Tieto – tyhjiöventtiilit

I. Venttiilin esittely
Tyhjiöventtiili on alipainejärjestelmän komponentti, jota käytetään muuttamaan ilmavirran suuntaa, säätämään kaasuvirtauksen kokoa, katkaisemaan tai yhdistämään putkisto tyhjiöjärjestelmään.Tyhjiöventtiilin sulkuosat on tiivistetty kumitiivisteellä tai metallitiivisteellä.

II.Yleiset tyhjiöventtiilisovellukset.
Tyhjiöventtiilit
Käytetään korkean tai ultrakorkean tyhjiön järjestelmälaitteissa, kun tyhjiötä on ylläpidettävä suljetussa tyhjiökäsittelyjärjestelmässä.Tyhjiöventtiilejä käytetään säätämään ilmavirtaa tyhjiökammioon, eristämään, tuulettamaan, vähentämään painetta tai ohjaamaan johtumista.Luistiventtiilit, inline-venttiilit ja kulmaventtiilit ovat yleisimpiä tyhjiöventtiilityyppejä, joita käytetään korkea- tai ultrakorkeapainesovelluksissa.Muita venttiilityyppejä ovat läppäventtiilit, siirtoventtiilit, palloventtiilit, heiluriventtiilit, täysmetalliventtiilit, tyhjiöventtiilit, alumiiniset kulmaventtiilit, teflonpäällysteiset tyhjiöventtiilit ja suorat läpivientiventtiilit.

Läppäventtiilit
ovat nopeasti avautuvia venttiileitä, jotka koostuvat metallilevyistä tai siiveistä, jotka kääntyvät suorassa kulmassa putkilinjan virtaussuuntaan nähden ja akselinsa ympäri käännettäessä venttiili tiivistää istukan venttiilirungossa.

Siirtoventtiilit (suorakulmaiset luistiventtiilit)
Erotusventtiilit, jotka soveltuvat käytettäväksi kuormitettujen tyhjökammioiden ja siirtokammioiden välillä sekä siirtokammioiden ja käsittelykammioiden välillä puolijohdevalmistuslaitteissa.

Tyhjiöpalloventtiilit
ovat neljänneskierroksisia suoravirtausventtiilejä, joissa on pyöreä suljinkokoonpano ja sopivat pyöreät istukat tasaisen tiivistysjännityksen takaamiseksi.

Heiluriventtiilit
on suuri kuristusventtiili, joka on asennettu prosessityhjiökammion ja turbomolekyylipumpun sisääntulon väliin.Nämä tyhjiöheiluriventtiilit on tyypillisesti suunniteltu luisti- tai heiluriventtiileiksi sovelluksiin, kuten OLED-, FPD- ja PV-teollisuuden valmistusjärjestelmiin.

Täysmetalliset venttiilit
Suunniteltu käytettäväksi erittäin suurissa tyhjiöissä, joissa korkeat lämpötilat eivät salli elastomeerien ja kryogeenisten tiivistemetallien käyttöä.Paistettavat täysmetalliset venttiilit tarjoavat luotettavan korkean lämpötilan tiivistyksen ilmanpaineesta alle 10-11 mbar:iin.

Tyhjiöventtiilit
Toimii luotettavasti puolijohteiden tuotantojärjestelmissä ja sovelluksissa, joissa on kemiallista ja hiukkaspitoisuutta.Niitä voidaan käyttää karkeassa tyhjiössä, korkeassa tyhjiössä tai erittäin korkeassa tyhjiössä.

Alumiiniset kulmaventtiilit
Näiden venttiilien tulo- ja ulostuloaukot ovat suorassa kulmassa toisiinsa nähden.Nämä kulmaventtiilit on valmistettu alumiinista A6061-T6, ja niitä käytetään puolijohteiden ja instrumenttien valmistuksessa, T&K:ssa ja teollisissa tyhjiöjärjestelmissä karkeisiin ja suuriin tyhjiöihin.

Teflonpinnoitettu tyhjiöventtiili on täysin suunniteltu ruostumattomasta teräksestä valmistettu tyhjiökomponenttilaite, jossa on kestävä ja erittäin kemikaaleja kestävä pinnoite.

III.Tyhjiöventtiilien ominaisuudet.
Paine on alle ilmanpaineen ja painehäviö venttiililäpän yli ei saa ylittää 1 kg voimaa/cm.Väliaineen käyttölämpötila riippuu käytetyn laitteen prosessista.Lämpötila ei yleensä ylitä -70 - 150 °C.Perusvaatimuksena tällaisille venttiileille on varmistaa liitoksen korkea tiiviys sekä rakenteen ja tiivistemateriaalin tiheys.

Keskipaineen mukaan tyhjiöventtiilit voidaan jakaa neljään ryhmään.
1) Matalatyhjiöventtiilit: keskipaine p=760~1 mmHg.
2) Keskityhjiöventtiilit: p=1×10-3 mmHg.
3) Korkeatyhjiöventtiilit: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4) Ultrakorkea tyhjiöventtiili: p≤1×10-8 mmHg.

Suljetun piirin venttiilinä, jonka läpimenon halkaisija on alle 250 mm, laajalti käytetty kara on lineaarisesti liikkuva tyhjiöpaljesulkuventtiili.Luistiventtiilit ovat kuitenkin rajoitetumpia, mutta tämä koskee pääasiassa suuria halkaisijoita.Saatavilla on myös pallomaisia ​​tulppaventtiilejä (palloventtiilejä), mäntäventtiilejä ja läppäventtiilejä.Tyhjiöventtiilien tulppaventtiilejä ei ole mainostettu, koska ne vaativat öljyvoitelua, mikä mahdollistaa öljyhöyryn pääsyn tyhjiöjärjestelmään, mikä ei ole sallittua.Tyhjiöventtiilejä voidaan ohjata manuaalisesti ja etänä kentällä sekä sähköisesti, sähkömagneettisesti (solenoidiventtiilit), pneumaattisesti ja hydraulisesti.