માસ ફ્લો કંટ્રોલર્સ (MFC) વાયુઓના સામૂહિક પ્રવાહનું ચોક્કસ માપન અને નિયંત્રણ પ્રદાન કરે છે.
I. MFC અને MFM વચ્ચે શું તફાવત છે?
માસ ફ્લો મીટર (MFM) એ એક પ્રકારનું સાધન છે જે ગેસના પ્રવાહને ચોક્કસ રીતે માપે છે, અને તેનું માપન મૂલ્ય તાપમાન અથવા દબાણમાં વધઘટને કારણે અચોક્કસ નથી, અને તેને તાપમાન અને દબાણ વળતરની જરૂર નથી. માસ ફ્લો કંટ્રોલર (MFC) એટલું જ નહીં. સામૂહિક પ્રવાહ મીટરનું કાર્ય ધરાવે છે, પરંતુ વધુ અગત્યનું, તે ગેસના પ્રવાહને આપમેળે નિયંત્રિત કરી શકે છે, એટલે કે, વપરાશકર્તા તેમની જરૂરિયાતો અનુસાર પ્રવાહને સેટ કરી શકે છે, અને MFC આપોઆપ પ્રવાહને સેટ મૂલ્ય પર સ્થિર રાખે છે, ભલે સિસ્ટમ દબાણની વધઘટ અથવા આસપાસના તાપમાનમાં ફેરફાર તેને સેટ મૂલ્યમાંથી વિચલિત થવાનું કારણ બનશે નહીં.સમૂહ પ્રવાહ નિયંત્રક એક સ્થિર પ્રવાહ ઉપકરણ છે, જે ગેસ સ્થિર પ્રવાહ ઉપકરણ છે જે કમ્પ્યુટર સાથે જોડાણ દ્વારા મેન્યુઅલી સેટ અથવા આપમેળે નિયંત્રિત થઈ શકે છે.માસ ફ્લો મીટર માત્ર માપે છે પરંતુ નિયંત્રણ કરતા નથી.સામૂહિક પ્રવાહ નિયંત્રક પાસે નિયંત્રણ વાલ્વ છે, જે ગેસના પ્રવાહને માપવા અને નિયંત્રિત કરી શકે છે.
II.બંધારણ શું છે અનેઓપરેશન સિદ્ધાંત?
1, માળખું
2, ઓપરેશન સિદ્ધાંત
જ્યારે પ્રવાહ ઇનટેક પાઇપમાં પ્રવેશે છે, ત્યારે મોટાભાગનો પ્રવાહ ડાયવર્ટર ચેનલમાંથી પસાર થાય છે, જેનો એક નાનો ભાગ સેન્સરની અંદર કેશિલરી ટ્યુબમાં પ્રવેશ કરે છે.ની વિશેષ રચનાને કારણે
ડાયવર્ટર ચેનલ, ગેસ પ્રવાહના બે ભાગો સીધા પ્રમાણસર હોઈ શકે છે.સેન્સર પહેલાથી ગરમ અને ગરમ થાય છે, અને અંદરનું તાપમાન ઇનલેટ એરના તાપમાન કરતા વધારે છે.આ સમયે, ગેસના નાના ભાગના સામૂહિક પ્રવાહને કેશિલરી ટ્યુબ દ્વારા હીટ ટ્રાન્સફરના સિદ્ધાંત અને તાપમાન તફાવત કેલરીમેટ્રીના સિદ્ધાંત દ્વારા માપવામાં આવે છે.આ રીતે માપવામાં આવતા ગેસનો પ્રવાહ તાપમાન અને દબાણની અસરોને અવગણી શકે છે.સેન્સર દ્વારા શોધાયેલ ફ્લો મેઝરિંગ સિગ્નલ સર્કિટ બોર્ડમાં ઇનપુટ અને એમ્પ્લીફાઇડ અને આઉટપુટ છે, અને MFM નું કાર્ય પૂર્ણ થાય છે.સર્કિટ બોર્ડમાં PID ક્લોઝ્ડ લૂપ ઓટોમેટિક કંટ્રોલ ફંક્શન ઉમેરવાથી, સેન્સર દ્વારા માપવામાં આવતા ફ્લો મેઝરમેન્ટ સિગ્નલની યુઝર દ્વારા આપવામાં આવેલા સેટ સિગ્નલ સાથે સરખામણી કરો.તેના આધારે, કંટ્રોલ વાલ્વને નિયંત્રિત કરવામાં આવે છે જેથી ફ્લો ડિટેક્શન સિગ્નલ સેટ સિગ્નલની બરાબર હોય, આમ MFC નું કાર્ય સમજાય છે.
III.એપ્લિકેશન અને સુવિધાઓ.
MFC，જે ક્ષેત્રોમાં વ્યાપકપણે લાગુ થાય છે જેમ કે: સેમિકન્ડક્ટર અને IC ફેબ્રિકેશન, વિશેષ સામગ્રી વિજ્ઞાન, રાસાયણિક ઉદ્યોગ, પેટ્રોલિક ઉદ્યોગ, ફાર્માસ્યુટિકલ ઉદ્યોગ, પર્યાવરણીય સંરક્ષણ અને વેક્યૂમ સિસ્ટમ સંશોધન, વગેરે. લાક્ષણિક એપ્લિકેશન્સમાં શામેલ છે: માઇક્રોઇલેક્ટ્રોનિક પ્રક્રિયા સાધનો જેમ કે પ્રસરણ , ઓક્સિડેશન, એપિટાક્સી, સીવીડી, પ્લાઝ્મા એચિંગ, સ્પુટરિંગ, આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન;વેક્યુમ ડિપોઝિશન સાધનો, ઓપ્ટિકલ ફાઇબર મેલ્ટિંગ, માઇક્રો-રિએક્શન સાધનો, મિશ્રણ અને મેચિંગ ગેસ સિસ્ટમ, કેશિલરી ફ્લો કંટ્રોલ સિસ્ટમ, ગેસ ક્રોમેટોગ્રાફ અને અન્ય વિશ્લેષણાત્મક સાધનો.
MFC ઉચ્ચ સચોટતા, ઉત્તમ પુનરાવર્તિતતા, ઝડપી પ્રતિભાવ, સોફ્ટ-સ્ટાર્ટ, વધુ સારી વિશ્વસનીયતા, ઓપરેશન પ્રેશર (ઉચ્ચ દબાણ અને શૂન્યાવકાશ પરિસ્થિતિઓમાં સારી કામગીરી), સરળ સુવિધાજનક કામગીરી, લવચીક સ્થાપન, પીસી સાથે શક્ય કનેક્ટિંગ ઓટોમેટિક કરવા માટે લાવે છે. વપરાશકર્તાઓની સિસ્ટમ પર નિયંત્રણ.
IV.કેવી રીતે નક્કી કરવું અને એફ સાથે વ્યવહાર કરવોબિમારીઓ?
અમારી કંપની પાસે વ્યાવસાયિક વેચાણ પછીના એન્જિનિયર છે, જે તમને ઇન્સ્ટોલેશન અને ઉપયોગમાં સમસ્યાઓ હલ કરવામાં મદદ કરી શકે છે.
પોસ્ટ સમય: જુલાઈ-29-2022