Suur pumpamiskiirus vastupidav Madala müratasemega DRV pöörleva labaga õhupumba vaakumpump
DRV-seeria vaakumpump on kaheastmeline pöörleva labaga õlitihendiga vaakumpump, mis sobib madala ja keskmise vaakumrakenduste jaoks, mida kasutatakse peamiselt õhu ja muude kuivade gaaside eemaldamiseks.See on üks peamisi madala ja keskmise vaakumi seadmeid, seda saab kasutada eraldi või eesmiseks
teiste vaakumpumpade pump.
Vaakumpumbal on töökindlus, vähem kuluvad osad, madal vibratsioon, madal müratase ja kõrge efektiivsus.
SV-seeria vaakumpump imporditakse välismaisest kõrgtehnoloogiast ja põhikomponendid on imporditud või imporditud komponendid.
materjalid.DRV seeria vaakumpump võib täielikult asendada sarnaseid välismaiseid tooteid.
EVFB seeria molekulaarpumba toote brošüür
Mudel:
EVFB-100/301 Integreeritud molekulaarpump
EVFB-160/401 Integreeritud molekulaarpump
EVFB-160/450D vibratsioonivastane molekulaarpump
EVFB-160/701Ühendatud integreeritud molekulaarpump
EVFB-200/1401 Integreeritud molekulaarpump
EVFB-250/2201 Integreeritud molekulaarpump
EVFB-160/701Liitmolekulaarpump
EVFB-200/1401 Ühendmolekulaarpump
EVFB-250/2201 Ühendmolekulaarpump
EVFB-400/3600 Turbo molekulaarpump
EVFB-400/4500 Turbo molekulaarpump
toote ülevaade
Molekulaarpump on omamoodi suure kiirusega pöörleva impulsi ülekande vaakumpump, selle töörõhuvahemik on tavaliselt 10-1Pa ~ 10-7Pa on üks olulisi vaakumi kogumise seadmeid kõrgvaakumi ja ülikõrge vaakumi saavutamiseks.Molekulaarpumba eelisteks on kiire käivituskiirus, lai töövahemik, madal energiatarve, kõrge puhtus ja lihtne hooldus.
Selles näidisraamatus kirjeldatud molekulaarpumba tooted on teise põlvkonna tooted
ettevõtte poolt äsja turule lastud, mis on peamiselt kavandatud ja optimeeritud tööstusliku vaakum- ja teadusuuringute valdkondade jaoks, sealhulgas esimene seeria tööstuslike vaakummolekulaarsete pumpade tooted koos integreeritud kontrollerite ja paindlike rakendusstsenaariumitega.Kaliibri järgi on peamiselt DN100, DN160, DN200, DN250 ja DN400 ning muud tooted.
Määrdega määritud integreeritud molekulaarpump
Selle tootesarja peamised omadused:
(1) Integreeritud kontroller: integreeritud kontrolleri disain, hõlbustab süsteemi integreerimist, võti käivitamine-seiskamine；
(2) Täppis-laager: määrdega määritav täppiskeraamiline kuullaager, paigaldatud mis tahes nurga all；
(3) Kõrge töökindlus: Üldrootorid, BLDC juhtimistehnoloogia；
(4) Funktsionaalne mitmekesisus: lai valik tarvikuid, saadaval on kohandatud lahendused；
（5） Pakkuda reguleeritava kiiruse funktsiooni， Erinevate pumpamiskiiruste nõuete täitmiseks；
See tooteseeria sobib peamiselt PVD, CVD, vedelkristallplaatide ja muude tööstuslike katete jaoks;Massispektromeetria, suure energiaga füüsika, vaakumlekke tuvastamine, meditsiin ja biotehnoloogia ning muud teaduslikud uurimisvaldkonnad.
