Mass Flow Controllers (MFC) jouwe sekuere mjitting en kontrôle fan 'e massastream fan gassen.
I. Wat is it ferskil tusken in MFC en in MFM?
Mass flow meter (MFM) is in soarte fan ynstrumint dat sekuer mjit gas flow, en syn mjitting wearde is net unakkuraat fanwege fluktuaasjes yn temperatuer of druk, en net nedich temperatuer en druk compensation.The massa flow controller (MFC) net allinne hat de funksje fan in massastreammeter, mar wichtiger, it kin de gasstream automatysk kontrolearje, dat is, de brûker kin de stream ynstelle neffens har behoeften, en de MFC hâldt de stream automatysk konstant op 'e ynstelde wearde, sels as it systeem druk Fluktuaasjes of feroarings yn ambient temperatuer sil net meitsje it ôfwykt fan de ynstelde wearde.De massa flow controller is in steady flow apparaat, dat is in gas steady flow apparaat dat kin wurde manuell ynsteld of automatysk regele troch ferbining mei in kompjûter.Massaflowmeters mjitte allinich mar kontrolearje net.De massastreamkontrôler hat in kontrôleklep, dy't de gasstream sawol mjitten as kontrolearje kin.
II.Wat is de struktuer enoperaasje prinsipe?
1, Struktuer
2, Operaasjeprinsipe
As de stream komt yn 'e intake piip, it grutste part fan' e stream giet troch de diverter kanaal, in lyts part fan dat komt yn de capillary buis binnen de sensor.Troch de spesjale struktuer fan
de diverter kanaal, de twa dielen fan it gas stream kin wêze direkt evenredich.De sensor wurdt preheated en ferwaarme, en de temperatuer binnen is heger as de temperatuer fan de ynlaat lucht.Op dit stuit wurdt de massastream fan it lytse diel fan it gas mjitten troch it prinsipe fan waarmteferfier troch de kapillêre buis en it prinsipe fan temperatuerferskilkalorimetry.De op dizze manier mjitten gasstream kin de effekten fan temperatuer en druk negearje.It troch de sensor ûntdutsen streammjitsignaal wurdt ynfierd nei it circuit board en fersterke en útfier, en de funksje fan 'e MFM is foltôge.Tafoegjen fan PID sletten loop automatyske kontrôle funksje oan it circuit board, Ferlykje de flow mjitting sinjaal mjitten troch de sensor mei it ynsteld sinjaal jûn troch de brûker.Op grûn dêrfan wurdt de kontrôleklep regele sadat it sinjaal foar streamdeteksje gelyk is oan it ynstelde sinjaal, sadat de funksje fan 'e MFC realisearret.
III.Applikaasjes en funksjes.
MFC, dat wurdt in soad tapast yn 'e fjilden as: semiconductor en IC fabrication, spesjale materialen wittenskip, gemyske yndustry, petroleum yndustry, farmaseutyske yndustry, miljeu beskerming en fakuüm systeem ûndersyk, ensfh De typyske tapassings befetsje: mikro-elektroanyske proses apparatuer lykas diffusion , oksidaasje, epitaksy, CVD, plasma-etsen, sputtering, ion-ymplantaasje;fakuümôfsettingsapparatuer, optyske fibersmelting, mikro-reaksje-apparatuer, ming- en oerienkommende gassysteem, kapillêre streamkontrôlesysteem, gaschromatograaf en oare analytyske ynstruminten.
MFC bringt de hege krektens, poerbêste werhelling, rappe reaksje, sêfte start, bettere betrouberens, breed ferskaat oan wurkdruk (goede operaasje yn hege druk en fakuüm situaasjes), ienfâldige, handige operaasje, fleksibele ynstallaasje, mooglike ferbining mei PC om automatysk út te fieren kontrôle nei it systeem fan brûkers.
IV.Hoe fêst te stellen en om te gean mei failures?
Us bedriuw hat profesjonele nei-ferkeap yngenieur, kin helpe jo oplosse problemen yn ynstallaasje en gebrûk.
Post tiid: Jul-29-2022