Pompe à air à palettes rotatives DRV, grande vitesse de pompage, durable, faible bruit, pompe à vide
La pompe à vide de la série DRV est une pompe à vide à palettes rotatives à double étage, étanche à l'huile, adaptée aux applications sous vide faible et moyen, principalement utilisée pour éliminer l'air et d'autres gaz secs.C'est l'un des principaux équipements pour le vide faible et moyen, il peut être utilisé seul ou en avant
pompe d'autres pompes à vide.
La pompe à vide présente les caractéristiques suivantes : performances de fonctionnement fiables, moins de pièces d'usure, faibles vibrations, faible bruit et haute efficacité.
La pompe à vide de la série SV est importée d'une technologie de pointe étrangère et les composants clés sont des composants importés ou importés.
matériaux.La pompe à vide de la série DRV peut remplacer complètement les produits étrangers similaires.
Brochure pour le produit de pompe moléculaire de la série EVFB
Modèle:
Pompe moléculaire intégrée EVFB-100/301
Pompe moléculaire intégrée EVFB-160/401
Pompe moléculaire anti-vibration EVFB-160/450D
EVFB-160/701Pompe moléculaire intégrée
Pompe moléculaire intégrée EVFB-200/1401
Pompe moléculaire intégrée EVFB-250/2201
EVFB-160/701Pompe moléculaire composée
Pompe moléculaire composée EVFB-200/1401
Pompe moléculaire composée EVFB-250/2201
Pompe turbo moléculaire EVFB-400/3600
Pompe turbomoléculaire EVFB-400/4500
Présentation du produit
La pompe moléculaire est une sorte de pompe à vide à transfert d'impulsion rotative à grande vitesse, sa plage de pression de fonctionnement est généralement de 10-1Pa ~ 10-7Pa, est l'un des équipements d'acquisition de vide importants pour obtenir un vide poussé et un vide ultra poussé.La pompe moléculaire présente les avantages d'une vitesse de démarrage rapide, d'une large plage de travail, d'une faible consommation d'énergie, d'une propreté élevée et d'un entretien simple.
Les produits de pompes moléculaires décrits dans ce livre d'échantillons constituent la deuxième génération de produits.
récemment lancées par la société, qui sont principalement conçues et optimisées pour les domaines du vide industriel et de la recherche scientifique, y compris la première série de produits de pompes moléculaires à vide industrielles avec contrôleurs intégrés et scénarios d'application flexibles.Selon le calibre, il existe principalement des DN100, DN160, DN200, DN250 et DN400 et d'autres produits.
Pompe moléculaire intégrale lubrifiée à la graisse
Principales caractéristiques de cette série de produits :
(1) Contrôleur intégré : conception de contrôleur intégré, facilite l'intégration du système, une clé de démarrage et d'arrêt ;
(2) Roulement de précision : roulement à billes en céramique de précision lubrifié à la graisse, installé à n'importe quel angle ;
(3) Haute fiabilité : rotors globaux, technologie de conduite BLDC ;
(4) Diversité fonctionnelle : gamme complète d'accessoires, des solutions personnalisées sont disponibles ;
(5) Fournit une fonction de vitesse réglable, pour répondre aux exigences d'une variété de vitesses de pompage ;
Cette série de produits convient principalement au PVD, au CVD, aux plaques à cristaux liquides et à d'autres revêtements industriels ;Spectrométrie de masse, physique des hautes énergies, détection des fuites sous vide, médecine et génie biologique et autres domaines de recherche scientifique.