Molekulaarpumba tehnilised andmed
| Mudel | EVFB-100/301 | EVFB-160/401 | EVFB-160/450D(eritellimusel valmistatud） | ||||
| ☑The vaakum parameetrid | |||||||
| Pumpamine kiirust (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | He | |
| 300 | 230 | 460 | 380 | 38 | 310 | ||
| Ülim survet | < 5×10-6 Pa (LF) ;< 5 × 10 -7 Pa (CF) | < 8 × 10 -6 Pa (LF) < 8 × 10 -7 Pa (CF) | |||||
| Kokkusurumine suhe | > | > | > | > | > 1 × 108 | > 1 × 10 3 | |
| Maksimaalselt pidev inletpress ure | 10 Pa | 2Pa | 10 Pa | 2 Pa | 20 | 5 Pa | |
| Maksimaalne pidev esijoone rõhk | 300 | 200 | 300 | 200 Pa | 20 | 10 Pa | |
| Maxforeline survetaluvus | 1000 | 500 | 1000 | 500 Pa | 50 | 20 Pa | |
| ☑Füüsiline parameeter | |||||||
| Sisselaskeava äärik | DN100 ISO-K (LF) või CF | DN160 ISO-K (LF) või CF | |||||
| Eesjoon äärik | DN25 ISO-KF või DN40KF (valikuline) | ||||||
| Puhastamine äärik | DN16 ISO-KF | ||||||
| Kaal | 9,6 kg (ISO-K | 10 kg (ISO-K) | |||||
| 10 kg (CF) | 11 kg (CF) | ||||||
| Vibratsioon | ≤0,05 μm | ||||||
| Müra | ≤55 dB (standardne õhkjahutus) | ||||||
| Laager | Määrige määritud keraamiline kuullaager | ||||||
| Töötavad positsiooni | Ükskõik milline | ||||||
| Oper.ambient Magnetiline valdkonnas | ≤3 mT (suurim 10 mT, vaja kohandada) | ||||||
| Oper.ambie nt | Õhujahutus | 5 ~ 35 ℃ | |||||
| Vesijahutus | 5 ~ 40 ℃ | ||||||
| Jahutusvee nõuded | Veetemperatuur:15-30℃；rõhk：0,15Mpa；PH6~8，selge，Õlivaba；vool：≥1L/min | ||||||
| Soovitatav esipump | 2-6 l/s | 3-8L/s | |||||
| ☑Kontroller parameetrid | |||||||
| Kontroller | EVFB-II | ||||||
| Rotatsiooniline kiirust | 48000rp | 36000 pööret minutis | |||||
| Madal kiirust | 33600 rp | 25200 pööret minutis | |||||
| Käivitamine aega | ≤5 min | ||||||
| Pinge | 48VAC±2% | ||||||
| Suhtlemine režiimis | RS-485 | ||||||
| Mudel | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | ||||
| ☑The vaakum parameetrid | |||||||
| Ülim rõhk (Pa) | <5x10-6 (LF)；<5x10-7 (CF) | ||||||
| Pumpamine kiirust (L/s) | N2 | He | N | He | N2 | He | |
| 6 | 5 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | ||
| Kokkusurumine suhe | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | |
| Maksimaalselt pidev inletpress ure (Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | |
| Maksimaalne pidev esijoone rõhk (Pa) | 30 | 2 | 3 | 2 | 2 | 1 | |
| Maxforelinepress uretolerants (Pa) | 10 | 5 | 1000 | 5 | 5 | 2 | |
| ☑Füüsiline parameeter | |||||||
| Sisselaskeava äärik | DN160 ISO-K (LF) või CF | DN200 ISO-K （LF）或 CF | DN250 ISO-K (LF) või | ||||
| Eesjoon äärik | DN25 ISO-KF või KF40 (valikuline) | DN40 ISO-KF või KF50 (valikuline) | |||||
| Puhastamine äärik | DN16 ISO-KF | ||||||
| Soovitatav esipump (l/s) | 4~ | 8~ | 16~2 | ||||
| Kaal(kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ||||
| 23 (CF) | 34 | 45 (CF) | |||||
| Vibratsioon | ≤ | ||||||
| Müra (dB) | ≤ | ||||||
| Laager | Määrige määritud keraamiline kuullaager | ||||||
| Töötavad positsiooni | Ükskõik milline | ||||||
| Magnetiline valdkonnas intensiivsus (mT) | ≤3 (suurim 10 mT, vaja kohandada) | ||||||
