EV seeria liitmolekulaarpumbad
EV-seeria tehnilised andmed
Mudel | EV-600 EV-600F | EV-1200 EV-1200F | EV-1600 EV-1600F | ||||
Sisselaske äärik (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
Väljalaske äärik (mm) | 40 KF | 40 KF | 50 KF | ||||
Pumpamiskiirus (L/S) | 600 | 1200 | 1600 | ||||
Tihendussuhe | N2 | >109 | >109 | >109 | |||
H2 | >8X103 | >1X104 | >1X104 | ||||
Ülim vaakum (Pa) | <8x10-8 | <5X10-7 | <8x10-8 | <5X10-7 | <8x10-8 | <5X10-7 | |
Pöörlemiskiirus (rpm) | 24000 | 24000 | 24000 | ||||
Vibratsioon | ≤0,1 μm | ≤0,1 μm | ≤0,15 μm | ||||
Valmimisaeg (min) | <4.5 | <5 | <6 | ||||
Tagatispump | 4-8 L/S | 8-15 L/S | 15 L/S | ||||
Jahutusmeetod | Vesi (õhk) jahutamine | Vesi (õhk) jahutamine | Vesi (õhk) jahutamine | ||||
Jahutusvee temperatuur (℃) | ≤20 | ≤20 | ≤20 | ||||
Ümbritsev temperatuur (℃) | ≤35 | ≤35 | ≤35 | ||||
Jahutusvee vooluhulk | 1-2 l/min | 1-2 l/min | 1-2 l/min | ||||
Küpsetustemperatuur (℃) | <120 | <120 | <120 | ||||
Küttekeha võimsus (w) | <250 | <300 | <300 | ||||
Küttekeha sisendpinge (v) | AC220 | AC220 | AC220 | ||||
Paigaldamine | Vertikaalne ±5° | Vertikaalne ±5° | Vertikaalne ±5° | ||||
kaal (kg) | ≈25 | ≈29 | ≈31 |
Ühendi atmosfääri pumpamise kõver
Molekulaarpump
Lämmastiku ja vesiniku kokkusurumissuhte kõver
liitmolekulaarpumba abil
EV-seeria ühendmolekulaarpumba paigaldusmõõtmete tabel
Mudel | EV-600 | EV-1200 | EV-1600 | ||||
Sisselaske äärik (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 | |
D2 | Φ212 | Φ212 | Φ237 | Φ237 | Φ274 | Φ274 | |
D3 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ296 | Φ296 | |
D4 | 145,7 ¨ | 145,7 ¨ | ¨167,6 | ¨167,6 | 183,9 ¨ | 183,9 ¨ | |
H1 | 375 | 375 | 405 | 405 | 393 | 393 | |
H2 | 235 | 235 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H3 | 238 | 238 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H4 | 108 | 108 | 113 | 113 | 110 | 110 | |
H5 | 4 | 4 | 19 | 19 | 16 | 16 | |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 160 | 160 | |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 176 | 176 | |
Pumba jala kruviauk | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | |
Väljalaske äärik (mm) | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF50 | KF50 |
EV-seeria õhkjahutussegu molekulaarpumbad
EV-seeria õhkjahutusega ühendmolekulaarpump koosneb turbomolekulaarpumbast ja ketasveopumbast.Sellel on turbomolekulaarse pumba molekulaarse voolu jaoks suur pumpamiskiirus ja surveaste, suur pumpamiskiirus ja surveaste veopumba kõrge rõhu korral ning see laiendab molekulaarpumba rakendusala.
Ühendmolekulaarpumbal puudub pumbatava gaasi selektiivsus ja mäluefekt.Tänu suurele surveastmele suure molekulmassiga gaasi suhtes saab pump saavutada puhta kõrg- ja ülikõrgvaakumi ilma külmalõksu ja õlitõkketa.Seda kasutatakse laialdaselt erinevates elektroonika, metallurgia, keemiatööstuse, teadusuuringute ja vaakumtehnoloogia valdkondades.
Mudel | EV-600F | EV-1200F | EV-1600F | |||
Sisselaske äärik (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 |
D2 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ274 | Φ274 |
D3 | 145,7 ¨ | 145,7 ¨ | ¨167,6 | ¨167,6 | ¨183,8 | ¨183,8 |
H1 | 455 | 455 | 472 | 472 | 465 | 465 |
H2 | 217,5 | 217,5 | 210 | 210 | 214,5 | 214,5 |
H3 | 151 | 151 | 151 | 151 | 153 | 153 |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 161 | 161 |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 166 | 166 |
Pumba jala kruviauk | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 |