Suuri pumppausnopeus kestävä Hiljainen DRV pyörivä siipi ilmapumppu tyhjiöpumppu
DRV-sarjan tyhjiöpumppu on kaksivaiheinen pyörivä siipi, öljytiivisteinen tyhjiöpumppu, joka soveltuu matala- ja keskityhjiösovelluksiin ja jota käytetään pääasiassa ilman ja muiden kuivien kaasujen poistamiseen.Se on yksi tärkeimmistä matala- ja keskityhjiön laitteista, sitä voidaan käyttää yksinään tai etuosana
muiden tyhjiöpumppujen pumppu.
Tyhjiöpumpun ominaisuudet ovat luotettava toimintakyky, vähemmän kuluvia osia, alhainen tärinä, alhainen melu ja korkea hyötysuhde.
SV-sarjan tyhjiöpumppu tuodaan ulkomailta kehittyneestä teknologiasta, ja tärkeimmät komponentit ovat maahantuotuja tai tuotuja komponentteja.
materiaaleja.DRV-sarjan tyhjiöpumppu voi korvata täysin samanlaiset ulkomaiset tuotteet.
EVFB-sarjan molekyylipumpputuotteen esite
![1833](https://www.eastvac.com/uploads/1833.png)
Malli:
EVFB-100/301 Yhdistelmäintegroitu molekyylipumppu
EVFB-160/401 Yhdistelmäintegroitu molekyylipumppu
EVFB-160/450D Anti-Vibration molekyylipumppu
EVFB-160/701 Yhdistelmäintegroitu molekyylipumppu
EVFB-200/1401 Yhdistelmäintegroitu molekyylipumppu
EVFB-250/2201 Yhdistelmäintegroitu molekyylipumppu
EVFB-160/701 Yhdistelmämolekyylipumppu
EVFB-200/1401 Yhdistelmämolekyylipumppu
EVFB-250/2201 Yhdistelmämolekyylipumppu
EVFB-400/3600 Turbo molekyylipumppu
EVFB-400/4500 Turbo molekyylipumppu
Tuote-esittely
Molekyylipumppu on eräänlainen nopea pyörivä momentinsiirtotyhjiöpumppu, sen työpainealue on yleensä 10-1Pa ~ 10-7Pa on yksi tärkeimmistä tyhjiönottolaitteista korkean tyhjiön ja erittäin korkean tyhjiön saavuttamiseksi.Molekyylipumpun etuna on nopea käynnistysnopeus, laaja toiminta-alue, alhainen virrankulutus, korkea puhtaus ja yksinkertainen huolto.
Tässä mallikirjassa kuvatut molekyylipumpputuotteet ovat toisen sukupolven tuotteita
Yrityksen äskettäin lanseeratut tuotteet on suunniteltu ja optimoitu pääasiassa teollisiin tyhjiö- ja tieteellisiin tutkimusaloihin, mukaan lukien ensimmäinen sarja teollisia tyhjiömolekyylipumpputuotteita, joissa on integroidut säätimet ja joustavat sovellusskenaariot.Kaliiperin mukaan on pääasiassa DN100, DN160, DN200, DN250 ja DN400 ja muita tuotteita.
Rasvavoideltu kiinteä molekyylipumppu
![956](https://www.eastvac.com/uploads/956.png)
Tämän tuotesarjan pääominaisuudet:
(1) Integroitu ohjain: Integroitu ohjainrakenne, Helpottaa järjestelmän integrointia, Avain käynnistys-pysäytys;
(2) Tarkkuuslaakeri: Rasvavoitelu, tarkkuuskeraaminen kuulalaakeri, Asennettu mihin tahansa kulmaan;
(3) Korkea luotettavuus: Kokonaisroottorit, BLDC-ajotekniikka;
(4) Toiminnallinen monimuotoisuus: Täysi valikoima lisävarusteita, räätälöityjä ratkaisuja on saatavilla;
(5) Tarjoa säädettävä nopeustoiminto,Täyttääkseen erilaisten pumppausnopeuksien vaatimukset;
Tämä tuotesarja soveltuu pääasiassa PVD-, CVD-, nestekidelevyille ja muille teollisille pinnoitteille;Massaspektrometria, korkean energian fysiikka, tyhjiövuotojen havaitseminen, lääketiede ja biologinen tekniikka ja muut tieteelliset tutkimusalat.
