Les contrôleurs de débit massique (MFC) fournissent une mesure et un contrôle précis du débit massique des gaz.
I. Quelle est la différence entre un MFC et un MFM ?
Le débitmètre massique (MFM) est une sorte d'instrument qui mesure avec précision le débit de gaz, et sa valeur de mesure n'est pas inexacte en raison des fluctuations de température ou de pression, et ne nécessite pas de compensation de température et de pression. Le contrôleur de débit massique (MFC) non seulement a la fonction d'un débitmètre massique, mais plus important encore, il peut contrôler automatiquement le débit de gaz, c'est-à-dire que l'utilisateur peut régler le débit en fonction de ses besoins, et le MFC maintient automatiquement le débit constant à la valeur définie, même si les fluctuations de pression du système ou les changements de température ambiante ne la feront pas s'écarter de la valeur définie.Le contrôleur de débit massique est un dispositif à débit constant, qui est un dispositif à débit constant de gaz qui peut être réglé manuellement ou contrôlé automatiquement par connexion à un ordinateur.Les débitmètres massiques mesurent uniquement mais ne contrôlent pas.Le régulateur de débit massique est doté d'une vanne de régulation qui peut à la fois mesurer et contrôler le débit de gaz.
II.Quelle est la structure etprincipe de fonctionnement ?
1、Structure
2、Principe de fonctionnement
Lorsque le flux pénètre dans le tuyau d'admission, la majeure partie du flux passe par le canal de dérivation, dont une petite partie pénètre dans le tube capillaire à l'intérieur du capteur.En raison de la structure particulière de
le canal de dérivation, les deux parties du débit de gaz peuvent être directement proportionnelles.Le capteur est préchauffé et chauffé, et la température à l'intérieur est supérieure à la température de l'air d'entrée.A ce moment, le débit massique d'une petite partie du gaz est mesuré par le principe du transfert de chaleur par le tube capillaire et le principe de la calorimétrie par différence de température.Le débit de gaz ainsi mesuré peut ignorer les effets de la température et de la pression.Le signal de mesure de débit détecté par le capteur est entré dans la carte de circuit imprimé, amplifié et émis, et la fonction du MFM est terminée.Ajout de la fonction de contrôle automatique en boucle fermée PID au circuit imprimé, comparez le signal de mesure de débit mesuré par le capteur avec le signal défini donné par l'utilisateur.Sur cette base, la vanne de régulation est contrôlée de manière à ce que le signal de détection de débit soit égal au signal réglé, réalisant ainsi la fonction du MFC.
III.Applications et fonctionnalités.
MFC, qui est largement appliqué dans les domaines suivants : fabrication de semi-conducteurs et de circuits intégrés, science des matériaux spéciaux, industrie chimique, industrie pétrolière, industrie pharmaceutique, protection de l'environnement et recherche sur les systèmes de vide, etc. Les applications typiques incluent : les équipements de processus microélectroniques tels que la diffusion , oxydation, épitaxie, CVD, gravure plasma, pulvérisation cathodique, implantation ionique ;équipement de dépôt sous vide, fusion de fibres optiques, équipement de micro-réaction, système de mélange et d'appariement de gaz, système de contrôle de débit capillaire, chromatographe en phase gazeuse et autres instruments analytiques.
MFC apporte une haute précision, une excellente répétabilité, une réponse rapide, un démarrage progressif, une meilleure fiabilité, une large variété de plages de pression de fonctionnement (bon fonctionnement dans des situations de haute pression et de vide), un fonctionnement simple et pratique, une installation flexible, une connexion possible avec un PC pour effectuer des opérations automatiques. contrôle au système des utilisateurs.
IV.Comment déterminer et gérer fdes maux ?
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Heure de publication : 29 juillet 2022