Spécifications techniques de la pompe moléculaire
| Modèle | EVFB-100/301 | EVFB-160/401 | EVFB-160/450D（sur mesure） | ||||
| ☑Le vide paramètres | |||||||
| Pompage vitesse (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | He | |
| 300 | 230 | 460 | 380 | 38 | 310 | ||
| Ultime pression | < 5×10-6 Pa (LF) ;< 5×10 -7 Pa (CF) | < 8×10 -6 Pa (LF) < 8×10 -7 Pa (CF) | |||||
| Compression rapport | > | > | > | > | > 1×108 | > 1×10 3 | |
| Entrée continue maximaless ure | 10 Pa | 2Pa | 10 Pa | 2 Pa | 20 | 5 Pa | |
| Pression maximale continue en avant | 300 | 200 | 300 | 200 Pa | 20 | 10 Pa | |
| Tolérance de pression maximale | 1000 | 500 | 1000 | 500 Pa | 50 | 20 Pa | |
| ☑Physique paramètre | |||||||
| Entrée bride | DN100 ISO-K (LF) ou CF | DN160 ISO-K (LF) ou CF | |||||
| Première ligne bride | DN25 ISO-KF ou DN40KF (en option) | ||||||
| Purge bride | DN16 ISO-KF | ||||||
| Poids | 9,6 kg (ISO-K) | 10 kg (ISO-K) | |||||
| 10 kg (CF) | 11 kg (CF) | ||||||
| Vibration | ≤0,05 μm | ||||||
| Bruit | ≤55 dB (le refroidissement par air standard) | ||||||
| Palier | Roulement à billes en céramique lubrifié à la graisse | ||||||
| en fonctionnement position | N'importe lequel | ||||||
| Oper.ambiant Magnétique champ | ≤3 mT (le plus grand 10 mT, besoin de personnaliser) | ||||||
| Oper.ambie nt | Refroidissement par air | 5 ~ 35 ℃ | |||||
| Eau froide | 5 ~ 40 ℃ | ||||||
| Exigences en matière d'eau de refroidissement | Température de l'eau : 15-30 ℃ ; pression : 0,15 MPa ; PH6 ~ 8, clairement, sans huile ; débit : ≥ 1 L/min. | ||||||
| Recommandé pompe préalable | 2~6 L/s | 3~8L/s | |||||
| ☑Manette paramètres | |||||||
| Manette | EVFB-II | ||||||
| Rotation vitesse | 48000rp | 36 000 tr/min | |||||
| Faible vitesse | 33600rp | 25 200 tr/min | |||||
| Démarrer temps | ≤5min | ||||||
| Tension | 48 VCA ± 2 % | ||||||
| Communication mode | RS-485 | ||||||
| Modèle | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | ||||
| ☑Le vide paramètres | |||||||
| Ultime pression (Pa) | <5x10-6（LF）；<5x10-7（CF） | ||||||
| Pompage vitesse (L/s) | N2 | He | N | He | N2 | He | |
| 6 | 5 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | ||
| Compression rapport | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | |
| Entrée continue maximaless ure(Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | |
| Pression maximale continue avant (Pa) | 30 | 2 | 3 | 2 | 2 | 1 | |
| Maxforlinepress urétolérance(Pa) | 10 | 5 | 1000 | 5 | 5 | 2 | |
| ☑Physique paramètre | |||||||
| Entrée bride | DN160 ISO-K（LF）ou CF | DN200 ISO-K （LF）pour CF | DN250 ISO-K （LF）ou | ||||
| Première ligne bride | DN25 ISO-KF ou KF40 (en option) | DN40 ISO-KF ou KF50 (en option) | |||||
| Purge bride | DN16 ISO-KF | ||||||
| Recommandé pompe préalable (L/s) | 4~ | 8~ | 16~2 | ||||
| Poids（kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ||||
| 23 (CF) | 34 | 45 (CF) | |||||
| Vibration | ≤ | ||||||
| Bruit (dB) | ≤ | ||||||
| Palier | Roulement à billes en céramique lubrifié à la graisse | ||||||
| en fonctionnement position | N'importe lequel | ||||||
| Magnétique champ intensité (mT) | ≤3 (le plus grand 10 mT, à personnaliser) | ||||||
| Oper.ambiant température | Air refroidissement | 5 ~ 35 ℃ | |||||
| Eau refroidissement | 5 ~ 40 ℃ | ||||||
| Refroidissement eau exigences | Température de l'eau : 15-25 ℃ ; pression : 0,15 MPa ; PH6 ~ 8, clairement, sans huile. ；débit：≥1,5L/min | ||||||
| ☑Manette paramètres | |||||||
| Manette | EVFB-III-A | ||||||
| Communication mode | RS-485 | ||||||
| Tension（V） | 220 V CA ± 10 % | ||||||
| Fréquence（Hz） | 50/60±5% | ||||||
| Maximum saisir Pouvoir（W） | 100 | ||||||
| Commencer arrêter contrôle mode | Les boutons du contrôleur contrôlent le démarrage et l'arrêt/le démarrage et l'arrêt du contrôleur RS485/le démarrage et l'arrêt du contrôle DB15 | ||||||