Molekyylipumpun tekniset tiedot
Malli | EVFB-100/301 | EVFB-160/401 | EVFB-160/450D(mittatilaustyönä) | ||||
☑The tyhjiö parametrit | |||||||
Pumppaus nopeus (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | He | |
300 | 230 | 460 | 380 | 38 | 310 | ||
Perimmäinen paine | < 5×10-6 Pa (LF);< 5 × 10 -7 Pa (CF) | < 8 × 10 -6 Pa (LF) < 8 × 10 -7 Pa (CF) | |||||
Puristus suhde | > | > | > | > | > 1×108 | > 1×10 3 | |
Suurin jatkuva sisäänmenoss ure | 10 Pa | 2Pa | 10 Pa | 2 Pa | 20 | 5 Pa | |
Suurin jatkuva etulinjan paine | 300 | 200 | 300 | 200 Pa | 20 | 10 Pa | |
Maxforeline-paineensietokyky | 1000 | 500 | 1000 | 500 Pa | 50 | 20 Pa | |
☑Fyysinen parametri | |||||||
Sisääntulo laippa | DN100 ISO-K (LF) tai CF | DN160 ISO-K (LF) tai CF | |||||
Etulinja laippa | DN25 ISO-KF tai DN40KF (valinnainen) | ||||||
Puhdistaa laippa | DN16 ISO-KF | ||||||
Paino | 9,6 kg (ISO-K | 10kg (ISO-K) | |||||
10 kg (CF) | 11 kg (CF) | ||||||
Tärinä | ≤0,05 μm | ||||||
Melu | ≤55 dB (vakioilmajäähdytys) | ||||||
Laakeri | Rasvavoideltu keraaminen kuulalaakeri | ||||||
Toiminnassa asema | Minkä tahansa | ||||||
Oper.ambient Magneettinen ala | ≤3 mT (suurin 10 mT, muokattava) | ||||||
Oper.ambie nt | Ilmastointi | 5 ~ 35 ℃ | |||||
Vesijäähdytys | 5 ~ 40 ℃ | ||||||
Jäähdytysveden vaatimukset | Veden lämpötila:15-30℃;paine:0,15Mpa;PH6~8,kirkas,Öljytön;virtaus:≥1L/min | ||||||
Suositeltava etupumppu | 2-6 l/s | 3-8L/s | |||||
☑Ohjain parametrit | |||||||
Ohjain | EVFB-II | ||||||
Pyörivä nopeus | 48000 rp | 36000 rpm | |||||
Matala nopeus | 33600 rp | 25200 rpm | |||||
Aloittaa aika | ≤5 min | ||||||
Jännite | 48 VAC±2 % | ||||||
Viestintä tila | RS-485 |
Malli | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | ||||
☑The tyhjiö parametrit | |||||||
Perimmäinen paine (Pa) | <5x10-6(LF);<5x10-7(CF) | ||||||
Pumppaus nopeus (L/s) | N2 | He | N | He | N2 | He | |
6 | 5 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | ||
Puristus suhde | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | |
Suurin jatkuva sisäänmenoss ure (Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | |
Suurin jatkuva etulinjapaine (Pa) | 30 | 2 | 3 | 2 | 2 | 1 | |
Maxforelinepress uretoleranssi (Pa) | 10 | 5 | 1000 | 5 | 5 | 2 | |
☑Fyysinen parametri | |||||||
Sisääntulo laippa | DN160 ISO-K (LF) tai CF | DN200 ISO-K (LF)或 CF | DN250 ISO-K (LF) tai | ||||
Etulinja laippa | DN25 ISO-KF tai KF40 (valinnainen) | DN40 ISO-KF tai KF50 (valinnainen) | |||||
Puhdistaa laippa | DN16 ISO-KF | ||||||
Suositeltava etupumppu (l/s) | 4~ | 8~ | 16~2 | ||||
Paino(kg) | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ||||
23 (CF) | 34 | 45 (CF) | |||||
Tärinä | ≤ | ||||||
Melu (dB) | ≤ | ||||||
Laakeri | Rasvavoideltu keraaminen kuulalaakeri | ||||||
Toiminnassa asema | Minkä tahansa | ||||||
Magneettinen ala intensiteetti (mT) | ≤3 (Suurin 10 mT, täytyy mukauttaa) | ||||||
Oper.ambient lämpötila | ilmaa jäähdytys | 5-35 ℃ | |||||
Vesi jäähdytys | 5-40 ℃ | ||||||
Jäähdytys vettä vaatimukset | Veden lämpötila: 15-25 ℃;paine: 0,15 Mpa;PH6 ~ 8, selkeä, öljytön ;Virtaus:≥1,5L/min | ||||||
☑Ohjain parametrit | |||||||
Ohjain | EVFB-III-A | ||||||
Viestintä tila | RS-485 | ||||||
