Pompes moléculaires composées série EV
Données techniques de la série EV
| Modèle | EV-600 EV-600F | EV-1200 EV-1200F | EV-1600 EV-1600F | ||||
| Bride d'entrée (mm) | 150 FC | 160 ISO-K | 200 FC | 200 ISO-K | 250 FC | 250 ISO-K | |
| Bride de sortie (mm) | 40 KF | 40 KF | 50 KF | ||||
| Vitesse de pompage (L/S) | 600 | 1200 | 1600 | ||||
| Ratio de compression | N2 | >109 | >109 | >109 | |||
| H2 | >8X103 | >1X104 | >1X104 | ||||
| Vide ultime (Pa) | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | |
| Vitesse de rotation (tr/min) | 24000 | 24000 | 24000 | ||||
| Vibration | ≤0,1 μm | ≤0,1 μm | ≤0,15 μm | ||||
| Temps de démarrage (min) | <4,5 | <5 | <6 | ||||
| Pompe de support | 4-8 L/S | 8-15 L/S | 15 L/S | ||||
| Méthode de refroidissement | Refroidissement par eau (air) | Refroidissement par eau (air) | Refroidissement par eau (air) | ||||
| Température de l'eau de refroidissement (℃) | ≤20 | ≤20 | ≤20 | ||||
| Température ambiante (℃) | ≤35 | ≤35 | ≤35 | ||||
| quantité de Débit d'eau de refroidissement | 1-2 L/min | 1-2 L/min | 1-2 L/min | ||||
| Température de cuisson (℃) | <120 | <120 | <120 | ||||
| Puissance de chauffage (w) | <250 | <300 | <300 | ||||
| Tension d'entrée du chauffage (v) | AC220 | AC220 | AC220 | ||||
| Montage | Verticale ±5° | Verticale ±5° | Verticale ±5° | ||||
| Poids (kg) | ≈25 | ≈29 | ≈31 | ||||
Courbe de pompage atmosphérique du composé
Pompe moléculaire
Courbe du taux de compression de l'azote et de l'hydrogène
par pompe moléculaire composée
Tableau des dimensions d'installation de la série EV de la pompe moléculaire composée
| Modèle | EV-600 | EV-1200 | EV-1600 | ||||
| Bride d'entrée (mm) | 150 FC | 160 ISO-K | 200 FC | 200 ISO-K | 250 FC | 250 ISO-K | |
| D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 | |
| D2 | Φ212 | Φ212 | Φ237 | Φ237 | Φ274 | Φ274 | |
| D3 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ296 | Φ296 | |
| D4 | ¨145,7 | ¨145,7 | ¨167,6 | ¨167,6 | ¨183,9 | ¨183,9 | |
| H1 | 375 | 375 | 405 | 405 | 393 | 393 | |
| H2 | 235 | 235 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
| H3 | 238 | 238 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
| H4 | 108 | 108 | 113 | 113 | 110 | 110 | |
| H5 | 4 | 4 | 19 | 19 | 16 | 16 | |
| L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 160 | 160 | |
| L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 176 | 176 | |
| Trou de vis du pied de pompe | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | |
| Bride de sortie (mm) | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | 50 KF | 50 KF | |
Pompes moléculaires à composé de refroidissement par air série EV
La pompe moléculaire composée refroidie par air de la série EV est composée d'une pompe turbomoléculaire et d'une pompe de traction à disque.Il présente les caractéristiques d'une vitesse de pompage et d'un taux de compression élevés pour le flux moléculaire de la pompe turbomoléculaire, d'une vitesse de pompage et d'un taux de compression élevés pour la haute pression de la pompe de traction, et élargit le champ d'application de la pompe moléculaire.
La pompe moléculaire composée n'a pas d'effet de sélectivité ni de mémoire sur le gaz pompé.En raison de son taux de compression élevé pour le gaz de poids moléculaire élevé, la pompe peut obtenir un vide poussé et ultra poussé propre sans piège froid ni déflecteur d'huile.Il est largement utilisé dans divers domaines de l'électronique, de la métallurgie, de l'industrie chimique, de la recherche scientifique et de la technologie du vide.
| Modèle | EV-600F | EV-1200F | EV-1600F | |||
| Bride d'entrée (mm) | 150 FC | 160 ISO-K | 200 FC | 200 ISO-K | 250 FC | 250 ISO-K |
| D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 |
| D2 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ274 | Φ274 |
| D3 | ¨145,7 | ¨145,7 | ¨167,6 | ¨167,6 | ¨183,8 | ¨183,8 |
| H1 | 455 | 455 | 472 | 472 | 465 | 465 |
| H2 | 217,5 | 217,5 | 210 | 210 | 214,5 | 214,5 |
| H3 | 151 | 151 | 151 | 151 | 153 | 153 |
| L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 161 | 161 |
| L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 166 | 166 |
| Trou de vis du pied de pompe | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 |
