EV rige gearstalde molekulêre pompen
EV-rige Technyske gegevens
Model | EV-600 EV-600F | EV-1200 EV-1200F | EV-1600 EV-1600F | ||||
Inletflens (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
Outlet flens (mm) | 40 kf | 40 kf | 50 kf | ||||
Pompsnelheid (L/S) | 600 | 1200 | 1600 | ||||
Kompresjeferhâlding | N2 | >109 | >109 | >109 | |||
H2 | >8x103 | >1x104 | >1x104 | ||||
Ultimate Vacuum (Pa) | <8x10-8 | <5X10-7 | <8x10-8 | <5X10-7 | <8x10-8 | <5X10-7 | |
Rotaasjesnelheid (rpm) | 24000 | 24000 | 24000 | ||||
Vibraasje | ≤0,1 μm | ≤0,1 μm | ≤0,15 μm | ||||
Oanrintiid (min) | <4.5 | <5 | <6 | ||||
Backing Pomp | 4-8 L/S | 8-15 L/S | 15 L/S | ||||
Cooling metoade | Wetter (loft) koeling | Wetter (loft) koeling | Wetter (loft) koeling | ||||
Koelwettertemperatuer (℃) | ≤20 | ≤20 | ≤20 | ||||
Omjouwingstemperatuer (℃) | ≤35 | ≤35 | ≤35 | ||||
Cooling Water Flow kwantiteit | 1-2 l/min | 1-2 l/min | 1-2 l/min | ||||
Bake-out temperatuer (℃) | <120 | <120 | <120 | ||||
Heater Power (w) | <250 | <300 | <300 | ||||
Heater Input Voltage (v) | AC220 | AC220 | AC220 | ||||
Montage | Fertikaal ±5° | Fertikaal ±5° | Fertikaal ±5° | ||||
Gewicht (kg) | ≈25 | ≈29 | ≈31 |
Atmosfearyske Pumping Curve fan Compound
Molekulêre pomp
Komprimearje ratio kromme fan stikstof en wetterstof
troch gearstalde molekulêre pomp
EV Series Ynstallaasje Dimension Tabel fan gearstalde molekulêre pomp
Model | EV-600 | EV-1200 | EV-1600 | ||||
Inletflens (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 | |
D2 | Φ212 | Φ212 | Φ237 | Φ237 | Φ274 | Φ274 | |
D3 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ296 | Φ296 | |
D4 | ¨145,7 | ¨145,7 | ¨167,6 | ¨167,6 | ¨183,9 | ¨183,9 | |
H1 | 375 | 375 | 405 | 405 | 393 | 393 | |
H2 | 235 | 235 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H3 | 238 | 238 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H4 | 108 | 108 | 113 | 113 | 110 | 110 | |
H5 | 4 | 4 | 19 | 19 | 16 | 16 | |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 160 | 160 | |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 176 | 176 | |
Pomp skonk screw gat | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | |
Outlet flens (mm) | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF50 | KF50 |
EV Series Air-cooling gearstalde molekulêre pompen
EV-rige luchtkuolle molekulêre pomp is gearstald út turbomolekulêre pomp en disc traksjepomp.It hat de skaaimerken fan hege pompsnelheid en kompresjeferhâlding foar molekulêre stream fan turbomolekulêre pomp, hege pompsnelheid en kompresjeferhâlding foar hege druk fan traksjepomp, en wreidet it tapassingsgebiet fan molekulêre pomp út.
De gearstalde molekulêre pomp hat gjin selektiviteit en ûnthâldeffekt op it pompte gas.Fanwege syn hege kompresje ferhâlding ta it gas mei grutte molekulêre gewicht, de pomp kin krije skjin hege en ultra hege fakuüm sûnder kâlde trap en oalje baffle.It wurdt in protte brûkt yn ferskate fjilden fan elektroanika, metallurgy, gemyske yndustry, wittenskiplik ûndersyk en fakuümtechnology.
Model | EV-600F | EV-1200F | EV-1600F | |||
Inletflens (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 |
D2 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ274 | Φ274 |
D3 | ¨145,7 | ¨145,7 | ¨167,6 | ¨167,6 | ¨183,8 | ¨183,8 |
H1 | 455 | 455 | 472 | 472 | 465 | 465 |
H2 | 217,5 | 217,5 | 210 | 210 | 214,5 | 214,5 |
H3 | 151 | 151 | 151 | 151 | 153 | 153 |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 161 | 161 |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 166 | 166 |
Pomp skonk screw gat | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 |