| Protections | Surintensité du contrôleur, surtension, sous-tension, protection contre la surchauffe, surintensité de la pompe moléculaire, surcharge, protection contre la surchauffe, etc. | ||||||
| Rotation vitesse (tr/min) | 36 000 ± 0,1 % | 30 000 ± 0,1 % | 24 000 ± 0,1 % | ||||
| Faible vitesse (tr/min) | 25200 ± 0,1 % | 21 000 ± 0,1 % | 16800 ± 0,1 % | ||||
| Actuel（A） | ≤0,6 | ≤1 | ≤1 | ||||
| protection fusible（A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | ||||
| Le temps de démarrage（min） | ~5 | ~6 | ~7 | ||||
| Temps d'arrêt（min） | ~5 | ~10 | ~12 | ||||
Dimension globale
| Modèle | DN | d1 | h | h1 | h2 | d2 | n |
| EVFB-100/301 | 100 LF | 130 | 253,5 | 180 | 170 | — | — |
| 100 FC | 152 | 274,5 | 201 | 191 | 130,3 | 16 | |
| EVFB-160/401 | 160 LF | 180 | 239,5 | 169,5 | 159,5 | — | — |
| 160 FC | 202 | 238,5 | 168,5 | 158,5 | 181 | 20 | |
| EVFB-160/450D | 160 LF | 180 | 243 | 169,5 | 159,5 | — | — |
| 160 FC | 202 | 242 | 168,5 | 158,5 | 181 | 20 |
| Modèle | DN | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 | 160 LF | 180 | 218,5 | 241,8 | 336,8 | 201,8 | 124,8 |
| EVFB-160/701 | 160CF | 202 | 218,5 | 268,8 | 359,8 | 224,8 | 124,8 |
| EVFB-200/1400 | 200 LF | 240 | 267 | 257,5 | 352,5 | 231,5 | 155.1 |
| EVFB-200/1401 | 200CF | 253 | 267 | 274,5 | 369,5 | 248,5 | 155.1 |
| EVFB-250/2200 | 250 LF | 290 | 296 | 229,8 | 324,8 | 203,8 | 165.3 |
| EVFB-250/2201 | 250CF | 305 | 296 | 259,8 | 354,8 | 233,8 | 165.3 |
Commande Information
| Nombre | Produit modèle | Produit code | Accessoires | Commandenombre | Expliquer |
|
1 |
EVFB-100/301(LF) |
A3123 | pompe moléculaire standard | A3123 | La pompe standard (le refroidissement par air est standard par défaut) |
| Accessoires pour vannes de purge（petit débit） | A3123-A | La pompe standard + les accessoires de vanne de purge (petit débit) | |||
| Composants de refroidissement par eau | A3123-B | La pompe standard + les composants de refroidissement par eau (remplacer les composants refroidis par air) | |||
| Accessoires pour vannes de purge （petit débit）、Composants de refroidissement par eau | A3123-C | La pompe standard + les accessoires de vanne de purge (petit débit) + les composants de refroidissement par eau (remplacer les composants refroidis par air) | |||
|
2 |
EVFB-100/301(CF) |
A3124 | pompe moléculaire standard | A3124 | La pompe standard (le refroidissement par air est standard par défaut) |
| Accessoires pour vannes de purge（petit débit） | A3124-A | La pompe standard + les accessoires de vanne de purge (petit débit) | |||
| Composants de refroidissement par eau | A3124-B | La pompe standard + les composants de refroidissement par eau (remplacer les composants refroidis par air) | |||
| Accessoires pour vannes de purge （petit débit）、Composants de refroidissement par eau | A3124-C | La pompe standard + les accessoires de vanne de purge (petit débit) + les composants de refroidissement par eau (remplacer les composants refroidis par air) | |||
|
3 |
EVFB-160/401(LF) |
A3127 | pompe moléculaire standard | A3127 | La pompe standard (le refroidissement par air est standard par défaut) |
| Accessoires pour vannes de purge（petit débit） | A3127-A | La pompe standard + les accessoires de vanne de purge (petit débit) | |||
| Composants de refroidissement par eau | A3127-B | La pompe standard + les composants de refroidissement par eau (remplacer les composants refroidis par air) | |||
| Accessoires pour vannes de purge （petit débit）、Composants de refroidissement par eau | A3127-C | La pompe standard + les accessoires de vanne de purge (petit débit) + les composants de refroidissement par eau (remplacer les composants refroidis par air) | |||
|
4 |
EVFB-160/401(CF) |
