Beijing Super Q Technology Co., Ltd. propose des pompes moléculaires composées lubrifiées à l'huile de la série EV de 600 L, 1 200 L, 1 600 L et des pompes moléculaires de type turbine de 3 600 L ;pompes moléculaires composées lubrifiées à la graisse de 300 L, 650 L, 1 300 L, 2 000 L.Cet article se concentre sur l'explication des caractéristiques, de l'installation, de l'utilisation et de la maintenance des pompes moléculaires à composé de lubrification à graisse de la série EV-Z.
Caractéristiques structurelles
La pompe moléculaire à graisse de la série EV adopte des roulements en céramique de précision importés, le rotor de la pompe grâce à l'équilibre dynamique, un fonctionnement stable et fiable, le moteur triphasé à cage d'écureuil du moteur, la lubrification des roulements par lubrification à la graisse, peut être monté dans n'importe quelle orientation.
installation et utilisation
I. À propos de la pression ultime
La « Pression Ultime » de la pompe moléculaire est basée sur la norme internationale ISO « Méthode de test des performances des pompes turbomoléculaires ». Après cuisson complète du corps de pompe et du couvercle d'essai (48 heures de séchage et dégazage), la pression la plus basse mesurée à la position spécifiée du couvercle de test.valeur de pression.En utilisation réelle, la valeur de la « pression limite » est liée à la pression de service et à la vitesse de pompage effective de la pompe d'appoint configurée.Le choix d’une pompe secondaire plus performante est très avantageux pour obtenir un vide plus élevé et réduire le temps d’échappement.
De plus, en raison de la particularité du principe d'échappement de la pompe moléculaire, l'entrée d'air de la pompe doit être aussi large que possible, et le chemin du gaz depuis la chambre à vide jusqu'à l'orifice de la pompe moléculaire doit éviter de tourner autant que possible. possible, afin d'exercer la meilleure efficacité de la pompe moléculaire et un vide ultime plus élevé garanti.
II.Installation
2.1 Ouvrir le paquet
Avant l'installation, vérifiez si la pompe moléculaire a été endommagée pendant le transport.
La méthode est la suivante : reportez-vous aux instructions d'alimentation de la pompe moléculaire, connectez-la correctement à la pompe moléculaire, n'avez pas besoin de faire passer de l'eau ou du vide, démarrez la pompe moléculaire et vérifiez si elle fonctionne et s'il y en a son anormal.En cas d'anomalie, appuyez sur l'interrupteur d'arrêt à temps pour arrêter la pompe.Remarque : La fréquence d'alimentation ne doit pas être supérieure à 25 Hz pendant le fonctionnement d'essai.
2.2 Connexion de la bride à vide poussé
Le raccordement de la pompe moléculaire peut être hissé par la bride à vide poussé ou fixé sur le socle.La pompe moléculaire doit être fixée lorsque la bride à vide poussé de la pompe moléculaire est connectée au système via un soufflet métallique.
(La surface d'étanchéité de la bride n'a aucune rayure et il ne doit y avoir rien sur la bague d'étanchéité)
2.3 Connexion sous vide avant
Une vanne d'isolement et de ventilation doit être installée entre la pompe primaire et la pompe moléculaire pour empêcher la pompe mécanique de restituer l'huile après l'arrêt.
2.4 Raccordement du chargeur de gaz
Afin d'avoir un environnement de vide propre, une fois la pompe moléculaire arrêtée, le système de vide peut être rempli d'azote ou d'air sec.Généralement, une vanne de ventilation peut être connectée au pipeline de l'étage avant, ou une vanne à vide poussé peut être utilisée pour évacuer le gaz à l'extrémité du vide poussé.