Jännite(V) | 220 V AC±10 % | ||||||
Taajuus(Hz) | 50/60±5 % | ||||||
Enimmäismäärä syöttö Tehoa(W) | 100 | ||||||
Käynnistä/pysäytys ohjata tila | Ohjaimen painikkeet ohjaavat käynnistystä ja pysäytystä /RS485-ohjaimen käynnistystä ja pysäytystä /DB15 Ohjaavat käynnistystä ja pysäytystä | ||||||
Suojaukset | Säätimen ylivirta, ylijännite, alijännite, ylikuumenemissuoja, molekyylipumpun ylivirta, ylikuormitus, ylikuumenemissuoja jne. | ||||||
Pyörivä nopeus (r/min) | 36000±0,1 % | 30 000±0,1 % | 24000±0,1 % | ||||
Matala nopeus (r/min) | 25200±0,1 % | 21 000±0,1 % | 16800±0,1 % | ||||
Nykyinen(A) | ≤0,6 | ≤1 | ≤1 | ||||
Suojaus sulake(A) | 6.5 | 6.5 | 6.5 | ||||
Käynnistysaika(min) | ~5 | ~6 | ~7 | ||||
Seisokki(min) | ~5 | ~10 | ~12 |
Kokonaismitat
![221 (7)](https://www.eastvac.com/uploads/221-7.png)
![221 (8)](https://www.eastvac.com/uploads/221-8.png)
![221 (9)](https://www.eastvac.com/uploads/221-9.png)
Malli | DN | d1 | h | h1 | h2 | d2 | n |
EVFB-100/301 | 100 LF | 130 | 253,5 | 180 | 170 | — | — |
100 CF | 152 | 274,5 | 201 | 191 | 130.3 | 16 | |
EVFB-160/401 | 160 LF | 180 | 239,5 | 169,5 | 159,5 | — | — |
160 CF | 202 | 238,5 | 168,5 | 158,5 | 181 | 20 | |
EVFB-160/450D | 160 LF | 180 | 243 | 169,5 | 159,5 | — | — |
160 CF | 202 | 242 | 168,5 | 158,5 | 181 | 20 |
![221 (10)](https://www.eastvac.com/uploads/221-10.png)
Malli | DN | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
EVFB-160/700 | 160 LF | 180 | 218.5 | 241,8 | 336,8 | 201.8 | 124,8 |
EVFB-160/701 | 160CF | 202 | 218.5 | 268,8 | 359,8 | 224,8 | 124,8 |
EVFB-200/1400 | 200 LF | 240 | 267 | 257,5 | 352,5 | 231,5 | 155.1 |
EVFB-200/1401 | 200 CF | 253 | 267 | 274,5 | 369,5 | 248,5 | 155.1 |
EVFB-250/2200 | 250 LF | 290 | 296 | 229,8 | 324,8 | 203.8 | 165,3 |
EVFB-250/2201 | 250 CF | 305 | 296 | 259,8 | 354,8 | 233,8 | 165,3 |
Tilaus Tiedot
Määrä | Tuote malli | Tuote koodi | Lisätarvikkeet | Tilausmäärä | Selittää |
1 |
EVFB-100/301(LF) |
A3123 | tavallinen molekyylipumppu | A3123 | Vakiopumppu (Ilmajäähdytys on vakiona) |
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet(pieni virtaus) | A3123-A | Vakiopumppu + huuhteluventtiilin lisävarusteet (pieni virtaus) | |||
Vesijäähdytyskomponentit | A3123-B | Vakiopumppu + vesijäähdytyskomponentit (Vaihda ilmajäähdytteiset osat) | |||
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet (pieni virtaus) 、Vesijäähdytyskomponentit | A3123-C | Vakiopumppu + Tyhjennysventtiilin lisävarusteet (pieni virtaus) + Vesijäähdytyskomponentit (Vaihda ilmajäähdytteiset osat) | |||
2 |
EVFB-100/301(CF) |
A3124 | tavallinen molekyylipumppu | A3124 | Vakiopumppu (Ilmajäähdytys on vakiona) |
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet(pieni virtaus) | A3124-A | Vakiopumppu + huuhteluventtiilin lisävarusteet (pieni virtaus) | |||
Vesijäähdytyskomponentit | A3124-B | Vakiopumppu + vesijäähdytyskomponentit (Vaihda ilmajäähdytteiset osat) | |||
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet (pieni virtaus) 、Vesijäähdytyskomponentit | A3124-C | Vakiopumppu + Tyhjennysventtiilin lisävarusteet (pieni virtaus) + Vesijäähdytyskomponentit (Vaihda ilmajäähdytteiset osat) | |||
3 |
EVFB-160/401(LF) |
