Controlador de fluxo de masa de gas térmico (MFC)

Descrición curta:

O controlador de fluxo de masa de gas térmico (MFC) non só ten a función de medidor de fluxo de masa, senón que tamén é máis importante que pode controlar o fluxo de gas automaticamente, o que significa que o usuario pode configurar o fluxo segundo o solicite.MFC fixará automaticamente o fluxo no valor definido.O valor establecido non se desviará aínda que as flutuacións de presión do sistema ou a temperatura circundante cambie.En resumo, o controlador de fluxo de masa é un dispositivo estable de fluxo, é un dispositivo estable de fluxo de gas que se pode programar manualmente ou controlar automaticamente un ordenador.

Envíanos un correo electrónico

Detalle do produto

Etiquetas de produtos

Ormalgasmcufbaixometer(MFM)isakindofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuationsintemperatureorpressure, non necesitothecompensationoftemperatureandpressure.

Modelo	SQC-100
Rangos de caudal (N2)	0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM
Rangos de caudal (N2)	0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
Precisión	±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM)
Tipo de accionamento da válvula	Normal Pechado
Linealidade	±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM)
Repetibilidade	± 0,2% FS
Tempo de resposta	≤1 seg
Sinal de entrada/saída	0~5V
Articulación eléctrica	DB15 pin (agulla)
Operación Tém.	5 ~ 45 ℃
Diferencial Pre.	0,05~0,5MPa (MFC)； 0,03~3,0MPa (MFM)
Taxa de fuga	1×10-8SCCS （El）
Máx.Presión	3MPa
Material medio	316L SS e material de selado
Material de selado	Viton, caucho de silicona, NBR, teflón, selo metálico.
Tamaño da xunta	VCR 1/4”；Swagelok 1/8” 、1/4”；φ3、 φ6mm
Fonte de alimentación	+15 V, 50 mA; - 15 V, 200 mA

Modelo	SQC-200
Rangos de caudal (N2)	MFC: 0～20，30，50，100，150，200SLM
Rangos de caudal (N2)	MFM: 0～20，30，50，100，150，200，250，300SLM
Precisión	± 2% FS
Tipo de accionamento da válvula	Normal Pechado
Linealidade	± 2% FS
Repetibilidade	± 0,2% FS
Tempo de resposta	≤5 seg
Sinal de entrada/saída	1~5V;4~20mA
Articulación eléctrica	DB15 pin (agulla)
Operación Tém.	5 ~ 45 ℃
Diferencial Pre.	0,1~0,3MPa (MFC)； 0,05~3,0MPa (MFM)
Taxa de fuga	1×10-8SCCS （El）
Máx.Presión	3MPa
Material medio	316L SS e material de selado
Material de selado	Viton, caucho de silicona, NBR, ERP, teflón
Tamaño da xunta	Swagelok 3/8" 、1/2"； φ8、φ10、φ12mm
Fonte de alimentación	24 V, 0,5 A