Conocimiento – Válvulas de vacío

I. Introducción de válvula
La válvula de vacío es un componente del sistema de vacío que se utiliza para cambiar la dirección del flujo de aire, ajustar el tamaño del flujo de gas, cortar o conectar la tubería en el sistema de vacío.Las piezas de cierre de la válvula de vacío están selladas mediante una junta de goma o una junta metálica.

II.Aplicaciones comunes de válvulas de vacío.
válvulas de vacío
Se utiliza en equipos con sistemas de vacío alto o ultra alto cuando se debe mantener el vacío en un sistema cerrado de manipulación de vacío.Las válvulas de vacío se utilizan para controlar el flujo de aire hacia la cámara de vacío, aislar, ventilar, proporcionar reducción de presión o controlar la conducción.Las válvulas de compuerta, las válvulas en línea y las válvulas de ángulo son los tipos más comunes de válvulas de vacío utilizadas para aplicaciones de vacío alto o ultra alto.Los tipos de válvulas adicionales incluyen válvulas de mariposa, válvulas de transferencia, válvulas de bola, válvulas de péndulo, válvulas totalmente metálicas, válvulas de vacío, válvulas de ángulo de aluminio, válvulas de vacío recubiertas de teflón y válvulas de paso directo.

Válvulas de mariposa
Son válvulas de apertura rápida que consisten en discos o paletas metálicas que giran en ángulo recto con la dirección del flujo en la tubería y, cuando giran sobre su eje, la válvula sella el asiento en el cuerpo de la válvula.

Válvulas de transferencia (válvulas de compuerta rectangulares)
Válvulas de separación adecuadas para su uso entre cámaras de vacío bloqueadas por carga y cámaras de transferencia, y entre cámaras de transferencia y cámaras de procesamiento en equipos de fabricación de semiconductores.

Válvulas de bola de vacío
Son válvulas de flujo recto de un cuarto de vuelta con un conjunto de cierre circular con asientos circulares a juego para una tensión de sellado uniforme.

Válvulas pendulares
Es una válvula de mariposa grande instalada entre la cámara de vacío del proceso y la entrada de la bomba turbomolecular.Estas válvulas pendulares de vacío generalmente están diseñadas como válvulas de compuerta o de péndulo para aplicaciones que incluyen sistemas de fabricación industrial OLED, FPD y fotovoltaica.

Válvulas totalmente metálicas
Diseñado para su uso en entornos de vacío ultraalto donde las altas temperaturas no permiten el uso de elastómeros y metales para juntas criogénicas.Las válvulas totalmente metálicas horneables proporcionan un sellado confiable a altas temperaturas, desde presión atmosférica hasta menos de 10-11 mbar.

válvulas de vacío
Opere de manera confiable en sistemas de producción de semiconductores y en aplicaciones con contaminación química y de partículas.Se pueden utilizar en entornos de vacío intenso, alto vacío o vacío ultraalto.

Válvulas de ángulo de aluminio
La entrada y salida de estas válvulas están en ángulo recto entre sí.Estas válvulas de ángulo están hechas de aluminio A6061-T6 y se utilizan en la fabricación de semiconductores e instrumentación, I+D y sistemas de vacío industriales para aplicaciones de alto vacío a alto.

La válvula de vacío recubierta de teflón es un dispositivo de componente de vacío de acero inoxidable totalmente diseñado con un revestimiento duradero y altamente resistente a productos químicos.

III.Características de las válvulas de vacío.
La presión está por debajo de la presión atmosférica y la caída de presión a través de la trampilla de la válvula no puede exceder 1 kg fuerza/cm.La temperatura de trabajo del medio depende del proceso del dispositivo utilizado.La temperatura generalmente no excede el rango de -70 ~ 150°C.El requisito más básico para este tipo de válvulas es garantizar un alto grado de estanqueidad de la conexión y la densidad de la estructura y el material de la junta.

Según la presión media, las válvulas de vacío se pueden dividir en cuatro grupos.
1) Válvulas de bajo vacío: presión media p=760~1 mmHg.
2）Válvulas de vacío medio: p=1×10-3 mmHg.
3）Válvulas de alto vacío: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4）Válvula de vacío ultraalto: p≤1×10-8 mmHg.

Como válvula de circuito cerrado con un diámetro de paso inferior a 250 mm, el vástago más utilizado es una válvula de cierre de fuelle de vacío con movimiento lineal.Las válvulas de compuerta, sin embargo, son más restringidas, pero se aplican principalmente a diámetros grandes.También están disponibles válvulas de obturador esférico (válvulas de bola), válvulas de émbolo y válvulas de mariposa.Las válvulas de tapón para válvulas de vacío no se han promocionado porque requieren lubricación con aceite, lo que hace posible que el vapor de aceite ingrese al sistema de vacío, lo cual no está permitido.Las válvulas de vacío se pueden controlar manual y remotamente en el campo, así como eléctrica, electromagnéticamente (válvulas solenoides), neumática e hidráulicamente.