I. Caidéil mheicniúla
Is é príomhfheidhm an chaidéil mheicniúil ná an fholús réamhchéime riachtanach a sholáthar chun an caidéal turbomolecular a thosú.I measc na gcaidéil mheicniúla a úsáidtear go coitianta tá caidéil thirim vortex, caidéil scairt agus caidéil mheicniúla séalaithe le ola.
Tá luas caidéalaithe íseal ag caidéil scairt agus úsáidtear iad go ginearálta le haghaidh tacair caidéil mhóilíneacha beaga mar gheall ar an méid beag.
Is é an caidéal meicniúil ola-séalaithe an caidéal meicniúil is mó a úsáidtear san am atá caite, arb é is sainairíonna é luas caidéalaithe mór agus dea-fholús deiridh, is é an míbhuntáiste go bhfuil filleadh ola i gcoitinne, i bhfolús ultra-ard go ginearálta ní mór a bheith feistithe le comhla solenoid. (chun teip cumhachta thaisme de bharr tuairisceán ola a chosc) agus criathar móilíneach (éifeacht asaithe).
Le blianta beaga anuas, is é an buntáiste a bhaint as an scrollbharra tirim níos mó pump.The simplí a úsáid agus ní filleadh ar ola, ach tá an luas pumpála agus bhfolús deiridh beagán níos measa ná sin de ola-séalaithe caidéil meicniúla.
Is príomhfhoinse torainn agus creathadh sa tsaotharlann iad caidéil mheicniúla agus is fearr caidéal íseal torainn a roghnú agus é a chur idir trealamh nuair is féidir, ach is minic nach bhfuil an dara ceann éasca a bhaint amach mar gheall ar shrianta achair oibre.
II.Caidéil Turbomolecular
Braitheann caidéil mhóilíneacha turbo ar eite rothlach ardluais (de ghnáth thart ar 1000 réabhlóid in aghaidh an nóiméid) chun sreabhadh treo gáis a bhaint amach.Tugtar an cóimheas comhbhrú ar an gcóimheas idir brú sceite na caidéil agus an brú inlet.Baineann an cóimheas comhbhrúite le líon na gcéimeanna den chaidéal, an luas agus an cineál gáis, tá meáchan móilíneach ginearálta an chomhbhrú gáis sách ard.Meastar go ginearálta gurb é 10-9-10-10 mbar an fholús deiridh de chaidéal turbomolecular, agus le blianta beaga anuas, le dul chun cinn leanúnach na teicneolaíochta caidéil mhóilíneacha, tá an fholús deiridh feabhsaithe tuilleadh.
Toisc nach ndéantar na buntáistí a bhaineann le caidéal turbomolecular a bhaint amach ach amháin i stát sreabhadh móilíneach (stát sreafa ina bhfuil meán-raon saor in aisce na móilíní gáis i bhfad níos mó ná an t-uasmhéid trasghearrtha duct), caidéal folúis réamhchéime. le brú oibriúcháin de 1 go 10-2 Pa ag teastáil.Mar gheall ar luas ard rothlaithe na n-éalaithe, is féidir leis an gcaidéal móilíneach a mhilleadh nó a mhilleadh le rudaí eachtracha, Giodam, tionchar, athshondas nó turraing gáis.Do thosaitheoirí, is é an chúis damáiste is coitianta ná turraing gháis de bharr earráidí oibriúcháin.Is féidir damáiste do chaidéal móilíneach a dhéanamh freisin de bharr athshondas a spreag caidéal meicniúil.Tá an coinníoll seo sách annamh ach ní mór aird ar leith a thabhairt air toisc go bhfuil sé níos insidious agus ní aimsítear go héasca é.
III.Caidéal ian sputtering
Is é prionsabal oibre an chaidéil ian sputtering ná na hiain a ghineann an urscaoileadh Penning a úsáid chun pláta tíotáiniam an chatóid a bhuamáil chun scannán tíotáiniam úr a fhoirmiú, agus mar sin na gáis ghníomhacha a adsorradh agus tionchar áirithe adhlactha a bheith aige ar na gáis támha freisin. .Tá na buntáistí a bhaineann le caidéil ian sputtering maith i bhfolús deiridh, gan aon chreathadh, gan torann, gan aon truailliú, próiseas aibí agus cobhsaí, gan aon chothabháil agus ag an luas caidéalaithe céanna (ach amháin i gcás gáis támh), tá a gcostas i bhfad níos ísle ná caidéil mhóilíneacha, rud a fhágann go n-úsáidtear iad go forleathan i gcórais folúis ultra-ard.De ghnáth is é an gnáth-thimthriall oibriúcháin caidéil ian sputtering níos mó ná 10 mbliana.
