Tere tulemast meie veebisaitidele!

Massivoolu kontroller Massivoolumõõtur CS200

Lühike kirjeldus:

Täiustatud anduri ja temperatuuri kompenseerimise tehnoloogiaga CS200 MFC-d suudavad saavutada ±1% SP täpsuse ja madala temperatuurikoefitsiendi.Lisaks sellele on täiustatud juhtimissüsteemiga CS200 MFC-de keskmine reageerimisaeg kõikide seadepunktide muudatuste puhul 800 ms, minimeerides protsessis esinevad süsteemivead.


Toote üksikasjad

Tootesildid

Funktsioonid

1. Suur täpsus ja kiire reageerimine

CS200 MFC täpsust on parandatud ±1,0% SP-st ja kõige arenenumatel mudelitel on vähendatud reaktsiooniaeg alla 0,8 sekundi.

2. Madal nulli triivi ja temperatuuri koefitsient

Uue anduritehnoloogia leiutamine võimaldab CS200 MFC-l säilitada stabiilsust ja taluda temperatuurikõikumisi.Ilma automaatse nulliga võimendita on eeldatav nulli triiv väiksem kui 0,6%FS/aastas ja temperatuurikoefitsient alla 0,02%FS/℃(null),0,05%FS/℃ (vahemik).

3. Metallist suletud mudelid ja kõrge puhtusastmega funktsioon

CS200 MFC märjaks saanud voolutee on valmistatud pinnaga passiveeritud roostevabast terasest.Kõik CS200 MFC-d on kokku pandud Sevenstari ülipuhtates 100. klassi puhasruumides vastavalt nii SEMI kui ka ISO 9001 standarditele.

4. Ühilduvad liidesed

CS200 MFC ühildub järgmiste liidestega, mida klient saab valida:±8V-±16V kaheotsaline toiteallikas ja +14V-+28V üheotsaline toiteallikas;digitaal- või analoogsignaali sisend ja väljund;SEMI standardsed mehaanilised mõõtmed;ja RS-485 või DeviceNeti sidemoodul.

5. Mitmesugused funktsioonid

Võimas klienditarkvara on iga mudeli standardvarustuses, samas kui lisafunktsioonid, nagu mitme gaasi, mitme vahemiku, automaatne nullimine, alarmid, pehme käivitus ja viivitus, on saadaval kliendi valikuna.

Spetsifikatsioon

CS200

Tüüp

CS200A

CS200C

CS200D

Täisskaala ulatus (N2)

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM

( 0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM

( 0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM

( 0~1,2,3,5,10,20,30)SLM

Täpsus

±1,0% SP (≥35% FS) ±0,35% FS? (<35% FS)

Lineaarsus

±0,5% FS

Korratavus

±0,2% FS

Reaktsiooniaeg

≤1 s

≤0,8 sek (SEMI E17-0600)

Klapi puhkeasend

Tavaliselt suletud või

Ventiil puudub

Tavaliselt suletud või

Ventiil puudub

Tavaliselt suletud või

Ventiil puudub

Tavaliselt avatud (100 sccm≤FS≤5 slm) Tavaliselt avatud (100 sccm≤FS≤5 slm) Tavaliselt avatud (100 sccm≤FS≤5 slm)

Diferentsiaalne rõhk

0,05~0,35 MPa (Voolus≤10slm)

0,02 MPa

(0,05~0,35) MPa (≤10slm)

0,02 MPa

(0,05~0,35) MPa (≤10slm)

0,02 MPa

0,1–0,35 MPa (10 slm, vooluhulk≤ 30 slm)

(0,1~0,35) MPa (>10slm)

(0,1~0,35) MPa (>10slm)

0,2~0,45 MPa (vool>30slm)

Maksimaalne töörõhk

0,45 MPa

Temperatuur

Null:≤±0,05% FS/℃;

Null:≤±0,02% FS/℃;Laiusulatus:≤±0,05% FS/℃

Koefitsient

Laiusulatus: ≤±0,1% FS/℃ (Voolus≤30slm)

Laiusulatus: ≤±0,2% FS/℃ (Voolus>30 slm)

Tõestusrõhk

3 MPa (435 pisg)

Nulltriiv

0,6%FS aastas ilma automaatse nullita

Lekke terviklikkus

1×10-9 atm·cc/s He

1×10-10 atm·cc/s He

Niisutatud materjalid

Viton;

Metall? (roostevaba teras V/V, 5Ra)

Metallist

Pinna keemia

——

Cr/Fe suhe >2,0;CrO paksus >20 angströmi

Pinna viimistlus

25Ra

10Ra

25Ra

Töötemperatuur

(5~45)℃

(0~50)℃

Sisendsignaal

Digitaalne: RS485 või ProfiBus

Ei kehti

Digitaalne: RS485 või ProfiBus või DeviceNetTM

Ei kehti

Digitaalne: RS485 või ProfiBus või DeviceNetTM

Ei kehti

või DeviceNetTM

Analoog: (0~5)VDC või (4~20)mA või (0~20)mA

Analoog: (0~5)VDC või (4~20)mA või (0~20)mA

Analoog: (0~5)VDC või (4~20)mA või (0~20)mA

Väljundsignaal

Digitaalne: RS485 või DeviceNetTM või ProfiBusi analoog: (0~5)VDC või (4~20)mA või (0~20)mA

Toiteallikas

±8 ~ ±16 VDC või +14 ~ +28 VDC (400mA)

Elektrooniline pistik

9 kontaktiga isane alam-D, 15 kontaktiga isane alam-D, DeviceNetTMProfiBus, Analoog

Liitmikud

VCR1/4" M; VCO1/4" M;

VCR1/4” M;

SurveliitmikΦ10;TihutusliitmikΦ6;

surveliitmikΦ6,

Compression Fitting 3/8”;Kompressioonliitmik 1/4";

surveliitmikΦ3,

Compression Fitting1/8”;KompressioonliitmikΦ3;

Kompressioonliitmik 1/4"

Ф6 (sisemine) × 1 voolik;ф5 (sisemine) × 1,5 voolik; ф4 (sisemine) × 1 voolik;

W-tihend,

A-sael ;

C-tihend

Kaal

1 kg

0,8 kg

1,2 kg

1 kg

1,2 kg

1 kg

 

 

 

 

dajsdnj

  • Eelmine:
  • Järgmine:

  • Kirjutage oma sõnum siia ja saatke see meile