III．Raccordement du refroidissement
En raison du frottement rotatif à grande vitesse du roulement, de l'échauffement du corps de la pompe et de l'augmentation de la température du moteur, le roulement et le moteur doivent être refroidis lorsque la pompe moléculaire fonctionne.Le refroidissement par air est généralement utilisé et le refroidissement par eau est utilisé lorsque la température ambiante est supérieure à 38°C.Le tuyau d'eau douce d'un diamètre extérieur de 10 mm peut être directement connecté à l'entrée et à la sortie d'eau de la pompe moléculaire.Un système d'eau en circulation avec de l'eau pure est utilisé, et de l'eau du robinet à faible précipitation peut également être utilisée (la température de l'eau doit être ≤28°C).
Un arrêt accidentel de l'eau ou une température élevée de l'eau fera agir le capteur de température du corps de la pompe moléculaire, et l'alimentation électrique déclenchera immédiatement une alarme et arrêtera la sortie.
Il y a un intervalle d'environ 15 minutes (le temps spécifique dépend du taux d'augmentation de la température) après l'arrêt inattendu de l'eau ou la température de l'eau est trop élevée jusqu'à ce que la pompe moléculaire déclenche une alarme en raison d'une surchauffe.
IV．Pâtisserie
La pression ultime dépend de la propreté de l’intérieur de la pompe et du chemin de vide incluant la chambre à vide.Afin d'obtenir la pression ultime dans les plus brefs délais, le système de vide et la pompe moléculaire doivent être cuits.La cuisson doit être effectuée avec la pompe moléculaire fonctionnant normalement.
La température de cuisson de la pompe moléculaire doit être inférieure à 80 °C, la bride à vide poussé connectée au port de la pompe ne doit pas être supérieure à 120 °C et la température de cuisson du système de vide est généralement inférieure à 300 °C.de dommages.
Le temps de cuisson dépend du degré de pollution du système et de la pompe moléculaire et de la pression de service limite attendue, mais le temps minimum ne doit pas être inférieur à 4 heures.
Pour obtenir un vide de 10-4Pa, en principe, aucune cuisson n'est nécessaire ;pour obtenir un vide de 10-5Pa, seule la cuisson du système de vide lui-même suffit ;pour obtenir un ultra-vide, le système de vide et la pompe moléculaire doivent généralement être cuits en même temps.Le système de mesure doit être entièrement cuit, sinon cela affectera la précision des données de mesure en raison de son dégazage.
V．Opération
Confirmez que le pré-vide est meilleur que 15 Pa, appuyez sur la touche RON pour démarrer la pompe moléculaire et appuyez sur la touche STOP pour arrêter après utilisation.Attention!La clé de démarrage progressif doit être utilisée pour la première utilisation ou pour la réutilisation après une utilisation inactive à long terme.L'opération de démarrage progressif est la suivante : le vide de l'étage actuel est supérieur à 15 Pa et la touche de démarrage progressif est enfoncée.Après 110 minutes, la pompe moléculaire atteint la fréquence de fonctionnement de 550 Hz (550 Hz correspond à la pompe moléculaire EV300Z, 400 Hz correspond à la pompe moléculaire EV650Z, 1300Z, 2000), puis appuyez sur la touche de démarrage progressif (la touche est en haut) pour arrêter le logiciel. commencer.
(Pendant le fonctionnement normal de la pompe moléculaire, il est interdit de la transporter, de la déplacer ou de la remplir d'air.)
VI．Entretien et réparation
6.1 Nettoyage de la pompe
Lorsque les fuites d'air et le taux de désorption du système de vide ne changent pas et que les performances du vide ne peuvent pas être restaurées même après une longue période de cuisson, ou lorsque la pompe de support renvoie sérieusement de l'huile, la pompe doit être nettoyée.
(Si la pompe doit être réparée et nettoyée, elle doit être démontée par des techniciens professionnels.S'il est démonté sans formation, les conséquences seront à vos propres risques.）
6.2 Remplacement des roulements
La pompe devant être équilibrée, le roulement ne peut pas être remplacé par l'utilisateur.
