EV-serio kunmetitaj molekulaj pumpiloj
EV-serio Teknikaj Datumoj
Modelo | EV-600 EV-600F | EV-1200 EV-1200F | EV-1600 EV-1600F | ||||
Enirflanĝo (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
Elirejo Flanĝo (mm) | 40 KF | 40 KF | 50 KF | ||||
Pumpa rapideco (L/S) | 600 | 1200 | 1600 | ||||
Kunprema Proporcio | N2 | >109 | >109 | >109 | |||
H2 | > 8X103 | > 1X104 | > 1X104 | ||||
Finfina Vakuo (Pa) | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | |
Rotacia Rapido (rpm) | 24000 | 24000 | 24000 | ||||
Vibro | ≤0.1 μm | ≤0.1 μm | ≤0.15 μm | ||||
Tempodaŭro (min) | <4.5 | <5 | <6 | ||||
Subtena Pumpilo | 4-8 L/S | 8-15 L/S | 15 L/S | ||||
Malvarmiga Metodo | Akvo(aero) malvarmigo | Akvo(aero) malvarmigo | Akvo(aero) malvarmigo | ||||
Temperaturo de Malvarmiga Akvo (℃) | ≤20 | ≤20 | ≤20 | ||||
Ĉirkaŭa temperaturo (℃) | ≤35 | ≤35 | ≤35 | ||||
Kvanto de Malvarma Fluo de Akvo | 1-2 L/min | 1-2 L/min | 1-2 L/min | ||||
Bake-ekstertemperaturo (℃) | <120 | <120 | <120 | ||||
Hejtila potenco (w) | <250 | <300 | <300 | ||||
Hejtila Enira Tensio (v) | AK220 | AK220 | AK220 | ||||
Muntado | Vertikala ±5° | Vertikala ±5° | Vertikala ±5° | ||||
Pezo (kg) | ≈25 | ≈29 | ≈31 |
Atmosfera Pumpa Kurbo de Kunmetaĵo
Molekula Pumpilo
Kunprema proporcia kurbo de nitrogeno kaj hidrogeno
per kunmetita molekula pumpilo
EV Serio Instalaĵo Dimensiotabelo de kunmetita Molekula Pumpilo
Modelo | EV-600 | EV-1200 | EV-1600 | ||||
Enirflanĝo (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 | |
D2 | Φ212 | Φ212 | Φ237 | Φ237 | Φ274 | Φ274 | |
D3 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ296 | Φ296 | |
D4 | ¨145.7 | ¨145.7 | ¨167.6 | ¨167.6 | ¨183.9 | ¨183.9 | |
H1 | 375 | 375 | 405 | 405 | 393 | 393 | |
H2 | 235 | 235 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H3 | 238 | 238 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H4 | 108 | 108 | 113 | 113 | 110 | 110 | |
H5 | 4 | 4 | 19 | 19 | 16 | 16 | |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 160 | 160 | |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 176 | 176 | |
Pumpi kruro ŝraŭbtruo | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | |
Elirejo Flanĝo (mm) | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF50 | KF50 |
EV Serio Aero-malvarmiga kunmetaĵo Molekulaj Pumpiloj
EV-serio aero-malvarmigita komponaĵo molekula pumpilo estas kunmetita de turbomolekula pumpilo kaj disko tiradpumpilo.Ĝi havas la karakterizaĵojn de alta pumpado-rapideco kaj kunprema proporcio por molekula fluo de turbomolekula pumpilo, alta pumpa rapido kaj kunprema proporcio por alta premo de tiradpumpilo, kaj vastigas la aplikan amplekson de molekula pumpilo.
La kunmetita molekula pumpilo havas neniun selektivecon kaj memorefikon sur la pumpita gaso.Pro ĝia alta kunprema proporcio al la gaso kun granda molekula pezo, la pumpilo povas akiri puran altan kaj ultra altan vakuon sen malvarma kaptilo kaj oleo-deflector.Ĝi estas vaste uzata en diversaj kampoj de elektroniko, metalurgio, kemia industrio, scienca esplorado kaj vakua teknologio.
Modelo | EV-600F | EV-1200F | EV-1600F | |||
Enirflanĝo (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 |
D2 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ274 | Φ274 |
D3 | ¨145.7 | ¨145.7 | ¨167.6 | ¨167.6 | ¨183.8 | ¨183.8 |
H1 | 455 | 455 | 472 | 472 | 465 | 465 |
H2 | 217.5 | 217.5 | 210 | 210 | 214.5 | 214.5 |
H3 | 151 | 151 | 151 | 151 | 153 | 153 |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 161 | 161 |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 166 | 166 |
Pumpi kruro ŝraŭbtruo | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 |