જ્ઞાન - વેક્યુમ વાલ્વ

I. વાલ્વનો પરિચય
વેક્યૂમ વાલ્વ એ વેક્યૂમ સિસ્ટમનો એક ઘટક છે જેનો ઉપયોગ એરફ્લોની દિશા બદલવા, ગેસ ફ્લોના કદને સમાયોજિત કરવા, શૂન્યાવકાશ સિસ્ટમમાં પાઇપલાઇનને કાપી અથવા કનેક્ટ કરવા માટે થાય છે.વેક્યુમ વાલ્વના બંધ ભાગોને રબર સીલ અથવા મેટલ સીલ દ્વારા સીલ કરવામાં આવે છે.

II.સામાન્ય વેક્યૂમ વાલ્વ એપ્લિકેશન્સ.
વેક્યુમ વાલ્વ
જ્યારે બંધ વેક્યૂમ હેન્ડલિંગ સિસ્ટમમાં વેક્યૂમ જાળવવું આવશ્યક હોય ત્યારે ઉચ્ચ અથવા અલ્ટ્રા-હાઈ વેક્યુમ સિસ્ટમ સાધનોમાં વપરાય છે.વેક્યુમ વાલ્વનો ઉપયોગ વેક્યૂમ ચેમ્બરમાં હવાના પ્રવાહને નિયંત્રિત કરવા, અલગ કરવા, વેન્ટ આપવા, દબાણ ઘટાડવા અથવા વહનને નિયંત્રિત કરવા માટે થાય છે.ગેટ વાલ્વ, ઇનલાઇન વાલ્વ અને એન્ગલ વાલ્વ એ સૌથી સામાન્ય પ્રકારના વેક્યૂમ વાલ્વ છે જેનો ઉપયોગ હાઈ અથવા અલ્ટ્રા-હાઈ વેક્યુમ એપ્લિકેશન માટે થાય છે.વધારાના વાલ્વ પ્રકારોમાં બટરફ્લાય વાલ્વ, ટ્રાન્સફર વાલ્વ, બોલ વાલ્વ, લોલક વાલ્વ, ઓલ-મેટલ વાલ્વ, વેક્યુમ વાલ્વ, એલ્યુમિનિયમ એંગલ વાલ્વ, ટેફલોન-કોટેડ વેક્યુમ વાલ્વ અને સ્ટ્રેટ-થ્રુ વાલ્વનો સમાવેશ થાય છે.

બટરફ્લાય વાલ્વ
મેટલ ડિસ્ક અથવા વેનનો સમાવેશ થાય છે તે ઝડપી ઓપનિંગ વાલ્વ છે જે પાઇપલાઇનમાં પ્રવાહની દિશામાં જમણા ખૂણા પર પીવટ કરે છે અને જ્યારે તેમની ધરી પર ફેરવવામાં આવે છે, ત્યારે વાલ્વ વાલ્વ બોડીમાં સીટને સીલ કરે છે.

ટ્રાન્સફર વાલ્વ (લંબચોરસ ગેટ વાલ્વ)
લોડ-લૉક કરેલ વેક્યૂમ ચેમ્બર અને ટ્રાન્સફર ચેમ્બર વચ્ચે અને સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગ સાધનોમાં ટ્રાન્સફર ચેમ્બર અને પ્રોસેસિંગ ચેમ્બર વચ્ચે ઉપયોગ માટે યોગ્ય સેપરેશન વાલ્વ.

વેક્યુમ બોલ વાલ્વ
ક્વાર્ટર ટર્ન સ્ટ્રેટ ફ્લો વાલ્વ છે જેમાં એક સરખા સીલિંગ સ્ટ્રેસ માટે ગોળાકાર સીટો સાથે ગોળાકાર બંધ એસેમ્બલી છે.

લોલક વાલ્વ
પ્રક્રિયા વેક્યૂમ ચેમ્બર અને ટર્બોમોલેક્યુલર પંપ ઇનલેટ વચ્ચે ફીટ થયેલો મોટો થ્રોટલ વાલ્વ છે.આ શૂન્યાવકાશ પેન્ડુલમ વાલ્વ સામાન્ય રીતે OLED, FPD અને PV ઔદ્યોગિક ઉત્પાદન પ્રણાલીઓ સહિતની એપ્લિકેશનો માટે ગેટ અથવા લોલક વાલ્વ તરીકે ડિઝાઇન કરવામાં આવે છે.

ઓલ-મેટલ વાલ્વ
અતિ-ઉચ્ચ શૂન્યાવકાશ વાતાવરણમાં ઉપયોગ માટે રચાયેલ છે જ્યાં ઉચ્ચ તાપમાન ઇલાસ્ટોમર્સ અને ક્રાયોજેનિક ગાસ્કેટ ધાતુઓનો ઉપયોગ કરવાની મંજૂરી આપતા નથી.બેક કરી શકાય તેવા ઓલ-મેટલ વાલ્વ વાતાવરણના દબાણથી 10-11 એમબારથી નીચે સુધી વિશ્વસનીય ઉચ્ચ તાપમાન સીલિંગ પ્રદાન કરે છે.

