Pompe moléculaire turbo à semi-conducteurs en Chine, usine ODM EV1600L/S
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Dimensions des profilés et raccords de montage des pompes turbomoléculaires
La courbe de vitesse de la pompe turbo moléculaire
pomper de l'azote et de l'hydrogène
La courbe de vitesse du turbo moléculaire
pomper dans l'atmosphère
Données techniques EV-3600
Bride d'entrée (mm) | 400 ISO-K | |
Bride de sortie (mm) | 100 ISO-K | |
Taux de pompage (L/S) | 3600 | |
Ratio de compression | N2 | >108 |
H2 | >5X102 | |
Pression ultime (Pa) | <2X10-6 | |
Vitesse nominale (tr/min) | 13500 | |
Vibration | ≤0,15 μm | |
Heure de début (min) | <11 | |
Temps d'arrêt (min) | <20 | |
Pompe rotative suggérée | 30-70 L/S | |
Méthode de refroidissement | Eau froide | |
Température de refroidissement par eau (℃) | ≤25 | |
Le débit de refroidissement par eau (L/min) | 2 | |
Température de cuisson du corps de la pompe | <120 ℃ | |
Mode d'installation | Verticale ±5° | |
Poids (kg) | ≈100 |
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