A3127 | tavallinen molekyylipumppu | A3127 | Vakiopumppu (Ilmajäähdytys on vakiona) |
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet(pieni virtaus) | A3127-A | Vakiopumppu + huuhteluventtiilin lisävarusteet (pieni virtaus) | |||
Vesijäähdytyskomponentit | A3127-B | Vakiopumppu + vesijäähdytyskomponentit (Vaihda ilmajäähdytteiset osat) | |||
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet (pieni virtaus) 、Vesijäähdytyskomponentit | A3127-C | Vakiopumppu + Tyhjennysventtiilin lisävarusteet (pieni virtaus) + Vesijäähdytyskomponentit (Vaihda ilmajäähdytteiset osat) | |||
4 |
EVFB-160/401(CF) |
A3128 | tavallinen molekyylipumppu | A3128 | Vakiopumppu (Ilmajäähdytys on vakiona) |
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet(pieni virtaus) | A3128-A | Vakiopumppu + huuhteluventtiilin lisävarusteet (pieni virtaus) | |||
Vesijäähdytyskomponentit | A3128-B | Vakiopumppu + vesijäähdytyskomponentit (Vaihda ilmajäähdytteiset osat) | |||
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3128-C | Vakiopumppu + tyhjennysventtiili |
(pieni virtaus) 、Vesijäähdytyskomponentit | lisävarusteet (pieni virtaus)+ Vesijäähdytyskomponentit (Vaihdailmajäähdytetyt komponentit) | ||||
5 |
EVFB-160/450D(LF) |
A3129 | tavallinen molekyylipumppu | A3129 | Vakiopumppu (Ilmajäähdytys on vakiona) |
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet(pieni virtaus) | A3129-A | Vakiopumppu + huuhteluventtiilin lisävarusteet (pieni virtaus) | |||
Vesijäähdytyskomponentit | A3129-B | Vakiopumppu + vesijäähdytyskomponentit (Vaihda ilmajäähdytteiset osat) | |||
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet (pieni virtaus) 、Vesijäähdytyskomponentit | A3129-C | Vakiopumppu + Tyhjennysventtiilin lisävarusteet (pieni virtaus) + Vesijäähdytyskomponentit (Vaihda ilmajäähdytteiset osat) | |||
6 |
EVFB-160/450D(CF) |
A3130 | tavallinen molekyylipumppu | A3130 | Vakiopumppu (Ilmajäähdytys on vakiona) |
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet(pieni virtaus) | A3130-A | Vakiopumppu + huuhteluventtiilin lisävarusteet (pieni virtaus) | |||
Vesijäähdytyskomponentit | A3130-B | Vakiopumppu + vesijäähdytyskomponentit (Vaihda ilmajäähdytteiset osat) | |||
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet (pieni virtaus) 、Vesijäähdytyskomponentit | A3130-C | Vakiopumppu + Tyhjennysventtiilin lisävarusteet (pieni virtaus) + Vesijäähdytyskomponentit (Vaihda ilmajäähdytteiset osat) | |||
7 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139 | tavallinen molekyylipumppu | A3139 | Vakiopumppu (vesijäähdytyson oletuksena vakio) |
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3139-A | Vakiopumppu + tyhjennysventtiiliLisätarvikkeet | |||
Tuulettimen komponentit | A3139-B | Vakiopumppu + tuuletin | |||
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet,Tuulettimen komponentit | A3139-C | Vakiopumppu + tyhjennysventtiililisävarusteet + tuulettimen komponentit | |||
8 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140 | tavallinen molekyylipumppu | A3140 | Vakiopumppu (vesijäähdytyson oletuksena vakio) |
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3140-A | Vakiopumppu + tyhjennysventtiiliLisätarvikkeet | |||
