کنترل‌کننده‌های جریان جرمی (MFC) اندازه‌گیری و کنترل دقیق جریان جرم گازها را فراهم می‌کنند.
I. تفاوت بین MFC و MFM چیست؟
دبی سنج جرمی (MFM) نوعی ابزار است که جریان گاز را به دقت اندازه گیری می کند و مقدار اندازه گیری آن به دلیل نوسانات دما یا فشار نادرست نیست و نیازی به جبران دما و فشار ندارد. کنترل کننده جریان جرم (MFC) نه تنها عملکرد فلومتر جرم را دارد، اما مهمتر از آن، می تواند به طور خودکار جریان گاز را کنترل کند، یعنی کاربر می تواند جریان را مطابق با نیاز خود تنظیم کند، و MFC به طور خودکار جریان را در مقدار تنظیم شده ثابت نگه می دارد، حتی اگر فشار سیستم نوسانات یا تغییرات دمای محیط باعث انحراف آن از مقدار تنظیم شده نمی شود.کنترل کننده جریان جرم یک دستگاه جریان ثابت است که یک دستگاه جریان ثابت گاز است که می تواند به صورت دستی تنظیم شود یا با اتصال به رایانه به طور خودکار کنترل شود.دبی سنج جرمی فقط اندازه گیری می کند اما کنترل نمی کند.کنترل کننده جریان جرمی دارای یک شیر کنترل است که هم می تواند جریان گاز را اندازه گیری و هم کنترل کند.
II.ساختار چیست واصل عملیات؟
1- ساختار
2- اصل عملیات
هنگامی که جریان وارد لوله ورودی می شود، بیشتر جریان از کانال دیورتر می گذرد که قسمت کوچکی از آن وارد لوله مویین داخل سنسور می شود.با توجه به ساختار خاص
کانال دیورتر، دو بخش از جریان گاز می تواند به طور مستقیم متناسب باشد.سنسور از قبل گرم شده و گرم می شود و دمای داخل آن بالاتر از دمای هوای ورودی است.در این زمان، جریان جرمی قسمت کوچک گاز با اصل انتقال حرارت توسط لوله مویین و اصل کالریمتری اختلاف دما اندازه گیری می شود.جریان گاز اندازه گیری شده به این روش می تواند اثرات دما و فشار را نادیده بگیرد.سیگنال اندازه گیری جریان تشخیص داده شده توسط سنسور به برد مدار وارد شده و تقویت و خروجی می شود و عملکرد MFM تکمیل می شود.با افزودن عملکرد کنترل خودکار حلقه بسته PID به برد مدار، سیگنال اندازه گیری جریان اندازه گیری شده توسط سنسور را با سیگنال تنظیم شده توسط کاربر مقایسه کنید.بر این اساس شیر کنترل طوری کنترل می شود که سیگنال تشخیص جریان برابر با سیگنال تنظیم شده باشد و به این ترتیب عملکرد MFC محقق شود.
III.برنامه ها و ویژگی ها.
MFC که به طور گسترده در زمینه هایی مانند ساخت نیمه هادی و آی سی، علم مواد ویژه، صنایع شیمیایی، صنعت نفت، صنایع داروسازی، حفاظت از محیط زیست و تحقیقات سیستم خلاء و غیره استفاده می شود. کاربردهای معمول شامل: تجهیزات فرآیند میکروالکترونیک مانند انتشار اکسیداسیون، اپیتاکسی، CVD، اچ پلاسما، کندوپاش، کاشت یون.تجهیزات رسوب خلاء، ذوب فیبر نوری، تجهیزات میکروواکنش، سیستم گاز مخلوط و تطبیق، سیستم کنترل جریان مویرگی، کروماتوگرافی گازی و سایر ابزارهای تحلیلی.
MFC دقت بالا، تکرارپذیری عالی، پاسخ سریع، شروع نرم، قابلیت اطمینان بهتر، طیف گسترده ای از فشار عملکرد (عملکرد خوب در شرایط فشار بالا و خلاء)، عملیات ساده راحت، نصب انعطاف پذیر، امکان اتصال با کامپیوتر برای انجام خودکار کنترل سیستم کاربران
IV.نحوه تعیین و برخورد با fبیماری ها
شرکت ما دارای مهندس حرفه ای پس از فروش است که می تواند به شما در حل مشکلات در نصب و استفاده کمک کند.
زمان ارسال: ژوئیه-29-2022