Massivoolu regulaatorid (MFC) võimaldavad gaaside massivoolu täpset mõõtmist ja juhtimist.
I. Mis vahe on MFC-l ja MFM-il?
Massivoolumõõtur (MFM) on mõõteriist, mis mõõdab täpselt gaasi voolu ja selle mõõteväärtus ei ole temperatuuri või rõhu kõikumiste tõttu ebatäpne ega vaja temperatuuri ja rõhu kompenseerimist. Massivoolu regulaator (MFC) ei ole mitte ainult omab massivoolumõõturi funktsiooni, kuid mis veelgi olulisem, see suudab gaasivoolu automaatselt juhtida, see tähendab, et kasutaja saab voolu vastavalt oma vajadustele seadistada ja MFC hoiab voolu automaatselt seadistatud väärtusel konstantsena, isegi kui süsteemi rõhk Keskkonnatemperatuuri kõikumised või muutused ei põhjusta selle kõrvalekaldumist seatud väärtusest.Massivoolu regulaator on püsiva voolu seade, mis on gaasi püsiva voolu seade, mida saab arvutiga ühendades käsitsi seadistada või automaatselt juhtida.Massivoolumõõturid ainult mõõdavad, kuid ei kontrolli.Massivoolu regulaatoril on reguleerimisventiil, millega saab nii gaasivoolu mõõta kui juhtida.
II.Mis on struktuur jatööpõhimõte?
1. Struktuur
2, tööpõhimõte
Kui vool siseneb sisselasketorusse, siis suurem osa voolust läbib jaotuskanalit, millest väike osa siseneb anduri sees olevasse kapillaartorusse.Tänu erilisele struktuurile
ümbersuunamiskanalis võivad gaasivoolu kaks osa olla otseselt proportsionaalsed.Andur on eelsoojendatud ja kuumutatud ning sisetemperatuur on kõrgem kui sissetuleva õhu temperatuur.Sel ajal mõõdetakse väikese osa gaasi massivoolu kapillaartoru soojusülekande põhimõttel ja temperatuuri erinevuse kalorimeetria põhimõttel.Sel viisil mõõdetud gaasivool võib ignoreerida temperatuuri ja rõhu mõju.Anduri tuvastatud vooluhulga mõõtmise signaal sisestatakse trükkplaadile ning võimendatakse ja väljastatakse ning MFM-i funktsioon on lõpetatud.PID suletud ahela automaatjuhtimisfunktsiooni lisamine trükkplaadile, Võrrelge anduri poolt mõõdetud vooluhulga mõõtmise signaali kasutaja antud seadistatud signaaliga.Sellest lähtuvalt juhitakse juhtventiili nii, et voolu tuvastamise signaal on võrdne seatud signaaliga, realiseerides nii MFC funktsiooni.
III.Rakendused ja funktsioonid.
MFC, mida kasutatakse laialdaselt järgmistes valdkondades: pooljuhtide ja IC-de tootmine, erimaterjaliteadus, keemiatööstus, naftatööstus, farmaatsiatööstus, keskkonnakaitse ja vaakumsüsteemide uurimine jne. Tüüpilised rakendused on järgmised: mikroelektroonilised protsessiseadmed, näiteks difusioon. , oksüdatsioon, epitaksia, CVD, plasmasöövitus, pihustamine, ioonide implanteerimine;vaakum-sadestamise seadmed, optiliste kiudude sulatamine, mikroreaktsiooniseadmed, segamis- ja sobitusgaasisüsteem, kapillaarvoolu juhtimissüsteem, gaasikromatograaf ja muud analüütilised instrumendid.
MFC tagab suure täpsuse, suurepärase korratavuse, kiire reageerimise, pehme käivituse, parema töökindluse, laia töörõhu vahemiku (hea töö kõrge rõhu ja vaakumi tingimustes), lihtsa ja mugava kasutamise, paindliku paigalduse, võimaliku arvutiga ühendamise automaatse töö teostamiseks. juhtimine kasutajate süsteemile.
IV.Kuidas määrata ja käsitleda fvaevused?
Meie ettevõttel on professionaalne müügijärgne insener, kes aitab teil lahendada paigaldamise ja kasutamisega seotud probleeme.
Postitusaeg: 29. juuli 2022