Os controladores de fluxo de masa (MFC) proporcionan medición e control precisos do fluxo de masa de gases.
I. Cal é a diferenza entre un MFC e un MFM?
O medidor de caudal másico (MFM) é un tipo de instrumento que mide con precisión o fluxo de gas, e o seu valor de medición non é impreciso debido ás flutuacións de temperatura ou presión, e non require compensación de temperatura e presión. O controlador de fluxo de masa (MFC) non só ten a función dun medidor de fluxo másico, pero o máis importante é que pode controlar automaticamente o fluxo de gas, é dicir, o usuario pode axustar o fluxo segundo as súas necesidades, e o MFC mantén automaticamente o fluxo constante no valor establecido, aínda que a presión do sistema As flutuacións ou os cambios na temperatura ambiente non provocarán que se desvíe do valor establecido.O controlador de fluxo de masa é un dispositivo de fluxo constante, que é un dispositivo de fluxo de gas que se pode configurar manualmente ou controlarse automaticamente mediante a conexión cun ordenador.Os medidores de caudal másico só miden pero non controlan.O controlador de fluxo de masa ten unha válvula de control, que pode medir e controlar o fluxo de gas.
II.Cal é a estrutura eprincipio de funcionamento?
1, Estrutura
2, Principio de funcionamento
Cando o fluxo entra no tubo de admisión, a maior parte do fluxo pasa pola canle de derivación, unha pequena parte do cal entra no tubo capilar dentro do sensor.Debido á estrutura especial de
a canle de derivación, as dúas partes do fluxo de gas poden ser directamente proporcionais.O sensor prequenta e quéntase e a temperatura no interior é superior á temperatura do aire de entrada.Neste momento, o fluxo de masa da pequena parte do gas mídese polo principio de transferencia de calor polo tubo capilar e polo principio da calorimetría da diferenza de temperatura.O fluxo de gas medido deste xeito pode ignorar os efectos da temperatura e da presión.O sinal de medición de fluxo detectado polo sensor introdúcese na placa de circuíto e amplificase e sae, e complétase a función do MFM.Engadindo a función de control automático de bucle pechado PID á placa de circuíto, compare o sinal de medición de fluxo medido polo sensor co sinal definido dado polo usuario.En base a isto, a válvula de control contrólase para que o sinal de detección de fluxo sexa igual ao sinal definido, realizando así a función do MFC.
III.Aplicacións e características.
MFC, que é amplamente aplicado en campos como: fabricación de semicondutores e IC, ciencia de materiais especiais, industria química, industria petrolífera, industria farmacéutica, protección ambiental e investigación de sistemas de baleiro, etc. As aplicacións típicas inclúen: equipos de procesos microelectrónicos como a difusión. , oxidación, epitaxia, CVD, gravado con plasma, pulverización catódica, implantación iónica;equipos de deposición ao baleiro, fusión de fibras ópticas, equipos de micro-reacción, sistema de mestura e combinación de gases, sistema de control de fluxo capilar, cromatógrafo de gases e outros instrumentos analíticos.
MFC trae a alta precisión, excelente repetibilidade, resposta rápida, arranque suave, mellor fiabilidade, gran variedade de intervalos de presión de operación (bo funcionamento en situacións de alta presión e baleiro), operación sinxela e cómoda, instalación flexible, posible conexión con PC para realizar un proceso automático. control ao sistema dos usuarios.
IV.Como determinar e tratar con failures?
A nosa empresa ten un enxeñeiro posvenda profesional que pode axudarche a resolver problemas de instalación e uso.
Hora de publicación: 29-Xul-2022