισθητήρα θερμοκρασίας του σώματος της μοριακής αντλίας να ενεργήσει και η τροφοδοσία ρεύματος θα ειδοποιήσει αμέσως και θα σταματήσει την έξοδο.
Υπάρχει ένα διάστημα περίπου 15 λεπτών (ο συγκεκριμένος χρόνος εξαρτάται από τον ρυθμό αύξησης της θερμοκρασίας) μετά την απροσδόκητη διακοπή του νερού ή η θερμοκρασία του νερού είναι πολύ υψηλή έως ότου η μοριακή αντλία συναγερμό λόγω υπερθέρμανσης.
IV.Ψήσιμο
Η τελική πίεση εξαρτάται από την καθαρότητα του εσωτερικού της αντλίας και της διαδρομής κενού συμπεριλαμβανομένου του θαλάμου κενού.Για να επιτευχθεί η τελική πίεση στο συντομότερο χρόνο, πρέπει να ψηθούν το σύστημα κενού και η μοριακή αντλία.Το ψήσιμο πρέπει να γίνεται με τη μοριακή αντλία να λειτουργεί κανονικά.
Η θερμοκρασία ψησίματος της μοριακής αντλίας πρέπει να είναι χαμηλότερη από 80°C, η φλάντζα υψηλού κενού που συνδέεται με τη θύρα της αντλίας δεν πρέπει να είναι μεγαλύτερη από 120°C και η θερμοκρασία ψησίματος του συστήματος κενού είναι γενικά μικρότερη από 300°C.της ζημιάς.
Ο χρόνος ψησίματος εξαρτάται από τον βαθμό ρύπανσης του συστήματος και της μοριακής αντλίας και την αναμενόμενη οριακή πίεση λειτουργίας, αλλά ο ελάχιστος χρόνος δεν πρέπει να είναι μικρότερος από 4 ώρες.
Για τη λήψη κενού 10-4Pa, καταρχήν, δεν απαιτείται ψήσιμο.για την απόκτηση κενού 10-5Pa, αρκεί μόνο το ψήσιμο του ίδιου του συστήματος κενού.Για την επίτευξη εξαιρετικά υψηλού κενού, το σύστημα κενού και η μοριακή αντλία συνήθως πρέπει να ψηθούν ταυτόχρονα.Το σύστημα μέτρησης θα πρέπει να είναι πλήρως ψημένο, διαφορετικά θα επηρεάσει την ακρίβεια των δεδομένων μέτρησης λόγω της εξάτμισης του.
V.Λειτουργία
Επιβεβαιώστε ότι η προ-κενό είναι καλύτερη από 15 Pa, πατήστε το πλήκτρο RON για να ξεκινήσει η μοριακή αντλία και πατήστε το πλήκτρο STOP για να σταματήσει μετά τη χρήση.Προσοχή!Το κλειδί μαλακής εκκίνησης πρέπει να χρησιμοποιηθεί για την πρώτη χρήση ή να επαναχρησιμοποιηθεί μετά από μακροχρόνια χρήση σε αδράνεια.Η λειτουργία μαλακής εκκίνησης είναι η εξής: η τρέχουσα υποπίεση είναι καλύτερη από 15 Pa και πατιέται το πλήκτρο μαλακής εκκίνησης.Μετά από 110 λεπτά, η μοριακή αντλία φτάνει στη συχνότητα λειτουργίας των 550 Hz (550 Hz αντιστοιχεί στη μοριακή αντλία EV300Z, 400 Hz αντιστοιχεί στην μοριακή αντλία EV650Z, 1300Z, 2000), στη συνέχεια πατήστε το πλήκτρο μαλακής εκκίνησης (το κλειδί είναι επάνω) για να σταματήσει η λειτουργία αρχή.
（Κατά την κανονική λειτουργία της μοριακής αντλίας, απαγορεύεται η μεταφορά, η μετακίνηση ή η πλήρωση με αέρα.)
VI.Συντήρηση και επισκευή
6.1 Καθαρισμός της αντλίας
Όταν η διαρροή αέρα και ο ρυθμός εκρόφησης του συστήματος κενού δεν αλλάζουν και η απόδοση του κενού δεν μπορεί να αποκατασταθεί ακόμη και μετά από μεγάλο χρονικό διάστημα ψησίματος ή όταν η αντλία υποστήριξης επιστρέφει σοβαρά λάδι, η αντλία πρέπει να καθαριστεί.
（Εάν η αντλία χρειάζεται επισκευή και καθαρισμό, πρέπει να αποσυναρμολογηθεί από επαγγελματίες τεχνικούς.Εάν αποσυναρμολογηθεί χωρίς εκπαίδευση, οι συνέπειες θα είναι με δική σας ευθύνη.)
6.2 Αντικατάσταση των ρουλεμάν
Δεδομένου ότι η αντλία πρέπει να είναι ισορροπημένη, το ρουλεμάν δεν μπορεί να αντικατασταθεί από τον χρήστη.
6.3 Προστασία από κρούσεις
Η μοριακή αντλία είναι μια περιστρεφόμενη μηχανή υψηλής ταχύτητας.Το κενό μεταξύ της κινούμενης πλάκας και της στατικής πλάκας είναι πολύ μικρό και δεν μπορεί να αντέξει την υπερβολική κρούση.Η ταχύτητα και η επιτάχυνση του κινούμενου φορέα σε επαφή με αυτόν θα πρέπει να είναι περιορισμένες.Επιπλέον, η ξαφνική πρόσκρουση του ατμοσφαιρικού όγκου και η πτώση εξωτερικών σκληρών αντικειμένων κατά την κανονική λειτουργία της μοριακής αντλίας θα προκαλέσει επίσης σοβαρή ζημιά στη μοριακή αντλία.