| Oper.ambient temperatuuri | Õhk jahutamine | 5 ~ 35 ℃ | |||||
| Vesi jahutamine | 5-40 ℃ | ||||||
| Jahutus vesi nõuded | Vee temperatuur: 15-25 ℃, rõhk: 0,15 MPa, PH6 ~ 8, selge, õlivaba ；Väljavool：≥1,5L/min | ||||||
| ☑Kontroller parameetrid | |||||||
| Kontroller | EVFB-III-A | ||||||
| Suhtlemine režiimis | RS-485 | ||||||
| Pinge(V） | 220 V AC±10% | ||||||
| Sagedus(Hz） | 50/60±5% | ||||||
| Maksimaalne sisend Võimsus(W） | 100 | ||||||
| Start/stopp kontroll režiimis | Kontrolleri nupud juhivad käivitamist ja seiskamist /RS485 kontrolleri käivitamist ja seiskamist /DB15 Juhtivad käivitamist ja seiskamist | ||||||
| Kaitsed | Kontrolleri ülevool, ülepinge, alapinge, ülekuumenemiskaitse, molekulaarpumba ülevool, ülekoormus, ülekuumenemiskaitse jne | ||||||
| Rotatsiooniline kiirust (r/min) | 36000±0,1% | 30000±0,1% | 24000±0,1% | ||||
| Madal kiirust (r/min) | 25200±0,1% | 21000±0,1% | 16800±0,1% | ||||
| Praegune(A） | ≤0,6 | ≤1 | ≤1 | ||||
| Kaitse kaitsme(A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | ||||
| Käivitusaeg(min） | ~5 | ~6 | ~7 | ||||
| Seisakud(min） | ~5 | ~10 | ~12 | ||||
Üldine mõõde
| Mudel | DN | d1 | h | h1 | h2 | d2 | n |
| EVFB-100/301 | 100 LF | 130 | 253,5 | 180 | 170 | — | — |
| 100 CF | 152 | 274,5 | 201 | 191 | 130.3 | 16 | |
| EVFB-160/401 | 160 LF | 180 | 239,5 | 169,5 | 159,5 | — | — |
| 160 CF | 202 | 238,5 | 168,5 | 158,5 | 181 | 20 | |
| EVFB-160/450D | 160 LF | 180 | 243 | 169,5 | 159,5 | — | — |
| 160 CF | 202 | 242 | 168,5 | 158,5 | 181 | 20 |
| Mudel | DN | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 | 160 LF | 180 | 218,5 | 241,8 | 336,8 | 201.8 | 124,8 |
| EVFB-160/701 | 160CF | 202 | 218,5 | 268,8 | 359,8 | 224,8 | 124,8 |
| EVFB-200/1400 | 200 LF | 240 | 267 | 257,5 | 352,5 | 231,5 | 155,1 |
| EVFB-200/1401 | 200 CF | 253 | 267 | 274,5 | 369,5 | 248,5 | 155,1 |
| EVFB-250/2200 | 250 LF | 290 | 296 | 229,8 | 324,8 | 203.8 | 165,3 |
| EVFB-250/2201 | 250 CF | 305 | 296 | 259,8 | 354,8 | 233,8 | 165,3 |
Tellimine Teave
| Number | Toode mudel | Toode kood | Aksessuaarid | Tellinumber | Seletama |
|
1 |
EVFB-100/301 (LF) |
A3123 | standardne molekulaarpump | A3123 | Standardne pump (õhkjahutus on vaikimisi standardne) |
| Puhastusventiili tarvikud(väike vool) | A3123-A | Standardne pump + puhastusklapi tarvikud (väike vooluhulk) | |||
| Vesijahutuskomponendid | A3123-B | Standardne pump + vesijahutuskomponendid (vahetage õhkjahutusega komponendid) | |||
| Puhastusventiili tarvikud (väike vooluhulk) 、Vesi jahutuskomponendid | A3123-C | Standardne pump + puhastusklapi tarvikud (väike vooluhulk) + vesijahutuskomponendid (vahetage õhkjahutusega komponendid) | |||
|
2 |
EVFB-100/301(CF) |
A3124 | standardne molekulaarpump | A3124 | Standardne pump (õhkjahutus on vaikimisi standardne) |
| Puhastusventiili tarvikud(väike vool) | A3124-A | Standardne pump + puhastusklapi tarvikud (väike vooluhulk) | |||
| Vesijahutuskomponendid | A3124-B | Standardne pump + vesijahutuskomponendid (vahetage õhkjahutusega komponendid) | |||