Tuulettimen komponentit | A3140-B | Vakiopumpun + tuulettimen komponentit | |||
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet,Tuulettimen komponentit | A3140-C | Vakiopumppu + tyhjennysventtiililisävarusteet + tuulettimen komponentit | |||
9 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135 | tavallinen molekyylipumppu | A3135 | Vakiopumppu (Vesijäähdytys on vakiona) |
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3135-A | Vakiopumppu + tyhjennysventtiiliLisätarvikkeet | |||
Tuulettimen komponentit | A3135-B | Vakiopumpun + tuulettimen komponentit | |||
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet, | A3135-C | Vakiopumppu + tyhjennysventtiili |
Tuulettimen komponentit | lisävarusteet + tuulettimen komponentit | ||||
10 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136 | tavallinen molekyylipumppu | A3136 | Vakiopumppu (Vesijäähdytys on vakiona) |
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3136-A | Vakiopumppu + tyhjennysventtiiliLisätarvikkeet | |||
Tuulettimen komponentit | A3136-B | Vakiopumpun + tuulettimen komponentit | |||
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet、 | A3136-C | Vakiopumppu + tyhjennysventtiililisävarusteet + tuulettimen komponentit | |||
11 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141 | tavallinen molekyylipumppu | A3141 | Vakiopumppu (Vesijäähdytys on vakiona) |
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3141-A | Vakiopumppu + tyhjennysventtiiliLisätarvikkeet | |||
Tuulettimen komponentit | A3141-B | Vakiopumppu + tuuletin | |||
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet、 Tuulettimen komponentit | A3141-C | Vakiopumppu + tyhjennysventtiililisävarusteet + tuulettimen komponentit | |||
12 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142 | tavallinen molekyylipumppu | A3142 | Vakiopumppu (Vesijäähdytys on vakiona) |
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3142-A | Vakiopumppu + tyhjennysventtiiliLisätarvikkeet | |||
Tuulettimen komponentit | A3142-B | Vakiopumppu + tuuletin | |||
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet、 | A3142-C | Vakiopumppu + tyhjennysventtiililisävarusteet + tuulettimen komponentit | |||
13 | EVFB-II | A3261 | - | A3261 | Molekyylipumppuohjain (sopii molekyylipumpuille, kuten EVFB-100/301, EVFB-160/401, EVFB-100/450D) |
14 | EVFB-III-A | A3263 | - | A3263 | Molekyylipumppuohjain( Soveltuu molekyylipumpuille, kuten EVFB-160/701, EVFB-200/1401, EVFB-250/2201) |
Erotetut yhdistemolekyylipumput
![2315](https://www.eastvac.com/uploads/2315.png)
Tämän tuotesarjan tärkeimmät ominaisuudet:
(1) Erillinen ohjain: AC220V virtalähde, näppäin käynnistys-pysäytys;
(2) Korkea luotettavuus: Kokonaisroottorit, BLDC-ajotekniikka;
(3) Tarkkuuslaakeri: Tarkkuuskeraaminen kuulalaakeri, Asennettu mihin tahansa kulmaan (Vain rasvavoideltu malli);
(4) Toiminnallinen monimuotoisuus: Täysi valikoima lisävarusteita, räätälöityjä ratkaisuja on saatavilla;
(5) Tarjoa säädettävä nopeustoiminto , Erilaisten pumppausnopeuden vaatimusten täyttämiseksi; Tämä tuotesarja soveltuu pääasiassa PVD-, CVD-, nestekidelevyille ja muille
teollinen pinnoite, tieteellinen tutkimus ja muilla aloilla.