A3128 | pompe moléculaire standard | A3128 | La pompe standard (le refroidissement par air est standard par défaut) |
| Accessoires pour vannes de purge（petit débit） | A3128-A | La pompe standard + les accessoires de vanne de purge (petit débit) | |||
| Composants de refroidissement par eau | A3128-B | La pompe standard + les composants de refroidissement par eau (remplacer les composants refroidis par air) | |||
| Accessoires pour vannes de purge | A3128-C | La pompe standard + Vanne de purge |
| （petit débit）、Composants de refroidissement par eau | Accessoires (petit débit) + composants de refroidissement par eau (remplacercomposants refroidis par air) | ||||
|
5 |
EVFB-160/450D(LF) |
A3129 | pompe moléculaire standard | A3129 | La pompe standard (le refroidissement par air est standard par défaut) |
| Accessoires pour vannes de purge（petit débit） | A3129-A | La pompe standard + les accessoires de vanne de purge (petit débit) | |||
| Composants de refroidissement par eau | A3129-B | La pompe standard + les composants de refroidissement par eau (remplacer les composants refroidis par air) | |||
| Accessoires pour vannes de purge （petit débit）、Composants de refroidissement par eau | A3129-C | La pompe standard + les accessoires de vanne de purge (petit débit) + les composants de refroidissement par eau (remplacer les composants refroidis par air) | |||
|
6 |
EVFB-160/450D(CF) |
A3130 | pompe moléculaire standard | A3130 | La pompe standard (le refroidissement par air est standard par défaut) |
| Accessoires pour vannes de purge（petit débit） | A3130-A | La pompe standard + les accessoires de vanne de purge (petit débit) | |||
| Composants de refroidissement par eau | A3130-B | La pompe standard + les composants de refroidissement par eau (remplacer les composants refroidis par air) | |||
| Accessoires pour vannes de purge （petit débit）、Composants de refroidissement par eau | A3130-C | La pompe standard + les accessoires de vanne de purge (petit débit) + les composants de refroidissement par eau (remplacer les composants refroidis par air) | |||
|
7 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139 | pompe moléculaire standard | A3139 | La pompe standard (refroidissement par eau)est standard par défaut) |
| Accessoires pour vannes de purge | A3139-A | La pompe standard + Vanne de purgeaccessoires | |||
| Composants du ventilateur | A3139-B | La pompe standard + Ventilateur | |||
| Accessoires de vanne de purgeComposants du ventilateur | A3139-C | La pompe standard + Vanne de purgeaccessoires + Composants du ventilateur | |||
|
8 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140 | pompe moléculaire standard | A3140 | La pompe standard (refroidissement par eau)est standard par défaut) |
| Accessoires pour vannes de purge | A3140-A | La pompe standard + Vanne de purgeaccessoires | |||
| Composants du ventilateur | A3140-B | Les composants standard de la pompe + du ventilateur | |||
| Accessoires de vanne de purgeComposants du ventilateur | A3140-C | La pompe standard + Vanne de purgeaccessoires + Composants du ventilateur | |||
|
9 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135 | pompe moléculaire standard | A3135 | La pompe standard (le refroidissement par eau est standard par défaut) |
| Accessoires pour vannes de purge | A3135-A | La pompe standard + Vanne de purgeaccessoires | |||
| Composants du ventilateur | A3135-B | Les composants standard de la pompe + du ventilateur | |||
| Accessoires de vanne de purge | A3135-C | La pompe standard + Vanne de purge |
| Composants du ventilateur | accessoires + Composants du ventilateur | ||||
|
10 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136 | pompe moléculaire standard | A3136 | La pompe standard (le refroidissement par eau est standard par défaut) |
