Gas termiko-fluxuaren kontrolagailua (MFC)
Thermalgakmipurdiafbaxuameter(MFM)isakindofacuratemeasuerrementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuationsintemperatureorpressure, ez da beharthecompensationoftemperatureandpressure.
Eredua | SQC-100 |
Fluxu-eremuak (N2) | 0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM |
0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
Zehaztasuna | ±1%FS (≤15SLM);±2%FS (>15SLM) |
Balbula Drive Mota | Normala Itxita |
Linealtasuna | ±1%FS (≤15SLM);±2%FS (>15SLM) |
Errepikagarritasuna | ±0,2%FS |
Erantzun Denbora | ≤1seg |
Sarrera/irteera Seinalea | 0~5V |
Artikulazio elektrikoa | DB15 pin (orratza) |
Eragiketa Tem. | 5 ~ 45 ℃ |
Pre diferentziala. | 0,05~0,5MPa (MFC); 0,03~3,0MPa (MFM) |
Isurketa-tasa | 1×10-8SCCS (He) |
Max.Presioa | 3MPa |
Material ertaina | 316L SS eta zigilatzeko materiala |
Zigilatzeko materiala | Viton, silikonazko kautxua, NBR, tefloia, zigilu metalikoa. |
Juntaren Tamaina | VCR 1/4";Swagelok 1/8" 、1/4";φ3、 φ6mm |
Energia hornidura | +15V,50mA;-15V,200mA |
Eredua | SQC-200 |
Fluxu-eremuak (N2) | MFC: 0~20, 30, 50, 100, 150, 200SLM |
MFM: 0~20,30,50,100,150,200,250,300SLM | |
Zehaztasuna | ±2%FS |
Balbula Drive Mota | Normala Itxita |
Linealtasuna | ±2%FS |
Errepikagarritasuna | ±0,2%FS |
Erantzun Denbora | ≤5seg |
Sarrera/irteera Seinalea | 1~5V;4~20mA |
Artikulazio elektrikoa | DB15 pin (orratza) |
Eragiketa Tem. | 5 ~ 45 ℃ |
Pre diferentziala. | 0.1~0.3MPa (MFC); 0.05~3.0MPa (MFM) |
Isurketa-tasa | 1×10-8SCCS (He) |
Max.Presioa | 3MPa |
Material ertaina | 316L SS eta zigilatzeko materiala |
Zigilatzeko materiala | Viton, silikonazko kautxua, NBR, ERP, tefloia |
Juntaren Tamaina | Swagelok 3/8" 、1/2"; φ8、φ10、φ12mm |
Energia hornidura | 24 V, 0,5 A |
Idatzi zure mezua hemen eta bidali iezaguzu