I. Mechanyske pompen
De wichtichste funksje fan de meganyske pomp is te foarsjen de nedige pre-stage fakuüm foar it opstarten fan de turbomolecular pomp.Faak brûkte meganyske pompen omfetsje benammen vortex droege pompen, diafragmapompen en oaljefersegele meganyske pompen.
Diafragmapompen hawwe lege pompsnelheid en wurde oer it algemien brûkt foar lytse molekulêre pompsets fanwegen de lytse grutte.
De oalje-fersegele meganyske pomp is de meast brûkte meganyske pomp yn it ferline, karakterisearre troch grutte pompen snelheid en goede ultime fakuüm, it neidiel is it algemiene bestean fan oalje werom, yn ultra-hege fakuüm systemen algemien moatte wurde útrist mei solenoid fentyl (foar it foarkommen fan tafallich krêftfal feroarsake troch oalje werom) en molekulêre sieve (adsorpsje-effekt).
Yn de ôfrûne jierren, de mear brûkte is de scroll droege pump.The foardiel is simpel te brûken en net werom nei oalje, krekt de pomp snelheid en ultime fakuüm is wat slimmer as dy fan oalje-fersegele meganyske pompen.
Mechanyske pompen binne in haadboarne fan lûd en trilling yn it laboratoarium en it is better om in pomp mei leech lûd te kiezen en wêr mooglik tusken apparatuer te pleatsen, mar dat lêste is faaks net maklik te berikken fanwege beheiningen op wurkôfstân.
II.Turbomolekulêre pompen
Turbo molekulêre pompen fertrouwe op hege snelheid rotearjende fanes (meastentiids om 1000 revolúsjes per minút) te berikken in rjochting stream fan gas.De ferhâlding fan de útlaatdruk fan 'e pomp nei de ynlaatdruk wurdt de kompresjeferhâlding neamd.De kompresjeferhâlding is relatearre oan it oantal stadia fan 'e pomp, de snelheid en it type gas, it algemiene molekulêre gewicht fan' e gaskompresje is relatyf heech.It ultime fakuüm fan in turbomolekulêre pomp wurdt algemien beskôge as 10-9-10-10 mbar, en yn 'e ôfrûne jierren, mei de trochgeande foarútgong fan molekulêre pomptechnology, is it ultime fakuüm fierder ferbettere.
Om't de foardielen fan in turbomolekulêre pomp allinich realisearre wurde yn in molekulêre streamstatus (in streamstatus wêryn't it gemiddelde frije berik fan 'e gasmolekulen folle grutter is as de maksimale grutte fan 'e kanaaldwerssneed), is in pre-stage fakuümpomp mei in wurkdruk fan 1 oan 10-2 Pa is nedich.Troch de hege rotational snelheid fan de fanes, de molekulêre pomp kin wurde skansearre of ferneatige troch frjemde foarwerpen, jitter, impact, resonânsje of gas shock.Foar begjinners, de meast foarkommende oarsaak fan skea is gas shock feroarsake troch operaasje flaters.Skea oan in molekulêre pomp kin ek feroarsake wurde troch resonânsje dy't troch in meganyske pomp útsteld wurdt.Dizze betingst is relatyf seldsum, mar freget spesjaal omtinken, om't it ferrifeliger is en net maklik te ûntdekken is.
III.Sputterjende ionpomp
It wurkprinsipe fan 'e sputterende ionpomp is om de ioanen te brûken dy't troch de Penning-ûntlading generearre wurde om de titaniumplaat fan' e kathode te bombardearjen om in frisse titaniumfilm te foarmjen, sadat de aktive gassen adsorbearje en ek in bepaalde begraffeniseffekt hawwe op 'e inerte gassen. .De foardielen fan sputterjende ionpompen binne goed ultime fakuüm, gjin trilling, gjin lûd, gjin fersmoarging, in folwoeksen en stabyl proses, gjin ûnderhâld en op deselde pompsnelheid (útsein foar inerte gassen), har kosten binne folle leger as molekulêre pompen, wêrtroch't se ekstreem in soad brûkt wurde yn ultra-hege fakuümsystemen.Normaal is de normale wurksyklus fan sputterende ionpompen mear dan 10 jier.
