EV-sarjan yhdistemolekyylipumput
EV-sarjan tekniset tiedot
Malli | EV-600 EV-600F | EV-1200 EV-1200F | EV-1600 EV-1600F | ||||
Imuaukon laippa (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
Poistoaukon laippa (mm) | 40 KF | 40 KF | 50 KF | ||||
Pumppausnopeus (L/S) | 600 | 1200 | 1600 | ||||
Puristussuhde | N2 | >109 | >109 | >109 | |||
H2 | >8x103 | > 1x104 | > 1x104 | ||||
Ultimate Vacuum (Pa) | <8x10-8 | <5x10-7 | <8x10-8 | <5x10-7 | <8x10-8 | <5x10-7 | |
Pyörimisnopeus (rpm) | 24 000 | 24 000 | 24 000 | ||||
Tärinä | ≤0,1 μm | ≤0,1 μm | ≤0,15 μm | ||||
Käynnistysaika (min) | <4.5 | <5 | <6 | ||||
Taustapumppu | 4-8 L/S | 8-15 L/S | 15 l/s | ||||
Jäähdytysmenetelmä | Vesi (ilma) jäähdytys | Vesi (ilma) jäähdytys | Vesi (ilma) jäähdytys | ||||
Jäähdytysveden lämpötila (℃) | ≤20 | ≤20 | ≤20 | ||||
Ympäristön lämpötila (℃) | ≤35 | ≤35 | ≤35 | ||||
Jäähdytysvesi Virtausmäärä | 1-2 l/min | 1-2 l/min | 1-2 l/min | ||||
Paistolämpötila (℃) | <120 | <120 | <120 | ||||
Lämmittimen teho (w) | <250 | <300 | <300 | ||||
Lämmittimen tulojännite (v) | AC220 | AC220 | AC220 | ||||
Asennus | Pysty ±5° | Pysty ±5° | Pysty ±5° | ||||
Paino (kg) | ≈25 | ≈29 | ≈31 |
Yhdisteen ilmakehän pumppauskäyrä
Molekyylipumppu
Typen ja vedyn puristussuhdekäyrä
yhdistemolekyylipumpulla
EV-sarjan molekyylipumpun asennusmittataulukko
Malli | EV-600 | EV-1200 | EV-1600 | ||||
Imuaukon laippa (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 | |
D2 | Φ212 | Φ212 | Φ237 | Φ237 | Φ274 | Φ274 | |
D3 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ296 | Φ296 | |
D4 | 145,7 ¨ | 145,7 ¨ | ¨167,6 | ¨167,6 | 183,9 ¨ | 183,9 ¨ | |
H1 | 375 | 375 | 405 | 405 | 393 | 393 | |
H2 | 235 | 235 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H3 | 238 | 238 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H4 | 108 | 108 | 113 | 113 | 110 | 110 | |
H5 | 4 | 4 | 19 | 19 | 16 | 16 | |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 160 | 160 | |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 176 | 176 | |
Pumpun jalan ruuvinreikä | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | |
Poistoaukon laippa (mm) | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF50 | KF50 |
EV-sarjan ilmajäähdytysyhdiste Molecular Pumps
EV-sarjan ilmajäähdytteinen yhdistemolekyylipumppu koostuu turbomolekyylipumpusta ja kiekkovetopumpusta.Sillä on korkea pumppausnopeus ja puristussuhde turbomolekyylipumpun molekyylivirtaukselle, korkea pumppausnopeus ja puristussuhde vetopumpun korkealle paineelle, ja se laajentaa molekyylipumpun käyttöaluetta.
Yhdistelmämolekyylipumpulla ei ole selektiivisyyttä eikä muistivaikutusta pumpattavaan kaasuun.Korkean puristussuhteen ja suuren molekyylipainon omaavan kaasun ansiosta pumppu voi saavuttaa puhtaan korkean ja erittäin korkean tyhjiön ilman kylmäloukkua ja öljylevyä.Sitä käytetään laajasti elektroniikan, metallurgian, kemianteollisuuden, tieteellisen tutkimuksen ja tyhjiötekniikan aloilla.
Malli | EV-600F | EV-1200F | EV-1600F | |||
Imuaukon laippa (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 |
D2 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ274 | Φ274 |
D3 | 145,7 ¨ | 145,7 ¨ | ¨167,6 | ¨167,6 | ¨183,8 | ¨183,8 |
H1 | 455 | 455 | 472 | 472 | 465 | 465 |
H2 | 217.5 | 217.5 | 210 | 210 | 214.5 | 214.5 |
H3 | 151 | 151 | 151 | 151 | 153 | 153 |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 161 | 161 |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 166 | 166 |
Pumpun jalan ruuvinreikä | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 |