વેક્યુમ વાલ્વ
સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રણાલીઓમાં અને રાસાયણિક અને કણોના દૂષણ સાથેના કાર્યક્રમોમાં વિશ્વસનીય રીતે કાર્ય કરો.તેનો ઉપયોગ રફ વેક્યૂમ, હાઈ વેક્યૂમ અથવા અલ્ટ્રા હાઈ વેક્યૂમ વાતાવરણમાં થઈ શકે છે.

એલ્યુમિનિયમ એંગલ વાલ્વ
આ વાલ્વના ઇનલેટ અને આઉટલેટ એકબીજાના જમણા ખૂણા પર હોય છે.આ એન્ગલ વાલ્વ એલ્યુમિનિયમ A6061-T6 થી બનેલા છે અને તેનો ઉપયોગ સેમિકન્ડક્ટર અને ઇન્સ્ટ્રુમેન્ટેશન મેન્યુફેક્ચરિંગ, R&D અને ઔદ્યોગિક વેક્યૂમ સિસ્ટમમાં રફ થી હાઈ વેક્યુમ એપ્લિકેશન માટે થાય છે.

ટેફલોન કોટેડ વેક્યુમ વાલ્વ ટકાઉ અને અત્યંત રાસાયણિક પ્રતિરોધક કોટિંગ સાથે સંપૂર્ણ રીતે એન્જિનિયર્ડ સ્ટેનલેસ સ્ટીલ વેક્યુમ ઘટક ઉપકરણ છે.

III.વેક્યુમ વાલ્વની લાક્ષણિકતાઓ.
દબાણ વાતાવરણીય દબાણથી નીચે છે અને વાલ્વ ફ્લૅપમાં દબાણનો ઘટાડો 1 કિલો બળ/સે.મી.થી વધુ ન હોઈ શકે.માધ્યમનું કાર્યકારી તાપમાન વપરાયેલ ઉપકરણની પ્રક્રિયા પર આધારિત છે.તાપમાન સામાન્ય રીતે -70 ~ 150 ° સે ની રેન્જ કરતાં વધી જતું નથી.આવા વાલ્વ માટેની સૌથી મૂળભૂત આવશ્યકતા એ છે કે જોડાણની ઉચ્ચ ડિગ્રીની ચુસ્તતા અને બંધારણ અને ગાસ્કેટ સામગ્રીની ઘનતા.

માધ્યમ દબાણ અનુસાર વેક્યુમ વાલ્વને ચાર જૂથોમાં વિભાજિત કરી શકાય છે.
1) લો વેક્યુમ વાલ્વ: મધ્યમ દબાણ p=760~1 mmHg.
2）મધ્યમ વેક્યુમ વાલ્વ: p=1×10-3 mmHg.
3）ઉચ્ચ વેક્યુમ વાલ્વ: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4）અલ્ટ્રા-હાઈ વેક્યુમ વાલ્વ: p≤1×10-8 mmHg.

250 મીમી કરતા ઓછા પેસેજ વ્યાસ સાથે બંધ-સર્કિટ વાલ્વ તરીકે, વ્યાપકપણે ઉપયોગમાં લેવાતા સ્ટેમ એ રેખીય હલનચલન સાથે વેક્યૂમ બેલોઝ શટ-ઓફ વાલ્વ છે.ગેટ વાલ્વ, જો કે, વધુ પ્રતિબંધિત છે, પરંતુ આ મુખ્યત્વે મોટા વ્યાસ માટે છે.ગોળાકાર પ્લગ વાલ્વ (બોલ વાલ્વ), પ્લેન્જર વાલ્વ અને બટરફ્લાય વાલ્વ પણ ઉપલબ્ધ છે.શૂન્યાવકાશ વાલ્વ માટે પ્લગ વાલ્વને પ્રોત્સાહન આપવામાં આવ્યું નથી કારણ કે તેમને તેલના લુબ્રિકેશનની જરૂર હોય છે, જેનાથી તેલની વરાળ શૂન્યાવકાશ સિસ્ટમમાં પ્રવેશવાનું શક્ય બનાવે છે, જેને મંજૂરી નથી.શૂન્યાવકાશ વાલ્વને ક્ષેત્રમાં મેન્યુઅલી અને રિમોટલી નિયંત્રિત કરી શકાય છે, તેમજ ઇલેક્ટ્રિકલી, ઇલેક્ટ્રોમેગ્નેટિકલી (સોલેનોઇડ વાલ્વ), ન્યુમેટિકલી અને હાઇડ્રોલિક રીતે.