I. Introduction de la vanne
La vanne à vide est un composant du système à vide utilisé pour changer la direction du flux d'air, ajuster la taille du débit de gaz, couper ou connecter le pipeline dans le système à vide.Les parties de fermeture de la soupape à vide sont scellées par un joint en caoutchouc ou un joint métallique.
II.Applications courantes des vannes à vide.
Vannes à vide
Utilisé dans les équipements de système de vide poussé ou ultra poussé lorsque le vide doit être maintenu dans un système de manipulation sous vide fermé.Les vannes à vide sont utilisées pour contrôler le flux d'air dans la chambre à vide, isoler, ventiler, réduire la pression ou contrôler la conduction.Les vannes à vanne, les vannes en ligne et les vannes d'angle sont les types de vannes à vide les plus couramment utilisées pour les applications à vide poussé ou ultra poussé.Les types de vannes supplémentaires comprennent les vannes papillon, les vannes de transfert, les vannes à bille, les vannes pendulaires, les vannes entièrement métalliques, les vannes à vide, les vannes d'angle en aluminium, les vannes à vide à revêtement en téflon et les vannes de passage direct.
Les vannes papillon
sont des vannes à ouverture rapide constituées de disques ou d'aubes métalliques qui pivotent perpendiculairement au sens d'écoulement dans la canalisation et qui, lorsqu'elles tournent sur leur axe, scellent le siège dans le corps de vanne.
Vannes de transfert (vannes à vanne rectangulaires)
Vannes de séparation adaptées à une utilisation entre les chambres à vide à charge verrouillée et les chambres de transfert, ainsi qu'entre les chambres de transfert et les chambres de traitement dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs.
Vannes à bille sous vide
sont des vannes quart de tour à débit droit avec un ensemble de fermeture circulaire avec des sièges circulaires assortis pour une contrainte d'étanchéité uniforme.
Vannes pendulaires
est un grand papillon des gaz installé entre la chambre à vide du procédé et l'entrée de la pompe turbomoléculaire.Ces vannes pendulaires à vide sont généralement conçues comme des vannes à guillotine ou pendulaires pour des applications telles que les systèmes de fabrication industrielle OLED, FPD et PV.
Vannes entièrement métalliques
Conçu pour une utilisation dans des environnements sous ultra-vide où les températures élevées ne permettent pas l'utilisation d'élastomères et de métaux pour joints cryogéniques.Les vannes de cuisson entièrement métalliques offrent une étanchéité fiable à haute température, de la pression atmosphérique jusqu'à moins de 10-11 mbar.
Vannes à vide
Fonctionnez de manière fiable dans les systèmes de production de semi-conducteurs et dans les applications présentant une contamination chimique et particulaire.Ils peuvent être utilisés dans des environnements sous vide poussé, sous vide poussé ou sous vide ultra poussé.
Vannes d'équerre en aluminium
L'entrée et la sortie de ces vannes sont perpendiculaires l'une à l'autre.Ces vannes d'angle sont fabriquées en aluminium A6061-T6 et sont utilisées dans la fabrication de semi-conducteurs et d'instruments, la R&D et les systèmes de vide industriel pour les applications sous vide grossier à poussé.
La soupape à vide revêtue de téflon est un dispositif à composants sous vide entièrement conçu en acier inoxydable avec un revêtement durable et hautement résistant aux produits chimiques.
III.Caractéristiques des vannes à vide.
La pression est inférieure à la pression atmosphérique et la chute de pression à travers le clapet de valve ne peut pas dépasser 1 kg force/cm.La température de travail du fluide dépend du processus de l'appareil utilisé.La température ne dépasse généralement pas la plage de -70 à 150°C.L'exigence la plus fondamentale pour de telles vannes est d'assurer un degré élevé d'étanchéité de la connexion et la densité de la structure et du matériau du joint.
Selon la moyenne pression, les vannes à vide peuvent être divisées en quatre groupes.
1) Vannes à faible vide : pression moyenne p=760~1 mmHg.
2）Valves à vide moyen : p=1×10-3 mmHg.
3) Vannes à vide poussé : p = 1 × 10-4 ~ 1 × 10-7 mmHg.
4)Valve à ultra-vide : p≤1×10-8 mmHg.
En tant que vanne en circuit fermé avec un diamètre de passage inférieur à 250 mm, la tige largement utilisée est une vanne d'arrêt à soufflet à vide à mouvement linéaire.Les robinets-vannes sont cependant plus restreints, mais cela concerne principalement les grands diamètres.Sont également disponibles des vannes à boisseau sphérique (vannes à bille), des vannes à piston et des vannes papillon.Les robinets à tournant sphérique pour les soupapes à vide n'ont pas été promus car ils nécessitent une lubrification à l'huile, ce qui permet à la vapeur d'huile de pénétrer dans le système de vide, ce qui n'est pas autorisé.Les vannes à vide peuvent être commandées manuellement et à distance sur le terrain, ainsi que électriquement, électromagnétiquement (électrovannes), pneumatique et hydraulique.
Heure de publication : 11 août 2022