دانش - شیرهای خلاء

I. معرفی شیر
شیر خلاء یک جزء سیستم خلاء است که برای تغییر جهت جریان هوا، تنظیم اندازه جریان گاز، قطع یا اتصال خط لوله در سیستم خلاء استفاده می شود.قسمت های بسته شدن شیر خلاء توسط مهر و موم لاستیکی یا مهر و موم فلزی آب بندی می شود.

II.کاربردهای رایج شیر خلاء
دریچه های خلاء
هنگامی که خلاء باید در یک سیستم جابجایی خلاء بسته نگهداری شود، در تجهیزات سیستم خلاء بالا یا فوق العاده بالا استفاده می شود.دریچه‌های خلاء برای کنترل جریان هوا به داخل محفظه خلاء، جداسازی، دریچه، کاهش فشار یا هدایت کنترل استفاده می‌شوند.شیرهای دروازه ای، شیرهای داخلی و شیرهای زاویه ای رایج ترین انواع شیرهای خلاء هستند که برای کاربردهای خلاء زیاد یا فوق العاده بالا استفاده می شوند.انواع شیرهای اضافی شامل شیرهای پروانه ای، شیرهای انتقال، شیرهای توپی، شیرهای آونگی، شیرهای تمام فلزی، شیرهای خلاء، شیرهای زاویه دار آلومینیومی، شیرهای خلاء با پوشش تفلون و شیرهای مستقیم می باشند.

شیرهای پروانه ای
دریچه های باز شونده سریع متشکل از دیسک ها یا پره های فلزی هستند که در زوایای قائم به جهت جریان در خط لوله می چرخند و هنگامی که بر روی محور خود می چرخند، دریچه صندلی را در بدنه شیر آب بندی می کند.

شیرهای انتقال (شیرهای دروازه ای مستطیلی)
شیرهای جداسازی مناسب برای استفاده بین محفظه های خلاء قفل شده با بار و محفظه های انتقال، و بین اتاق های انتقال و اتاق های پردازش در تجهیزات تولید نیمه هادی.

شیرهای توپی خلاء
دریچه های جریان مستقیم یک چهارم چرخش با مجموعه بسته شدن دایره ای با صندلی های دایره ای منطبق برای تنش آب بندی یکنواخت هستند.

دریچه های آونگی
یک دریچه گاز بزرگ است که بین محفظه خلاء فرآیند و ورودی پمپ توربومولکولی نصب شده است.این شیرهای آونگی خلاء معمولاً به عنوان شیرهای دروازه ای یا آونگی برای کاربردهایی از جمله سیستم های تولید صنعتی OLED، FPD و PV طراحی می شوند.

شیرآلات تمام فلزی
طراحی شده برای استفاده در محیط های خلاء فوق العاده بالا که در آن دماهای بالا اجازه استفاده از الاستومرها و فلزات واشر برودتی را نمی دهد.شیرهای تمام فلزی قابل پخت، آب بندی قابل اعتماد دمای بالا را از فشار اتمسفر تا زیر 10-11 میلی بار فراهم می کنند.

دریچه های خلاء
با اطمینان در سیستم های تولید نیمه هادی و در کاربردهایی با آلودگی شیمیایی و ذرات.آنها را می توان در محیط های خلاء خشن، خلاء بالا یا خلاء فوق العاده بالا استفاده کرد.

دریچه های زاویه دار آلومینیومی
ورودی و خروجی این شیرها با هم زاویه قائمه دارند.این شیرهای زاویه ای از آلومینیوم A6061-T6 ساخته شده اند و در ساخت نیمه هادی ها و ابزار دقیق، تحقیق و توسعه و سیستم های خلاء صنعتی برای کاربردهای خشن تا خلاء زیاد استفاده می شوند.

شیر خلاء با روکش تفلون یک دستگاه اجزای خلاء فولادی ضد زنگ کاملا مهندسی شده با پوششی بادوام و بسیار مقاوم در برابر مواد شیمیایی است.

III.ویژگی های شیر خلاء
فشار زیر فشار اتمسفر است و افت فشار در سراسر فلپ شیر نمی تواند از 1 کیلوگرم نیرو در سانتی متر تجاوز کند.دمای کار محیط به فرآیند دستگاه مورد استفاده بستگی دارد.دما معمولاً از محدوده -70 تا 150 درجه سانتیگراد تجاوز نمی کند.اساسی ترین نیاز برای چنین شیرهایی اطمینان از درجه بالایی از محکم بودن اتصال و چگالی ساختار و مواد واشر است.

با توجه به فشار متوسط، شیرهای خلاء را می توان به چهار گروه تقسیم کرد.
1) شیرهای خلاء کم: فشار متوسط ​​p=760~1 mmHg.
2）شیرهای خلاء متوسط: p=1×10-3 mmHg.
3）شیرهای خلاء بالا: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4) شیر خلاء فوق العاده بالا: p≤1×10-8 mmHg.

به عنوان یک دریچه مدار بسته با قطر عبور کمتر از 250 میلی متر، پایه پرکاربرد آن یک شیر خاموش کننده خلاء با حرکت خطی است.با این حال، شیرهای دروازه ای محدودتر هستند، اما این عمدتا برای قطرهای بزرگ است.همچنین دریچه های پلاگین کروی (شیرهای توپی)، شیرهای پیستونی و شیرهای پروانه ای موجود هستند.دریچه های دوشاخه برای شیرهای خلاء به دلیل نیاز به روغن کاری روغن ارتقاء نیافته اند و این امکان را برای بخار روغن به سیستم خلاء می دهد که مجاز نیست.شیرهای خلاء را می توان به صورت دستی و از راه دور در میدان و همچنین به صورت الکتریکی، الکترومغناطیسی (شیرهای برقی)، پنوماتیکی و هیدرولیکی کنترل کرد.