| Puhastusventiili tarvikud (väike vooluhulk) 、Vesi jahutuskomponendid | A3124-C | Standardne pump + puhastusklapi tarvikud (väike vooluhulk) + vesijahutuskomponendid (vahetage õhkjahutusega komponendid) | |||
|
3 |
EVFB-160/401 (LF) |
A3127 | standardne molekulaarpump | A3127 | Standardne pump (õhkjahutus on vaikimisi standardne) |
| Puhastusventiili tarvikud(väike vool) | A3127-A | Standardne pump + puhastusklapi tarvikud (väike vooluhulk) | |||
| Vesijahutuskomponendid | A3127-B | Standardne pump + vesijahutuskomponendid (vahetage õhkjahutusega komponendid) | |||
| Puhastusventiili tarvikud (väike vooluhulk) 、Vesi jahutuskomponendid | A3127-C | Standardne pump + puhastusklapi tarvikud (väike vooluhulk) + vesijahutuskomponendid (vahetage õhkjahutusega komponendid) | |||
|
4 |
EVFB-160/401(CF) |
A3128 | standardne molekulaarpump | A3128 | Standardne pump (õhkjahutus on vaikimisi standardne) |
| Puhastusventiili tarvikud(väike vool) | A3128-A | Standardne pump + puhastusklapi tarvikud (väike vooluhulk) | |||
| Vesijahutuskomponendid | A3128-B | Standardne pump + vesijahutuskomponendid (vahetage õhkjahutusega komponendid) | |||
| Puhastusventiili tarvikud | A3128-C | Standardne pump + puhastusventiil |
| (väike vooluhulk) 、Vesi jahutuskomponendid | tarvikud (väike vooluhulk) + vesijahutuskomponendid (vahetageõhkjahutusega komponendid) | ||||
|
5 |
EVFB-160/450D (LF) |
A3129 | standardne molekulaarpump | A3129 | Standardne pump (õhkjahutus on vaikimisi standardne) |
| Puhastusventiili tarvikud(väike vool) | A3129-A | Standardne pump + puhastusklapi tarvikud (väike vooluhulk) | |||
| Vesijahutuskomponendid | A3129-B | Standardne pump + vesijahutuskomponendid (vahetage õhkjahutusega komponendid) | |||
| Puhastusventiili tarvikud (väike vooluhulk) 、Vesi jahutuskomponendid | A3129-C | Standardne pump + puhastusklapi tarvikud (väike vooluhulk) + vesijahutuskomponendid (vahetage õhkjahutusega komponendid) | |||
|
6 |
EVFB-160/450D(CF) |
A3130 | standardne molekulaarpump | A3130 | Standardne pump (õhkjahutus on vaikimisi standardne) |
| Puhastusventiili tarvikud(väike vool) | A3130-A | Standardne pump + puhastusklapi tarvikud (väike vooluhulk) | |||
| Vesijahutuskomponendid | A3130-B | Standardne pump + vesijahutuskomponendid (vahetage õhkjahutusega komponendid) | |||
| Puhastusventiili tarvikud (väike vooluhulk) 、Vesi jahutuskomponendid | A3130-C | Standardne pump + puhastusklapi tarvikud (väike vooluhulk) + vesijahutuskomponendid (vahetage õhkjahutusega komponendid) | |||
|
7 |
EVFB-160/701 (LF) |
A3139 | standardne molekulaarpump | A3139 | Standardne pump (vesijahutus).on vaikimisi standardne) |
| Puhastusventiili tarvikud | A3139-A | Standardne pump + puhastusventiiltarvikud | |||
| Ventilaatori komponendid | A3139-B | Standardne pump + ventilaator | |||
| Puhastusventiili tarvikud,Ventilaatori komponendid | A3139-C | Standardne pump + puhastusventiiltarvikud + ventilaatori komponendid | |||
|
8 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140 | standardne molekulaarpump | A3140 | Standardne pump (vesijahutus).on vaikimisi standardne) |