| Accessoires pour vannes de purge | A3136-A | La pompe standard + Vanne de purgeaccessoires | |||
| Composants du ventilateur | A3136-B | Les composants standard de la pompe + du ventilateur | |||
| Accessoires pour vannes de purge、 | A3136-C | La pompe standard + Vanne de purgeaccessoires + Composants du ventilateur | |||
|
11 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141 | pompe moléculaire standard | A3141 | La pompe standard (le refroidissement par eau est standard par défaut) |
| Accessoires pour vannes de purge | A3141-A | La pompe standard + Vanne de purgeaccessoires | |||
| Composants du ventilateur | A3141-B | La pompe standard + Ventilateur | |||
| Accessoires pour vannes de purge、Composants du ventilateur | A3141-C | La pompe standard + Vanne de purgeaccessoires + Composants du ventilateur | |||
|
12 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142 | pompe moléculaire standard | A3142 | La pompe standard (le refroidissement par eau est standard par défaut) |
| Accessoires pour vannes de purge | A3142-A | La pompe standard + Vanne de purgeaccessoires | |||
| Composants du ventilateur | A3142-B | La pompe standard + Ventilateur | |||
| Accessoires pour vannes de purge、 | A3142-C | La pompe standard + Vanne de purgeaccessoires + Composants du ventilateur | |||
| 13 | EVFB-II | A3261 | - | A3261 | Contrôleur de pompe moléculaire (convient aux pompes moléculaires telles que EVFB- 100/301、EVFB- 160/401、EVFB-100/450D) |
| 14 | EVFB-III-A | A3263 | - | A3263 | Contrôleur de pompe moléculaire (convient aux pompes moléculaires telles que EVFB- 160/701、EVFB- 200/1401、EVFB-250/2201) |
Pompes moléculaires composées séparées
Principales caractéristiques de cette série de produits :
(1) Contrôleur séparé : alimentation AC220V, une clé start-stop ;
(2) Haute fiabilité : rotors globaux, technologie de conduite BLDC ;
(3) Roulement de précision : roulement à billes en céramique de précision, installé à n'importe quel angle (uniquement les modèles lubrifiés à la graisse) ;
(4) Diversité fonctionnelle : gamme complète d'accessoires, des solutions personnalisées sont disponibles ;
(5) Fournit une fonction de vitesse réglable, pour répondre aux exigences d'une variété de vitesses de pompage ; cette série de produits est principalement applicable au PVD, CVD, plaque à cristaux liquides et autres
revêtement industriel, recherche scientifique et autres domaines.
Paramètres techniques de la pompe moléculaire
| Modèle | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | EVFB-400/3600 | EVFB-400/4500 | |||||
| ☑Le vide paramètres | ||||||||||
| Pression ultime (Pa) | <5x10-6（LF）；<5x10-7（CF） | |||||||||
| Pompage vitesse (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | H | N2 | He | N2 | He |
| 650 | 550 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | 3600 | 3000 | 4800 | 3500 | |
| Ratio de compression | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | >1x108 | >6x102 | >1x108 | >8x103 |
| Maximum continu entréepression (Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | 0,05 | 0,02 | 0,03 | 0,01 |
| Maximumcontinu Première ligne | 300 | 200 | 300 | 200 | 200 | 100 | 50 | 35 | 40 | 30 |
| Tolérance de pression maximale (Pa) | 1000 | 500 | 1000 | 500 | 500 | 200 | 340 | 160 | 160 | 80 |
| ☑Physique paramètre | ||||||||||
| Entrée bride | DN160 ISO-K（LF）ouCF | DN200 ISO-K（LF）ouCF | DN250 ISO-K（LF）ouCF | DN400 ISO-K（LF）ouCF | DN400 ISO-K（LF）ouCF | |||||
| Première ligne bride | DN25 ISO-KF,KF40 (facultatif) | DN40 ISO-KF, KF50 (en option) | DN100 ISO-K（LF） | DN100 ISO-K（LF）ouKF50 (facultatif) | ||||||
| Purge bride | DN16 ISO-KF | / | DN16 ISO-KF | |||||||
| Recommandé | 4~10 L/s | 8~16 L/s | 16~24 L/s | 30~70 L/s | ||||||