Ionenpompen moatte oer it algemien boppe 10-7 mbar wêze om goed te wurkjen (wurkjen by slimmer fakuüm ferminderet har libben signifikant) en hawwe dêrom in molekulêre pompset nedich om in goed pre-stage fakuüm te leverjen.It is gewoane praktyk om in ionpomp + TSP te brûken yn 'e haadkeamer en in lytse molekulêre pomp set yn' e ynlaatkeamer.By it bakken, iepenje de ferbûne ynfoegjeklep en lit de lytse molekulêre pompset it foarste fakuüm leverje.
Dêrby moat opmurken wurde dat ion pompen binne minder by steat fan adsorption fan inerte gassen en harren maksimale pomp snelheid ferskilt wat fan dy fan molekulêre pompen, sadat foar grutte útgassing folumes of grutte hoemannichten inerte gassen, in molekulêre pomp set is nedich.Derneist genereart de ionpomp in elektromagnetysk fjild yn 'e operaasje, dat kin ynterferearje mei benammen gefoelige systemen.
IV.Titanium sublimaasjepompen
Titanium sublimaasjepompen wurkje troch te fertrouwen op de ferdamping fan metallysk titanium om in titaniumfilm te foarmjen op 'e keamermuorren foar chemisorption.De foardielen fan titanium sublimaasje pompen binne ienfâldige konstruksje, lege kosten, maklik ûnderhâld, gjin strieling en gjin trilling lûd.
Titanium sublimaasjepompen besteane meastentiids út 3 titaniumfilaminten (om ôfbaarnen foar te kommen) en wurde brûkt yn kombinaasje mei molekulêre of ionpompen om poerbêste wetterstofferwidering te leverjen.Se binne de wichtichste fakuümpompen yn it 10-9-10-11 mbar-berik en wurde yn 'e measte ultra-hege fakuümkeamers ynrjochte wêr't hege fakuümnivo's nedich binne.
It neidiel fan titanium sublimaasje pompen is de needsaak foar reguliere sputtering fan titanium, it fakuüm fermindert troch likernôch 1-2 oarders fan grutte tidens sputtering (binnen in pear minuten), dêrom fereaskje bepaalde keamers mei spesifike behoeften it brûken fan NEG.ek, foar titanium gefoelige samples / apparaten, soarch moat wurde nommen om foar te kommen dat de lokaasje fan it titanium sublimation pump.
V. Kryogenic pompen
Kryogene pompen fertrouwe benammen op lege temperatuer fysike adsorpsje om fakuüm te krijen, mei de foardielen fan hege pompsnelheid, gjin fersmoarging en hege ultime fakuüm.De wichtichste faktoaren dy't de pompsnelheid fan kryogene pompen beynfloedzje binne temperatuer en it oerflak fan 'e pomp.Yn grutte molekulêre beam epitaksy-systemen wurde kryogenyske pompen in protte brûkt fanwegen de hege ultime fakuümeasken.
De neidielen fan kryogene pompen binne it hege konsumpsje fan floeibere stikstof en hege bedriuwskosten.Systemen mei recirkulearjende chillers kinne brûkt wurde sûnder floeibere stikstof te konsumearjen, mar dit bringt de oerienkommende problemen mei enerzjyferbrûk, trilling en lûd.Om dizze reden wurde kryogene pompen minder faak brûkt yn konvinsjonele laboratoariumapparatuer.
VI.Aspiratorpompen (NEG)
Suction agent pomp is ien fan de mear brûkte fakuüm pompen yn de ôfrûne jierren, syn foardiel is it folsleine gebrûk fan gemyske adsorption, gjin damp plating en elektromagnetyske fersmoarging, faak brûkt yn gearhing mei molekulêre pompen te nimmen it plak fan titanium sublimation pompen en sputtering ion pompen, it neidiel is de hege kosten en beheind oantal regenerations, meastal brûkt yn systemen mei hege easken foar fakuüm stabiliteit of tige gefoelich foar elektromagnetyske fjilden.
Dêrnjonken, as de aspiratorpomp gjin ekstra ferbining foar stroomfoarsjenning fereasket bûten de earste aktivearring, wurdt it ek faak brûkt yn grutte systemen as in helppomp om de pompsnelheid te ferheegjen en it fakuümnivo te ferbetterjen, wat it systeem effektyf kin ferienfâldigje.
Ofbylding: Wurkdrukken foar ferskate soarten pompen.De brune pylken litte it maksimale tastiene wurkdrukberik sjen en de fette griene dielen litte it mienskiplike wurkdrukberik sjen.
Post tiid: Nov-18-2022