| Puhastusventiili tarvikud | A3140-A | Standardne pump + puhastusventiiltarvikud | |||
| Ventilaatori komponendid | A3140-B | Standardsed pumba + ventilaatori komponendid | |||
| Puhastusventiili tarvikud,Ventilaatori komponendid | A3140-C | Standardne pump + puhastusventiiltarvikud + ventilaatori komponendid | |||
|
9 |
EVFB-200/1401 (LF) |
A3135 | standardne molekulaarpump | A3135 | Standardne pump (vaikimisi on vesijahutus standardvarustuses) |
| Puhastusventiili tarvikud | A3135-A | Standardne pump + puhastusventiiltarvikud | |||
| Ventilaatori komponendid | A3135-B | Standardsed pumba + ventilaatori komponendid | |||
| Puhastusventiili tarvikud, | A3135-C | Standardne pump + puhastusventiil |
| Ventilaatori komponendid | tarvikud + ventilaatori komponendid | ||||
|
10 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136 | standardne molekulaarpump | A3136 | Standardne pump (vaikimisi on vesijahutus standardvarustuses) |
| Puhastusventiili tarvikud | A3136-A | Standardne pump + puhastusventiiltarvikud | |||
| Ventilaatori komponendid | A3136-B | Standardsed pumba + ventilaatori komponendid | |||
| Puhastusventiili tarvikud、 | A3136-C | Standardne pump + puhastusventiiltarvikud + ventilaatori komponendid | |||
|
11 |
EVFB-250/2201 (LF) |
A3141 | standardne molekulaarpump | A3141 | Standardne pump (vaikimisi on vesijahutus standardvarustuses) |
| Puhastusventiili tarvikud | A3141-A | Standardne pump + puhastusventiiltarvikud | |||
| Ventilaatori komponendid | A3141-B | Standardne pump + ventilaator | |||
| Puhastusventiili tarvikud、Ventilaatori komponendid | A3141-C | Standardne pump + puhastusventiiltarvikud + ventilaatori komponendid | |||
|
12 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142 | standardne molekulaarpump | A3142 | Standardne pump (vaikimisi on vesijahutus standardvarustuses) |
| Puhastusventiili tarvikud | A3142-A | Standardne pump + puhastusventiiltarvikud | |||
| Ventilaatori komponendid | A3142-B | Standardne pump + ventilaator | |||
| Puhastusventiili tarvikud、 | A3142-C | Standardne pump + puhastusventiiltarvikud + ventilaatori komponendid | |||
| 13 | EVFB-II | A3261 | - | A3261 | Molekulaarpumba kontroller (sobib molekulaarpumpadele nagu EVFB-100/301, EVFB-160/401, EVFB-100/450D) |
| 14 | EVFB-III-A | A3263 | - | A3263 | Molekulaarpumba kontroller (sobib molekulaarpumpadele nagu EVFB-160/701, EVFB-200/1401, EVFB-250/2201) |
Eraldatud liitmolekulaarpumbad
Selle tootesarja peamised omadused:
(1) Eraldi kontroller: AC220V toiteallikas, klahviga käivitus-stopp；
(2) Kõrge töökindlus: Üldrootorid, BLDC juhtimistehnoloogia；
(3) Täppis-laager: Täppiskeraamiline kuullaager, paigaldatud mis tahes nurga all (ainult määrdega määritud mudelid)；
(4) Funktsionaalne mitmekesisus: lai valik tarvikuid, saadaval on kohandatud lahendused；
（5） Pakkuda reguleeritava kiiruse funktsiooni， Erinevate pumpamiskiiruste nõuete täitmiseks； Seda tooteseeriat saab kasutada peamiselt PVD, CVD, vedelkristallplaatide ja muude jaoks
tööstuslik katmine, teadusuuringud ja muud valdkonnad.