6.4 Απομόνωση κραδασμών
Συνήθως, η μοριακή αντλία έχει δοκιμαστεί αυστηρά και η δόνηση είναι πολύ μικρή και μπορεί να συνδεθεί απευθείας με το αντλούμενο σύστημα.Για εφαρμογές οργάνων υψηλής ακρίβειας (όπως ηλεκτρονικά μικροσκόπια κ.λπ.), συνιστάται η χρήση απομονωτών κραδασμών για την ελαχιστοποίηση της επίδρασης των κραδασμών στο όργανο.
6.5 Ισχυρή θωράκιση μαγνητικού πεδίου
Ο περιστρεφόμενος ρότορας παράγει δινορεύμα στο μαγνητικό πεδίο, το οποίο θα προκαλέσει τη θέρμανση του ρότορα.Δεδομένου ότι η θερμότητα θα αποδυναμώσει την αντοχή του υλικού αλουμινίου, η εφαρμογή της μοριακής αντλίας στο μαγνητικό πεδίο περιορίζεται σε κάποιο βαθμό.
6.6 ηλεκτρομαγνητική παρεμβολή
Ορισμένα όργανα υψηλής συχνότητας, όπως οι μοριακές αντλίες και οι μετατροπείς συχνότητας, μπορεί να προκαλέσουν ηλεκτρομαγνητικές παρεμβολές στο περιβάλλον.Αλλά στην περίπτωση της τήρησης των διεθνών προτύπων, η εφαρμογή μοριακών αντλιών δεν θα περιοριστεί.Εάν πληρούνται οι προϋποθέσεις, θα πρέπει να εκδίδονται ταυτόχρονα και τα αντίστοιχα πιστοποιητικά.
6.7 Ισχυρός περιορισμός ραδιενέργειας
Τα περισσότερα υλικά θα αλλάξουν τις ιδιότητές τους σε ένα ισχυρό ραδιενεργό περιβάλλον, ειδικά οργανικά υλικά (όπως λάδι μοριακής αντλίας, δακτύλιοι στεγανοποίησης) και εξαρτήματα ημιαγωγών.Η μοριακή αντλία μπορεί να αντισταθεί σε ένταση ακτινοβολίας 105 rad.Επιλέγοντας αντιραδιενεργά υλικά και χρησιμοποιώντας τροφοδοτικό με κινητήρα, μπορεί να βελτιωθεί η ισχύς κατά της ακτινοβολίας.Κατά την άντληση τριτίου, προκειμένου να αποτραπεί η διαφυγή του ραδιενεργού στοιχείου τρίτιο στην ατμόσφαιρα, όλοι οι δακτύλιοι στεγανοποίησης στη μοριακή αντλία πρέπει να είναι κατασκευασμένοι από μεταλλικά υλικά
6.8 Αντλία εμπρός γραμμής
Στο άκρο υψηλής πίεσης της καμπύλης απόδοσης της μοριακής αντλίας, η πίεση εισόδου κυμαίνεται από περίπου 200 Pa έως 10-1 Pa, που εκτείνεται σε τρεις τάξεις μεγέθους.Η μέση ελεύθερη διαδρομή των μορίων αερίου γίνεται μικρότερη και το αποτέλεσμα άντλησης αρχίζει να επιδεινώνεται.Επομένως, στη ζώνη μετάβασης, όσο μεγαλύτερη είναι η χρήση της αντλίας υποστήριξης, τόσο μεγαλύτερη είναι η ταχύτητα άντλησης της μοριακής αντλίας.Η αντλία μπροστινής γραμμής πρέπει να είναι τουλάχιστον 3 L/S.
Κοινά σφάλματα και αντιμετώπιση προβλημάτων
Η μοριακή αντλία σύνθετης λίπανσης με γράσο της σειράς EV-Z είναι μια μηχανική αντλία κενού που πραγματοποιεί την εξαγωγή αέρα μέσω σχετικά υψηλής ταχύτητας περιστροφής δυναμικών και στατικών πτερυγίων στροβίλου πολλαπλών σταδίων.Η στροβιλομοριακή αντλία έχει τα χαρακτηριστικά της υψηλής ταχύτητας άντλησης και της υψηλής αναλογίας συμπίεσης στην περιοχή μοριακής ροής και εξοικονομεί περισσότερο ενέργεια από την αντλία διάχυσης και δεν έχει ρύπανση από λάδι και ατμό.Η μοριακή αντλία σύνθετης λίπανσης με γράσο της σειράς EV είναι η μοριακή αντλία με τη μεγαλύτερη ταχύτητα άντλησης 100 διαμετρημάτων στην Κίνα.
Αυτή η μοριακή αντλία δεν έχει επιλεκτικότητα και καμία επίδραση μνήμης στο αέριο που πρόκειται να αντληθεί.Λόγω της υψηλής αναλογίας συμπίεσης του αερίου με μεγάλο μοριακό βάρος, η αντλία μπορεί να αποκτήσει καθαρό υψηλό κενό και εξαιρετικά υψηλό κενό χωρίς παγίδες κρύου και διαφράγματα λαδιού..Χρησιμοποιείται ευρέως σε διάφορους τομείς της ηλεκτρονικής, της μεταλλουργίας, της χημικής βιομηχανίας, της επιστημονικής έρευνας και της τεχνολογίας κενού.
Ώρα δημοσίευσης: Ιούλιος-01-2022