| Poids（kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ≈ 100 ISO-K(LF) | ≈ 83 ISO-K(LF) | |
| 23 (CF) | 34 (CF) | 45 (CF) | ≈ 105 (CF) | ≈ 88 (FC) | ||
| Vibration | ≤ 0,05 | ≤ 0,3 | ||||
| Bruit (dB) | ≤ 50 | ≤ 60 | ||||
| Palier | Roulement à billes en céramique lubrifié à la graisse | Roulement à billes en céramique | ||||
| en fonctionnement position | N'importe lequel | Verticale ±5° | ||||
| Oper.Ambient Champ magnétique | ≤ 3mT (le plus grand 10mT, besoin de personnaliser) | ≤ 3mT | ||||
| Opéra.ambiant température | Air refroidissement | 5~35°C | / | / | ||
| Eau froide | 5~40°C | |||||
| Refroidissement eau exigences | Température de l'eau : 15-25 ℃ ; pression : 0,15 MPa ; débit : ≥ 1,5 L/min. | débit：≥ 3L/min | ||||
| ☑Manette paramètres | ||||||
| Séparé manette | EVFB-III-B (2U) | EVFB-VI(4U) | ||||
| Télécommande contrôle | Contrôle ultra-distance (veuillez consulter nos ingénieurs) | |||||
| Communication mode | RS-485 | |||||
| Tension（V） | De 100 à 240VAC（± | 220 VCA (± 10 %) | ||||
| Fréquence（Hz） | 50/60 Hz ± 5 % | |||||
| Puissance d'entrée maximale（W） | 1000 | 1500 | ||||
| Commencer arrêter contrôle mode | Les boutons du contrôleur contrôlent le démarrage et l'arrêt/le démarrage et l'arrêt du contrôleur RS485/le démarrage et l'arrêt du contrôle DB15 | |||||
| Protections | Surintensité du contrôleur, surtension, sous-tension, protection contre la surchauffe, surintensité de la pompe moléculaire,surcharge, protection contre la surchauffe, etc. | |||||
| Rotation vitesse (tr/min) | 36 000 ± 0,1 % | 30 000 ± 0,1 % | 24 000 ± 0,1 % | 13 500 ± 0,1 % | 16 200 ± 0,1 % | |
| Faible vitesse (tr/min) | 25200 ± 0,1 % | 21 000 ± 0,1 % | 16800 ± 0,1 % | / | ||
| Actuel（A） | ≤ 0,6 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 5 | ||
| protection fusible（A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | 12 | ||
| Démarrer temps（min） | ~5 | ~6 | ~7 | ~20 | ||
| Temps d'arrêt（min） | ~5 | ~10 | ~12 | ~30 | ||
| Opéra. ambiant condition | Pas de gaz corrosifs ni de particules de poussière évidentes ； température ambiante ： -10 ℃ ~ 50 ℃ ； environnementhumidité : ≤ 90 %, intensité des vibrations : ≤ 0,5 g | |||||
Dimension globale
| Modèle | D N | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 EVFB-160/701 | 160 LF | 180 | 218,5 | 241,8 | 336,8 | 201,8 | 124,8 |
| 160CF | 202 | 218,5 | 268,8 | 359,8 | 224,8 | 124,8 | |
| EVFB-200/1400 EVFB-200/1401 | 200 LF | 240 | 267 | 257,5 | 352,5 | 231,5 | 155.1 |
| 200CF | 253 | 267 | 274,5 | 369,5 | 248,5 | 155.1 | |
| EVFB-250/2200 EVFB-250/2201 | 250 LF | 290 | 296 | 229,8 | 324,8 | 203,8 | 165.3 |
| 250CF | 305 | 296 | 259,8 | 354,8 | 233,8 | 165.3 |
Dimensions de la pompe turbomoléculaire EVFB-400/3600
Dimensions de la pompe turbomoléculaire EVFB-400/4500
Apparition d'un contrôleur séparé
Contrôleur séparé EVFB-III-B (2U)
Contrôleur séparé EVFB-VI (4U)
Commande Information
| nombre | Produit modèle | produit code | Accessoires | Commande nombre | Expliquer |
|
1 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139-F | Pompe moléculaire standard | A3139-F | La pompe standard (le refroidissement par eau est standard par défaut) |
| Accessoires pour vannes de purge | A3139-FA | La pompe standard + les accessoires de vanne de purge | |||
| Composants du ventilateur | A3139-FB | Les composants standard de la pompe + du ventilateur | |||
| Accessoires de vanne de purge, composants de ventilateur | A3139-FC | La pompe standard + Accessoires de vanne de purge + Composants de ventilateur | |||
|
2 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140-F | pompe moléculaire standard | A3140-F | La pompe standard (le refroidissement par eau est standard par défaut) |
| Accessoires pour vannes de purge | A3140-FA | La pompe standard + les accessoires de vanne de purge | |||