De ghnáth ní mór do chaidéil ian a bheith os cionn 10-7 mbar le go n-oibreoidh siad i gceart (laghdaítear go mór a saolré trí oibriú i bhfolús níos measa) agus mar sin teastaíonn caidéal móilíneach chun folús maith réamhchéime a sholáthar.Is gnáthchleachtas é caidéal ian + TSP a úsáid sa phríomhsheomra agus caidéal beag móilíneach atá leagtha síos sa seomra inlet.Nuair a bhíonn tú ag bácáil, oscail an comhla isteach ceangailte agus lig don fhoireann bheag caidéil mhóilíneach an fholús tosaigh a sholáthar.
Ba chóir a thabhairt faoi deara gur lú an cumas atá ag caidéil ian gás támh a asú agus go bhfuil difríocht idir a n-uasluas caidéalaithe agus luas na gcaidéal móilíneach, ionas go mbeidh gá le sraith caidéil mhóilíneacha le haghaidh toirteanna móra sceite nó líon mór gáis támha.Ina theannta sin, gineann an caidéal ian réimse leictreamaighnéadach le linn oibriú, rud a d'fhéadfadh cur isteach ar chórais go háirithe íogair.
IV.Caidéil sublimation tíotáiniam
Oibríonn caidéil sublimation tíotáiniam trí bheith ag brath ar ghalú tíotáiniam miotalach chun scannán tíotáiniam a fhoirmiú ar bhallaí an tseomra le haghaidh ceimiceacha.Is iad na buntáistí a bhaineann le caidéil sublimation tíotáiniam ná tógáil simplí, ísealchostas, cothabháil éasca, gan aon radaíocht agus gan torann creathadh.
De ghnáth bíonn 3 fhiliméad tíotáiniam i gcaidéil sublimation tíotáiniam (chun dó a chosc) agus úsáidtear iad i gcomhcheangal le caidéil mhóilíneacha nó ian chun baint hidrigine den scoth a sholáthar.Is iad na caidéal folúis is tábhachtaí sa raon 10-9-10-11 mbar agus tá siad feistithe sa chuid is mó de na seomraí folúis ultra-ard ina bhfuil gá le leibhéil arda folúis.
Is é an míbhuntáiste a bhaineann le caidéil sublimation tíotáiniam ná an gá atá le sputtering rialta tíotáiniam, meathlaíonn an bhfolús thart ar 1-2 ordú méide le linn sputtering (laistigh de chúpla nóiméad), mar sin éilíonn seomraí áirithe le riachtanais shonracha úsáid a bhaint as NEG.freisin, maidir le samplaí/feistí íogaire tíotáiniam, ba cheart cúram a ghlacadh chun suíomh an chaidéil sublimation tíotáiniam a sheachaint.
V. Caidéil chrióigineacha
Braitheann caidéil chrióigineacha go príomha ar asaithe fisiceach teocht íseal chun folús a fháil, agus tá na buntáistí a bhaineann le luas caidéalaithe ard, gan aon truailliú agus folús ard deiridh.Is iad na príomhfhachtóirí a dhéanann difear do luas caidéalaithe na gcaidéal crióigineach ná teocht agus achar dromchla na caidéil.I gcórais epitaxy bhíoma móilíneach mór, úsáidtear caidéil chrióigineacha go forleathan mar gheall ar na riachtanais fholús ard deiridh.
Is iad na míbhuntáistí a bhaineann le caidéil chrióigineacha ná tomhaltas ard nítrigine leachtach agus costais oibriúcháin ard.Is féidir córais le fuaraitheoirí athfhillte a úsáid gan nítrigin leachtach a ídiú, ach cuireann sé seo leis na fadhbanna comhfhreagracha a bhaineann le tomhaltas fuinnimh, creathadh agus torann.Ar an gcúis seo, is lú a úsáidtear caidéil chrióigineacha i dtrealamh saotharlainne traidisiúnta.
VI.Caidéil aspirator (NEG)
Tá caidéal gníomhaire súchán ar cheann de na caidéal folúis is mó a úsáidtear le blianta beaga anuas, is é an buntáiste atá aige ná úsáid iomlán a bhaint as asaithe ceimiceach, gan aon plating gaile agus truailliú leictreamaighnéadach, a úsáidtear go minic i gcomhar le caidéil mhóilíneacha chun ionad caidéil sublimation tíotáiniam agus sputtering ian a ghlacadh. caidéil, is é an míbhuntáiste an costas ard agus líon teoranta na n-athghiniúint, a úsáidtear de ghnáth i gcórais le ceanglais ard maidir le cobhsaíocht bhfolús nó an-íogair do réimsí leictreamaighnéadacha.
Ina theannta sin, toisc nach n-éilíonn an caidéal aspirator aon nasc soláthair cumhachta breise níos faide ná an gníomhachtú tosaigh, is minic a úsáidtear é i gcórais mhóra mar chaidéal cúnta chun an luas caidéalaithe a mhéadú agus an leibhéal folúis a fheabhsú, rud is féidir leis an gcóras a shimpliú go héifeachtach.
Fíor: Brúnna oibre do chineálacha éagsúla caidéil.Léiríonn na saigheada donn an raon brú oibriúcháin uasta incheadaithe agus léiríonn na codanna glasa trom an raon brú oibre coitianta.
Am postála: Samhain-18-2022