Molekyylipumpun tekniset parametrit
Malli | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | EVFB-400/3600 | EVFB-400/4500 | |||||
☑The tyhjiö parametrit | ||||||||||
Ultimatepressure (Pa) | <5x10-6(LF);<5x10-7(CF) | |||||||||
Pumppaus nopeus (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | H | N2 | He | N2 | He |
650 | 550 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | 3600 | 3000 | 4800 | 3500 | |
Puristussuhde | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | >1x108 | >6x102 | >1x108 | >8x103 |
Enimmäismäärä jatkuva sisääntulopaine (Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | 0,05 | 0,02 | 0,03 | 0,01 |
Enimmäismääräjatkuva Etulinja | 300 | 200 | 300 | 200 | 200 | 100 | 50 | 35 | 40 | 30 |
Maxforeline-painetoleranssi (Pa) | 1000 | 500 | 1000 | 500 | 500 | 200 | 340 | 160 | 160 | 80 |
☑Fyysinen parametri | ||||||||||
Sisääntulo laippa | DN160 ISO-K(LF)tai CF | DN200 ISO-K (LF) tai CF | DN250 ISO-K(LF)tai CF | DN400 ISO-K(LF)tai CF | DN400 ISO-K(LF)tai CF | |||||
Etulinja laippa | DN25 ISO-KF,KF40 (valinnainen) | DN40 ISO-KF, KF50 (valinnainen) | DN100 ISO-K (LF) | DN100 ISO-K (LF)taiKF50 (valinnainen) | ||||||
Puhdistaa laippa | DN16 ISO-KF | / | DN16 ISO-KF | |||||||
Suositeltava | 4-10 l/s | 8-16 l/s | 16-24 l/s | 30-70 l/s |
Paino(kg) | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ≈ 100 ISO-K(LF) | ≈ 83 ISO-K(LF) | |
23 (CF) | 34 (CF) | 45 (CF) | ≈ 105 (CF) | ≈ 88 (CF) | ||
Tärinä | ≤ 0,05 | ≤ 0,3 | ||||
Melu (dB) | ≤ 50 | ≤ 60 | ||||
Laakeri | Rasvavoideltu keraaminen kuulalaakeri | Keraaminen kuulalaakeri | ||||
Toiminnassa asema | Minkä tahansa | Pysty ±5° | ||||
Oper.Ambient Magneettikenttä | ≤ 3 mT (suurin 10 mT, on mukautettava) | ≤ 3mT | ||||
Oper.ambient lämpötila | ilmaa jäähdytys | 5-35oC | / | / | ||
Vesijäähdytys | 5-40 oC | |||||
Jäähdytys vettä vaatimukset | Veden lämpötila: 15-25 ℃;ennakkovarma:0,15Mpa;virtaus:≥1,5L/min | virtaus:≥ 3L/min | ||||
☑Ohjain parametrit | ||||||
Erotettu ohjain | EVFB-III-B (2U) | EVFB-VI (4U) | ||||
Etä ohjata | Ultraetäisyysohjaus (ota yhteyttä suunnittelijoihimme) | |||||
Viestintä tila | RS-485 | |||||
Jännite(V) | 100 - 240 VAC(± | 220 VAC (±10 %) | ||||
Taajuus(Hz) | 50/60 Hz±5 % | |||||
Suurin syöttöteho(W) | 1000 | 1500 | ||||
Käynnistä/pysäytys ohjata tila | Ohjaimen painikkeet ohjaavat käynnistystä ja pysäytystä /RS485-ohjaimen käynnistystä ja pysäytystä /DB15 Ohjaavat käynnistystä ja pysäytystä | |||||
Suojaukset | Säätimen ylivirta, ylijännite, alijännite, ylikuumenemissuoja, molekyylipumpun ylivirta,ylikuormitus, ylikuumenemissuoja jne | |||||
Pyörivä nopeus (r/min) | 36000±0,1 % | 30 000±0,1 % | 24000±0,1 % | 13500±0,1 % | 16200±0,1 % | |
Matala nopeus (r/min) | 25200±0,1 % | 21 000±0,1 % | 16800±0,1 % | / | ||