| Composants du ventilateur | A3140-FB | Les composants standard de la pompe + du ventilateur | |||
| Accessoires de vanne de purge, composants de ventilateur | A3140-FC | La pompe standard + Accessoires de vanne de purge + Composants de ventilateur | |||
|
3 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135-F | pompe moléculaire standard | A3135-F | La pompe standard (le refroidissement par eau est standard par défaut) |
| Accessoires pour vannes de purge | A3135-FA | La pompe standard + les accessoires de vanne de purge | |||
| Composants du ventilateur | A3135-FB | Les composants standard de la pompe + du ventilateur | |||
| Accessoires de vanne de purge, composants de ventilateur | A3135-FC | La pompe standard + Accessoires de vanne de purge + Composants de ventilateur | |||
|
4 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136-F | pompe moléculaire standard | A3136-F | La pompe standard (le refroidissement par eau est standard par défaut) |
| Accessoires pour vannes de purge | A3136-FA | La pompe standard + les accessoires de vanne de purge | |||
| Composants du ventilateur | A3136-FB | Les composants standard de la pompe + du ventilateur | |||
| Accessoires de vanne de purge, composants de ventilateur | A3136-FC | La pompe standard + Accessoires de vanne de purge + Composants de ventilateur | |||
|
5 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141-F | pompe moléculaire standard | A3141-F | La pompe standard (le refroidissement par eau est standard par défaut) |
| Accessoires pour vannes de purge | A3141-FA | La pompe standard + les accessoires de vanne de purge | |||
| Composants du ventilateur | A3141-FB | Les composants standard de la pompe + du ventilateur | |||
| Accessoires de vanne de purge, composants de ventilateur | A3141-FC | La pompe standard + Accessoires de vanne de purge + Composants de ventilateur | |||
|
6 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142-F | pompe moléculaire standard | A3142-F | La pompe standard (le refroidissement par eau est standard par défaut) |
| Accessoires pour vannes de purge | A3142-FA | La pompe standard + les accessoires de vanne de purge | |||
| Composants du ventilateur | A3142-FB | Les composants standard de la pompe + du ventilateur | |||
| Accessoires pour vannes de purge | A3142-FC | La pompe standard + Vanne de purge |
| Composants du ventilateur | accessoires + Composants du ventilateur | ||||
| 7 | EVFB-400/3600(LF) | A3187 | pompe moléculaire standard | A3187 | La pompe standard (refroidissement par eau) est standard par défaut) |
| 8 | EVFB-400/3600(CF) | A3188 | pompe moléculaire standard | A3188 | La pompe standard (refroidissement par eau) est standard par défaut) |
|
9 |
EVFB-400/4500(LF) |
A3185 | pompe moléculaire standard | A3185 | La pompe standard (le refroidissement par eau est standard par défaut) |
| Accessoires pour vannes de purge | A3185-A | La pompe standard + les accessoires de vanne de purge | |||
|
10 |
EVFB-400/4500(CF) |
A3186 | pompe moléculaire standard | A3186 | La pompe standard (le refroidissement par eau est standard par défaut) |
| Accessoires pour vannes de purge | A3186-A | La pompe standard + les accessoires de vanne de purge | |||
|
11 |
EVFB-III-HMI |
A3261-1 |
Panneau à commande manuelle |
A3261-1 | Client en option, convient aux pompes moléculaires telles que EVFB-160/701, EVFB-200/1401, EVFB-250/2201. |
| 12 | EVFB-VI | A3270 | Contrôleur séparé (4U) | A3270 | Convient aux pompes turbomoléculaires telles que EVFB-400/3600、EVFB-400/450 |
| 13 | EVFB-III-B | A3264 | Contrôleur séparé (2U) | A3264 | Convient aux pompes moléculaires telles que EVFB-160/701, EVFB-200/1401, EVFB-250/2201 (type séparé) |
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