Coñecementos - Válvulas de baleiro

I. Introdución da válvula
A chave de baleiro é un compoñente do sistema de baleiro que se usa para cambiar a dirección do fluxo de aire, axustar o tamaño do fluxo de gas, cortar ou conectar a canalización no sistema de baleiro.As partes de peche da chave de baleiro están seladas mediante selado de goma ou selo metálico.

II.Aplicacións comúns de válvulas de baleiro.
Válvulas de baleiro
Úsase en equipos de sistemas de baleiro alto ou ultra alto cando o baleiro debe manterse nun sistema de manipulación de baleiro pechado.As válvulas de baleiro úsanse para controlar o fluxo de aire á cámara de baleiro, illar, ventilar, proporcionar redución de presión ou controlar a condución.As válvulas de compuerta, as válvulas en liña e as válvulas de ángulo son os tipos máis comúns de válvulas de baleiro utilizadas para aplicacións de baleiro alto ou ultra alto.Os tipos de válvulas adicionais inclúen válvulas de bolboreta, válvulas de transferencia, válvulas de bola, válvulas de péndulo, válvulas totalmente metálicas, válvulas de baleiro, válvulas de ángulo de aluminio, válvulas de baleiro revestidas de teflón e válvulas de paso directo.

Válvulas de bolboreta
son válvulas de apertura rápida formadas por discos ou paletas metálicas que pivotan en ángulo recto coa dirección do fluxo na canalización e cando se xiran sobre o seu eixe, a válvula sela o asento no corpo da válvula.

Válvulas de transferencia (válvulas de compuerta rectangulares)
Válvulas de separación adecuadas para o seu uso entre cámaras de baleiro e cámaras de transferencia bloqueadas por carga, e entre cámaras de transferencia e cámaras de procesamento en equipos de fabricación de semicondutores.

Válvulas de bola de baleiro
son válvulas de fluxo rectas de cuarto de volta cun conxunto de peche circular con asentos circulares coincidentes para unha tensión de selado uniforme.

Válvulas de péndulo
é unha válvula de aceleración grande situada entre a cámara de baleiro do proceso e a entrada da bomba turbomolecular.Estas válvulas de péndulo de baleiro adoitan deseñarse como válvulas de compuerta ou de péndulo para aplicacións que inclúen sistemas de fabricación industrial OLED, FPD e PV.

Válvulas totalmente metálicas
Deseñado para o seu uso en ambientes de baleiro ultra alto onde as altas temperaturas non permiten o uso de elastómeros e metais de xuntas crioxénicas.As válvulas metálicas cocibles proporcionan un selado fiable a altas temperaturas desde a presión atmosférica ata os 10-11 mbar.

Válvulas de baleiro
Operar de forma fiable en sistemas de produción de semicondutores e en aplicacións con contaminación química e de partículas.Pódense usar en ambientes de baleiro duro, baleiro alto ou baleiro ultra alto.

Válvulas angulares de aluminio
A entrada e a saída destas válvulas están en ángulo recto entre si.Estas válvulas angulares están feitas de aluminio A6061-T6 e utilízanse na fabricación de semicondutores e instrumentación, I+D e sistemas industriais de baleiro para aplicacións de baleiro áspero ou alto.

A válvula de baleiro recuberta de teflón é un dispositivo de compoñente de baleiro de aceiro inoxidable totalmente deseñado cun revestimento duradeiro e altamente resistente aos produtos químicos.

III.Características das válvulas de baleiro.
A presión está por debaixo da presión atmosférica e a caída de presión a través da tapa da válvula non pode exceder 1 kg de forza/cm.A temperatura de traballo do medio depende do proceso do dispositivo utilizado.A temperatura xeralmente non supera o rango de -70 ~ 150 ° C.O requisito máis básico para tales válvulas é garantir un alto grao de estanquidade da conexión e a densidade da estrutura e do material da xunta.

Segundo as válvulas de baleiro de media presión pódense dividir en catro grupos.
1) Válvulas de baixo baleiro: presión media p=760~1 mmHg.
2）Válvulas de baleiro medio: p=1×10-3 mmHg.
3）Válvulas de alto baleiro: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4) Válvula de baleiro ultra-alto: p≤1×10-8 mmHg.

Como válvula de circuíto pechado cun diámetro de paso inferior a 250 mm, o vástago moi utilizado é unha válvula de corte de fol de baleiro con movemento lineal.As válvulas de compuerta, con todo, son máis restrinxidas, pero isto é principalmente para grandes diámetros.Tamén están dispoñibles válvulas de tapón esférico (válvulas de bola), válvulas de émbolo e válvulas de bolboreta.Non se promocionaron as válvulas de tapón para válvulas de baleiro porque requiren lubricación con aceite, polo que é posible que o vapor de aceite entre no sistema de baleiro, cousa que non está permitida.As válvulas de baleiro pódense controlar manualmente e remotamente no campo, así como eléctrica, electromagnética (válvulas solenoides), pneumática e hidráulica.