Teadmised – vaakumventiilid

I. Klapi sissejuhatus
Vaakumventiil on vaakumsüsteemi komponent, mida kasutatakse õhuvoolu suuna muutmiseks, gaasivoolu suuruse reguleerimiseks, torujuhtme katkestamiseks või ühendamiseks vaakumsüsteemis.Vaakumventiili sulgemisosad on tihendatud kummi- või metalltihendiga.

II.Levinud vaakumventiilide rakendused.
Vaakumventiilid
Kasutatakse kõrg- või ülikõrge vaakumsüsteemi seadmetes, kui vaakumit tuleb hoida suletud vaakumkäitlussüsteemis.Vaakumventiile kasutatakse vaakumkambrisse siseneva õhuvoolu juhtimiseks, isoleerimiseks, õhutamiseks, rõhu vähendamiseks või juhtivuse reguleerimiseks.Väravventiilid, sisemised ventiilid ja nurkventiilid on kõige levinumad vaakumventiilid, mida kasutatakse kõrge või ülikõrge vaakumiga rakendustes.Täiendavad ventiilitüübid hõlmavad liblikklappe, ülekandeventiile, kuulventiile, pendelventiile, täismetallist ventiile, vaakumventiile, alumiiniumist nurkventiile, teflonkattega vaakumventiile ja otseläbivooluklappe.

Liblikklapid
on kiiresti avanevad ventiilid, mis koosnevad metallist ketastest või labadest, mis pöörlevad torujuhtme voolusuunaga täisnurga all ja nende telje ümber pööramisel tihendab klapp klapi korpuses olevat istme.

Ülekandeklapid (ristkülikukujulised väravaventiilid)
Eraldusventiilid, mis sobivad kasutamiseks koormaga lukustatud vaakumkambrite ja ülekandekambrite vahel ning ülekandekambrite ja töötlemiskambrite vahel pooljuhtide tootmisseadmetes.

Vaakumkuulventiilid
on veerandpöördega sirge vooluga ventiilid, millel on ümmargune sulgur koos sobivate ringikujuliste pesadega, et tagada ühtlane tihenduspinge.

Pendelventiilid
on suur drosselklapp, mis on paigaldatud protsessi vaakumkambri ja turbomolekulaarse pumba sisselaskeava vahele.Need vaakumpendelventiilid on tavaliselt konstrueeritud värava- või pendelventiilidena rakendustes, sealhulgas OLED, FPD ja PV tööstuslikes tootmissüsteemides.

Täismetallist klapid
Mõeldud kasutamiseks ülikõrge vaakumiga keskkondades, kus kõrge temperatuur ei võimalda elastomeeride ja krüogeensete tihendimetallide kasutamist.Küpsetavad täismetallist ventiilid tagavad usaldusväärse kõrgtemperatuurilise tihenduse atmosfäärirõhust alla 10-11 mbar.

Vaakumventiilid
Töötage usaldusväärselt pooljuhtide tootmissüsteemides ning keemiliste ja tahkete osakeste saastumisega rakendustes.Neid saab kasutada töötlemata vaakumis, kõrgvaakumis või ülikõrge vaakumiga keskkondades.

Alumiiniumist nurkventiilid
Nende ventiilide sisse- ja väljalaskeavad on üksteise suhtes täisnurga all.Need nurkventiilid on valmistatud alumiiniumist A6061-T6 ning neid kasutatakse pooljuhtide ja mõõteriistade tootmises, teadus- ja arendustegevuses ning tööstuslikes vaakumsüsteemides töötlemata ja kõrgvaakumiga rakendustes.

Teflonkattega vaakumventiil on täielikult konstrueeritud roostevabast terasest vaakumkomponent, millel on vastupidav ja väga kemikaalikindel kate.

III.Vaakumventiilide omadused.
Rõhk on alla atmosfäärirõhu ja rõhulang klapiklapil ei tohi ületada 1 kg jõudu/cm.Söötme töötemperatuur sõltub kasutatava seadme protsessist.Temperatuur ei ületa üldjuhul -70 ~ 150°C.Selliste ventiilide põhinõue on tagada ühenduse kõrge tihedus ning konstruktsiooni ja tihendi materjali tihedus.

Keskmise rõhu järgi võib vaakumventiilid jagada nelja rühma.
1) Madala vaakumventiilid: keskmine rõhk p=760~1 mmHg.
2）Keskmised vaakumventiilid: p=1×10-3 mmHg.
3) Kõrgvaakumventiilid: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4) Ülikõrge vaakumventiil: p≤1×10-8 mmHg.

Suletud ahelaga ventiilina, mille läbipääsu läbimõõt on alla 250 mm, on laialdaselt kasutatav vars lineaarse liikumisega vaakumlõõtssulgur.Väravaventiilid on aga piiratumad, kuid see kehtib peamiselt suurte läbimõõtude jaoks.Saadaval on ka sfäärilised pistikventiilid (kuulkraanid), kolbventiilid ja liblikventiilid.Vaakumventiilide pistikuklappe ei propageeritud, kuna need nõuavad õlimäärimist, mis võimaldab õliaurudel siseneda vaakumsüsteemi, mis pole lubatud.Vaakumklappe saab juhtida käsitsi ja kaugjuhtimisega põllul, samuti elektriliselt, elektromagnetiliselt (solenoidklapid), pneumaatiliselt ja hüdrauliliselt.