Molekulaarpumba tehnilised parameetrid
| Mudel | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | EVFB-400/3600 | EVFB-400/4500 | |||||
| ☑The vaakum parameetrid | ||||||||||
| Ülirõhk (Pa) | <5x10-6 (LF)；<5x10-7 (CF) | |||||||||
| Pumpamine kiirust (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | H | N2 | He | N2 | He |
| 650 | 550 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | 3600 | 3000 | 4800 | 3500 | |
| Tihendussuhe | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | >1x108 | > 6x102 | >1x108 | >8x103 |
| Maksimaalne pidev sisselaskeavarõhk (Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | 0,05 | 0,02 | 0,03 | 0,01 |
| Maksimaalnepidev Eesjoon | 300 | 200 | 300 | 200 | 200 | 100 | 50 | 35 | 40 | 30 |
| Max foreline survetolerants (Pa) | 1000 | 500 | 1000 | 500 | 500 | 200 | 340 | 160 | 160 | 80 |
| ☑Füüsiline parameeter | ||||||||||
| Sisselaskeava äärik | DN160 ISO-K (LF) või CF | DN200 ISO-K (LF) või CF | DN250 ISO-K (LF) või CF | DN400 ISO-K (LF) või CF | DN400 ISO-K (LF) või CF | |||||
| Eesjoon äärik | DN25 ISO-KF,KF40 (valikuline) | DN40 ISO-KF, KF50 (valikuline) | DN100 ISO-K (LF) | DN100 ISO-K (LF)võiKF50 (valikuline) | ||||||
| Puhastamine äärik | DN16 ISO-KF | / | DN16 ISO-KF | |||||||
| Soovitatav | 4~10 L/s | 8-16 l/s | 16-24 L/s | 30-70 L/s | ||||||
| Kaal(kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ≈ 100 ISO-K(LF) | ≈ 83 ISO-K(LF) | |
| 23 (CF) | 34 (CF) | 45 (CF) | ≈ 105 (CF) | ≈ 88 (CF) | ||
| Vibratsioon | ≤ 0,05 | ≤ 0,3 | ||||
| Müra (dB) | ≤ 50 | ≤ 60 | ||||
| Laager | Määrige määritud keraamiline kuullaager | Keraamiline kuullaager | ||||
| Töötavad positsiooni | Ükskõik milline | Vertikaalne±5° | ||||
| Oper.Ambient Magnetväli | ≤ 3mT (suurim 10mT, vaja kohandada) | ≤ 3mT | ||||
| Oper.ümbritsev temperatuuri | Õhk jahutamine | 5~35oC | / | / | ||
| Vesijahutus | 5~40oC | |||||
| Jahutus vesi nõuded | Vee temperatuur: 15-25 ℃, eelkindel: 0,15 Mpa；vool: ≥ 1,5 l/min | vooluhulk：≥ 3L/min | ||||
| ☑Kontroller parameetrid | ||||||
| Eraldatud kontroller | EVFB-III-B (2U) | EVFB-VI (4U) | ||||
| Kaugjuhtimispult kontroll | Ülikaugusjuhtimine (palun konsulteerige meie inseneridega) | |||||
| Suhtlemine režiimis | RS-485 | |||||
| Pinge(V） | 100 kuni 240 VAC（± | 220 VAC (±10%) | ||||
| Sagedus(Hz） | 50/60 Hz±5% | |||||
| Maksimaalne sisendvõimsus(W） | 1000 | 1500 | ||||
| Start/stopp kontroll režiimis | Kontrolleri nupud juhivad käivitamist ja seiskamist /RS485 kontrolleri käivitamist ja seiskamist /DB15 Juhtivad käivitamist ja seiskamist | |||||
| Kaitsed | Kontrolleri ülevool, ülepinge, alapinge, ülekuumenemiskaitse, molekulaarpumba ülevool,ülekoormus, ülekuumenemiskaitse jne | |||||
