Rialaitheoir Aifreann Sreafa Gáis Teirmeach (MFC)
Tá anrmalgaímasalfísealmeter(MFM) isakindofaccuratemeasúrementofgasflow,the measúredvalúirenotcontroithelledbyfluctuationsintempeiriútúiréorpressure, ní gátheicompensationofteimpratúirandpressure.
Mionsamhail | SQC-100 |
Raonta Sreafa (N2) | 0~5,10, 20, 30, 50, 100, 200, 500SCCM |
0~ 1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
Cruinneas | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Cineál Tiomántán Comhla | Gnáth Dúnta |
Líneacht | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Atrialltacht | ±0.2%FS |
Am freagartha | ≤1 soicind |
Comhartha ionchuir/aschuir | 0~5V |
Comhpháirteach Leictreach | bioráin DB15 (snáthaid) |
Oibríocht Tem. | 5~45 ℃ |
Difreálach Réamh. | 0.05~0.5MPa (MFC); 0.03~3.0MPa (MFM) |
Ráta Sceite | 1×10-8SCCS (Sé) |
uas.Brú | 3MPa |
Ábhar Meánach | 316L SS agus ábhar ina saothraítear rónta |
Ábhar Séalaithe | Viton, rubar silicone, NBR, Teflon, Séala miotail. |
Méid Comhpháirteach | VCR 1/4”;Swagelok 1/8” 、1/4”;φ3, φ6mm |
Soláthar leictreachas | +15V,50mA;-15V,200mA |
Mionsamhail | SQC-200 |
Raonta Sreafa (N2) | MFC: 0~20, 30, 50, 100, 150, 200SLM |
MFM: 0~20,30, 50, 100, 150, 200, 250, 300SLM | |
Cruinneas | ±2%FS |
Cineál Tiomántán Comhla | Gnáth Dúnta |
Líneacht | ±2%FS |
Atrialltacht | ±0.2%FS |
Am freagartha | ≤5 soicind |
Comhartha ionchuir/aschuir | 1~5V;4~20mA |
Comhpháirteach Leictreach | bioráin DB15 (snáthaid) |
Oibríocht Tem. | 5~45 ℃ |
Difreálach Réamh. | 0.1~0.3MPa(MFC);0.05~3.0MPa (MFM) |
Ráta Sceite | 1×10-8SCCS (Sé) |
uas.Brú | 3MPa |
Ábhar Meánach | 316L SS agus ábhar ina saothraítear rónta |
Ábhar Séalaithe | Viton, rubar silicone, NBR, ERP, Teflon |
Méid Comhpháirteach | Swagelok 3/8” 、1/2”; φ8, φ10, φ12mm |
Soláthar leictreachas | 24V, 0.5A |
Scríobh do theachtaireacht anseo agus seol chugainn é