Termilise gaasi massivoolu kontroller (MFC)
Thermalgasmpersefmadalmeter(MFM)isakindofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuationsintemperatureorpressure, pole vajathecompensationoftemperatureandpressure.
Mudel | SQC-100 |
Vooluvahemikud (N2) | 0,5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 500 SCCM |
0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
Täpsus | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Klapi ajami tüüp | Tavaline Suletud |
Lineaarsus | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Korratavus | ±0,2%FS |
Reaktsiooniaeg | ≤1 s |
Sisend/väljundsignaal | 0-5 V |
Elektriline liigend | DB15 tihvt (nõel) |
Operatsioon Tem. | 5~45 ℃ |
Diferentsiaal Eel. | 0,05~0,5 MPa (MFC) 0,03 - 3,0 MPa (MFM) |
Lekke määr | 1×10-8SCCS (tema) |
MaxSurve | 3 MPa |
Keskmine materjal | 316L SS ja tihendusmaterjal |
Tihendusmaterjal | Viton, Silikoonkumm, NBR, Teflon, Metallist tihend. |
Liigese suurus | Videomakk 1/4";Swagelok 1/8" 、1/4";φ3、 φ6mm |
Toiteallikas | +15V,50mA;-15V,200mA |
Mudel | SQC-200 |
Vooluvahemikud (N2) | MFC: 0, 20, 30, 50, 100, 150, 200 SLM |
MFM: 0 - 20 , 30 , 50 , 100 , 150 , 200 , 250 , 300 SLM | |
Täpsus | ±2%FS |
Klapi ajami tüüp | Tavaline Suletud |
Lineaarsus | ±2%FS |
Korratavus | ±0,2%FS |
Reaktsiooniaeg | ≤5 sek |
Sisend/väljundsignaal | 1~5V;4~20mA |
Elektriline liigend | DB15 tihvt (nõel) |
Operatsioon Tem. | 5~45 ℃ |
Diferentsiaal Eel. | 0,1~0,3 MPa (MFC); 0,05-3,0 MPa (MFM) |
Lekke määr | 1×10-8SCCS (tema) |
MaxSurve | 3 MPa |
Keskmine materjal | 316L SS ja tihendusmaterjal |
Tihendusmaterjal | Viton, silikoonkumm, NBR, ERP, teflon |
Liigese suurus | Swagelok 3/8” 、 1/2”; φ8, 10, φ 12 mm |
Toiteallikas | 24V,0,5A |
Kirjutage oma sõnum siia ja saatke see meile