Nykyinen(A) | ≤ 0,6 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 5 | ||
Suojaus sulake(A) | 6.5 | 6.5 | 6.5 | 12 | ||
Aloittaa aika(min) | ~5 | ~6 | ~7 | ~20 | ||
Seisokki(min) | ~5 | ~10 | ~12 | ~30 | ||
Oper. ambient kunto | Ei syövyttäviä kaasuja eikä ilmeisiä pölyhiukkasia;ympäristön lämpötila: -10℃ ~ 50℃;ympäristökosteus: ≤ 90 %, tärinän voimakkuus: ≤ 0,5 g |
0kokonaismitta
Malli | D N | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
EVFB-160/700 EVFB-160/701 | 160 LF | 180 | 218.5 | 241,8 | 336,8 | 201.8 | 124,8 |
160CF | 202 | 218.5 | 268,8 | 359,8 | 224,8 | 124,8 | |
EVFB-200/1400 EVFB-200/1401 | 200 LF | 240 | 267 | 257,5 | 352,5 | 231,5 | 155.1 |
200 CF | 253 | 267 | 274,5 | 369,5 | 248,5 | 155.1 | |
EVFB-250/2200 EVFB-250/2201 | 250 LF | 290 | 296 | 229,8 | 324,8 | 203.8 | 165,3 |
250 CF | 305 | 296 | 259,8 | 354,8 | 233,8 | 165,3 |
![221 (15)](https://www.eastvac.com/uploads/221-15.png)
![221 (16)](https://www.eastvac.com/uploads/221-16.png)
![221 (17)](https://www.eastvac.com/uploads/221-17.png)
EVFB-400/3600 Turbomolekyylipumpun mitat
![221 (18)](https://www.eastvac.com/uploads/221-18.png)
EVFB-400/4500 Turbomolekyylipumpun mitat
![221 (19)](https://www.eastvac.com/uploads/221-19.png)
Erillisen ohjaimen ulkonäkö
![221 (20)](https://www.eastvac.com/uploads/221-20.png)
EVFB-III-B(2U)erillinen ohjain
![221 (21)](https://www.eastvac.com/uploads/221-21.png)
EVFB-VI(4U)erillinen ohjain
Tilaus Tiedot
määrä | Tuote malli | tuote koodi | Lisätarvikkeet | Tilaus määrä | Selittää |
1 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139-F | Tavallinen molekyylipumppu | A3139-F | Vakiopumppu (Vesijäähdytys on vakiona) |
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3139-FA | Vakiopumppu + Purge-venttiilitarvikkeet | |||
Tuulettimen komponentit | A3139-FB | Vakiopumpun + tuulettimen komponentit | |||
Tyhjennysventtiilin lisävarusteet, tuulettimen komponentit | A3139-FC | Vakiopumppu + huuhteluventtiilin lisävarusteet + tuulettimen komponentit | |||
2 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140-F | tavallinen molekyylipumppu | A3140-F | Vakiopumppu (Vesijäähdytys on vakiona) |
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3140-FA | Vakiopumppu + Purge-venttiilitarvikkeet | |||
Tuulettimen komponentit | A3140-FB | Vakiopumpun + tuulettimen komponentit | |||
Tyhjennysventtiilin lisävarusteet, tuulettimen komponentit | A3140-FC | Vakiopumppu + huuhteluventtiilin lisävarusteet + tuulettimen komponentit | |||
3 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135-F | tavallinen molekyylipumppu | A3135-F | Vakiopumppu (vesijäähdytys on oletuksena vakio) |
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3135-FA | Vakiopumppu + Purge-venttiilitarvikkeet | |||
Tuulettimen komponentit | A3135-FB | Vakiopumpun + tuulettimen komponentit | |||