| Rotatsiooniline kiirust (r/min) | 36000±0,1% | 30000±0,1% | 24000±0,1% | 13500±0,1% | 16200±0,1% | |
| Madal kiirust (r/min) | 25200±0,1% | 21000±0,1% | 16800±0,1% | / | ||
| Praegune(A） | ≤ 0,6 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 5 | ||
| Kaitse kaitsme(A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | 12 | ||
| Käivitamine aega(min） | ~5 | ~6 | ~7 | ~20 | ||
| Seisakud(min） | ~5 | ~10 | ~12 | ~30 | ||
| Oper. ümbritsev tingimus | Ei mingeid söövitavaid gaase ega ilmseid tolmuosakesi；keskkonna temperatuur：-10℃~50℃；keskkondniiskus：≤ 90%，vibratsiooni intensiivsus：≤ 0,5g | |||||
0 üldmõõde
| Mudel | D N | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 EVFB-160/701 | 160 LF | 180 | 218,5 | 241,8 | 336,8 | 201.8 | 124,8 |
| 160CF | 202 | 218,5 | 268,8 | 359,8 | 224,8 | 124,8 | |
| EVFB-200/1400 EVFB-200/1401 | 200 LF | 240 | 267 | 257,5 | 352,5 | 231,5 | 155,1 |
| 200 CF | 253 | 267 | 274,5 | 369,5 | 248,5 | 155,1 | |
| EVFB-250/2200 EVFB-250/2201 | 250 LF | 290 | 296 | 229,8 | 324,8 | 203.8 | 165,3 |
| 250 CF | 305 | 296 | 259,8 | 354,8 | 233,8 | 165,3 |
EVFB-400/3600 turbomolekulaarpumba mõõtmed
EVFB-400/4500 Turbomolekulaarpumba mõõtmed
Eraldatud kontrolleri välimus
EVFB-III-B (2U) eraldatud kontroller
EVFB-VI (4U) eraldatud kontroller
Telli Teave
| number | Toode mudel | toode kood | Aksessuaarid | Telli number | Seletama |
|
1 |
EVFB-160/701 (LF) |
A3139-F | Standardne molekulaarpump | A3139-F | Standardne pump (vaikimisi on vesijahutus standardvarustuses) |
| Puhastusventiili tarvikud | A3139-FA | Standardne pump + puhastusklapi tarvikud | |||
| Ventilaatori komponendid | A3139-FB | Standardsed pumba + ventilaatori komponendid | |||
| Puhastusventiili tarvikud, ventilaatori komponendid | A3139-FC | Standardne pump + puhastusventiili tarvikud + ventilaatori komponendid | |||
|
2 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140-F | standardne molekulaarpump | A3140-F | Standardne pump (vaikimisi on vesijahutus standardvarustuses) |
| Puhastusventiili tarvikud | A3140-FA | Standardne pump + puhastusklapi tarvikud | |||
| Ventilaatori komponendid | A3140-FB | Standardsed pumba + ventilaatori komponendid | |||
| Puhastusventiili tarvikud, ventilaatori komponendid | A3140-FC | Standardne pump + puhastusventiili tarvikud + ventilaatori komponendid | |||
|
3 |
EVFB-200/1401 (LF) |
A3135-F | standardne molekulaarpump | A3135-F | Standardne pump (vesijahutus on vaikimisi standard) |
| Puhastusventiili tarvikud | A3135-FA | Standardne pump + puhastusklapi tarvikud | |||
| Ventilaatori komponendid | A3135-FB | Standardsed pumba + ventilaatori komponendid | |||