6.3 Protection contre les chocs
La pompe moléculaire est une machine tournante à grande vitesse.L'écart entre la plaque mobile et la plaque statique est très petit et ne peut pas résister à un impact excessif.La vitesse et l'accélération du porteur en mouvement en contact avec lui doivent être limitées.De plus, l'impact soudain du volume atmosphérique et la chute d'objets durs externes pendant le fonctionnement normal de la pompe moléculaire causeront également de graves dommages à la pompe moléculaire.
6.4 Isolation des vibrations
Habituellement, la pompe moléculaire a été strictement testée, les vibrations sont très faibles et elle peut être directement connectée au système pompé.Pour les applications d'instruments de haute précision (telles que les microscopes électroniques, etc.), il est recommandé d'utiliser des isolateurs de vibrations afin de minimiser l'impact des vibrations sur l'instrument.
6.5 Forte protection contre les champs magnétiques
Le rotor en rotation génère des courants de Foucault dans le champ magnétique, ce qui provoque un échauffement du rotor.Étant donné que la chaleur affaiblit la résistance du matériau en aluminium, l'application de la pompe moléculaire dans le champ magnétique est limitée dans une certaine mesure.
6.6 interférence électromagnétique
Certains instruments à haute fréquence, tels que les pompes moléculaires et les convertisseurs de fréquence, peuvent provoquer des interférences électromagnétiques avec l'environnement.Mais si les normes internationales sont respectées, l'application des pompes moléculaires ne sera pas limitée.Si les conditions sont remplies, les certificats correspondants doivent être délivrés en même temps.
6.7 Forte restriction de radioactivité
La plupart des matériaux changeront leurs propriétés dans un environnement fortement radioactif, en particulier les matériaux organiques (tels que l'huile de pompe moléculaire, les bagues d'étanchéité) et les composants semi-conducteurs.La pompe moléculaire peut résister à une intensité de rayonnement de 105 rad.En sélectionnant des matériaux anti-radioactifs et en utilisant une alimentation motorisée, la résistance anti-rayonnement peut être améliorée.Lors du pompage du tritium, afin d'empêcher l'élément radioactif tritium de s'échapper dans l'atmosphère, toutes les bagues d'étanchéité de la pompe moléculaire doivent être constituées de matériaux métalliques.
6.8 Pompe primaire
À l’extrémité haute pression de la courbe de performances de la pompe moléculaire, la pression d’entrée varie d’environ 200 Pa à 10-1 Pa, sur trois ordres de grandeur.Le libre parcours moyen des molécules de gaz devient plus petit et l’effet de pompage commence à se détériorer.Par conséquent, dans la zone de transition, plus la pompe secondaire est utilisée, plus la vitesse de pompage de la pompe moléculaire est élevée.Le débit de la pompe primaire ne doit pas être inférieur à 3 L/S minimum.
Défauts courants et dépannage
La pompe moléculaire composée lubrifiée à la graisse de la série EV-Z est une pompe à vide mécanique qui réalise l'extraction d'air grâce à une rotation relativement rapide d'aubes de turbine dynamiques et statiques à plusieurs étages.La pompe turbomoléculaire présente les caractéristiques d'une vitesse de pompage élevée et d'un taux de compression élevé dans la région du flux moléculaire, et est plus économe en énergie que la pompe à diffusion et n'a aucune pollution par l'huile et la vapeur.La pompe moléculaire composée lubrifiée à la graisse de la série EV est la pompe moléculaire avec la plus grande vitesse de pompage de 100 calibres en Chine.
Cette pompe moléculaire n'a aucune sélectivité et aucun effet mémoire sur le gaz à pomper.En raison du taux de compression élevé du gaz à poids moléculaire élevé, la pompe peut obtenir un vide poussé et un vide ultra poussé propre sans pièges froids ni déflecteurs d'huile..Il est largement utilisé dans divers domaines de l'électronique, de la métallurgie, de l'industrie chimique, de la recherche scientifique et de la technologie du vide.
Heure de publication : 01 juillet 2022