Tyhjennysventtiilin lisävarusteet, tuulettimen komponentit | A3135-FC | Vakiopumppu + huuhteluventtiilin lisävarusteet + tuulettimen komponentit | |||
4 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136-F | tavallinen molekyylipumppu | A3136-F | Vakiopumppu (Vesijäähdytys on vakiona) |
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3136-FA | Vakiopumppu + Purge-venttiilitarvikkeet | |||
Tuulettimen komponentit | A3136-FB | Vakiopumpun + tuulettimen komponentit | |||
Tyhjennysventtiilin lisävarusteet, tuulettimen komponentit | A3136-FC | Vakiopumppu + huuhteluventtiilin lisävarusteet + tuulettimen komponentit | |||
5 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141-F | tavallinen molekyylipumppu | A3141-F | Vakiopumppu (Vesijäähdytys on vakiona) |
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3141-FA | Vakiopumppu + Purge-venttiilitarvikkeet | |||
Tuulettimen komponentit | A3141-FB | Vakiopumpun + tuulettimen komponentit | |||
Tyhjennysventtiilin lisävarusteet, tuulettimen komponentit | A3141-FC | Vakiopumppu + huuhteluventtiilin lisävarusteet + tuulettimen komponentit | |||
6 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142-F | tavallinen molekyylipumppu | A3142-F | Vakiopumppu (Vesijäähdytys on vakiona) |
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3142-FA | Vakiopumppu + Purge-venttiilitarvikkeet | |||
Tuulettimen komponentit | A3142-FB | Vakiopumpun + tuulettimen komponentit | |||
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3142-FC | Vakiopumppu + tyhjennysventtiili |
Tuulettimen komponentit | lisävarusteet + tuulettimen komponentit | ||||
7 | EVFB-400/3600(LF) | A3187 | tavallinen molekyylipumppu | A3187 | Vakiopumppu (vesijäähdytys on oletuksena vakio) |
8 | EVFB-400/3600(CF) | A3188 | tavallinen molekyylipumppu | A3188 | Vakiopumppu (vesijäähdytys on oletuksena vakio) |
9 |
EVFB-400/4500(LF) |
A3185 | tavallinen molekyylipumppu | A3185 | Vakiopumppu (Vesijäähdytys on vakiona) |
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3185-A | Vakiopumppu + Purge-venttiilitarvikkeet | |||
10 |
EVFB-400/4500(CF) |
A3186 | tavallinen molekyylipumppu | A3186 | Vakiopumppu (Vesijäähdytys on vakiona) |
Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3186-A | Vakiopumppu + Purge-venttiilitarvikkeet | |||
11 |
EVFB-III-HMI |
A3261-1 |
Käsikäyttöinen paneeli |
A3261-1 | Asiakas valinnainen ,Sopii molekyylipumpuille, kuten EVFB-160/701, EVFB-200/1401, EVFB-250/2201 |
12 | EVFB-VI | A3270 | Erillinen ohjain (4U) | A3270 | Sopii Turbo-molekyylipumpuille, kuten EVFB-400/3600, EVFB-400/450 |
13 | EVFB-III-B | A3264 | Erillinen ohjain (2U) | A3264 | Sopii molekyylipumpuille, kuten EVFB-160/701, EVFB-200/1401, EVFB-250/2201 (erillinen tyyppi) |
![dajsdnj](https://cdnus.globalso.com/eastvac/dajsdnj.jpg)