| Puhastusventiili tarvikud, ventilaatori komponendid | A3135-FC | Standardne pump + puhastusventiili tarvikud + ventilaatori komponendid | |||
|
4 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136-F | standardne molekulaarpump | A3136-F | Standardne pump (vaikimisi on vesijahutus standardvarustuses) |
| Puhastusventiili tarvikud | A3136-FA | Standardne pump + puhastusklapi tarvikud | |||
| Ventilaatori komponendid | A3136-FB | Standardsed pumba + ventilaatori komponendid | |||
| Puhastusventiili tarvikud, ventilaatori komponendid | A3136-FC | Standardne pump + puhastusventiili tarvikud + ventilaatori komponendid | |||
|
5 |
EVFB-250/2201 (LF) |
A3141-F | standardne molekulaarpump | A3141-F | Standardne pump (vaikimisi on vesijahutus standardvarustuses) |
| Puhastusventiili tarvikud | A3141-FA | Standardne pump + puhastusklapi tarvikud | |||
| Ventilaatori komponendid | A3141-FB | Standardsed pumba + ventilaatori komponendid | |||
| Puhastusventiili tarvikud, ventilaatori komponendid | A3141-FC | Standardne pump + puhastusventiili tarvikud + ventilaatori komponendid | |||
|
6 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142-F | standardne molekulaarpump | A3142-F | Standardne pump (vaikimisi on vesijahutus standardvarustuses) |
| Puhastusventiili tarvikud | A3142-FA | Standardne pump + puhastusklapi tarvikud | |||
| Ventilaatori komponendid | A3142-FB | Standardsed pumba + ventilaatori komponendid | |||
| Puhastusventiili tarvikud | A3142-FC | Standardne pump + puhastusventiil |
| Ventilaatori komponendid | tarvikud + ventilaatori komponendid | ||||
| 7 | EVFB-400/3600 (LF) | A3187 | standardne molekulaarpump | A3187 | Standardne pump (vesijahutus). on vaikimisi standardne) |
| 8 | EVFB-400/3600 (CF) | A3188 | standardne molekulaarpump | A3188 | Standardne pump (vesijahutus). on vaikimisi standardne) |
|
9 |
EVFB-400/4500 (LF) |
A3185 | standardne molekulaarpump | A3185 | Standardne pump (vaikimisi on vesijahutus standardvarustuses) |
| Puhastusventiili tarvikud | A3185-A | Standardne pump + puhastusklapi tarvikud | |||
|
10 |
EVFB-400/4500(CF) |
A3186 | standardne molekulaarpump | A3186 | Standardne pump (vaikimisi on vesijahutus standardvarustuses) |
| Puhastusventiili tarvikud | A3186-A | Standardne pump + puhastusklapi tarvikud | |||
|
11 |
EVFB-III-HMI |
A3261-1 |
Käsitsi juhitav paneel |
A3261-1 | Kliendi valikuline ，Sobib molekulaarpumpadele nagu EVFB-160/701, EVFB-200/1401, EVFB-250/2201 |
| 12 | EVFB-VI | A3270 | Eraldi kontroller (4U) | A3270 | Sobib Turbo molekulaarpumpadele nagu EVFB-400/3600, EVFB-400/450 |
| 13 | EVFB-III-B | A3264 | Eraldi kontroller (2U) | A3264 | Sobib molekulaarpumpadele nagu EVFB-160/701, EVFB-200/1401, EVFB-250/2201 (eraldatud tüüp) |
