द्रव्यमान प्रवाह नियंत्रक (एमएफसी) गैसों के द्रव्यमान प्रवाह का सटीक माप और नियंत्रण प्रदान करते हैं।
I. एमएफसी और एमएफएम के बीच क्या अंतर है?
द्रव्यमान प्रवाह मीटर (एमएफएम) एक प्रकार का उपकरण है जो गैस प्रवाह को सटीक रूप से मापता है, और इसका माप मूल्य तापमान या दबाव में उतार-चढ़ाव के कारण गलत नहीं होता है, और तापमान और दबाव मुआवजे की आवश्यकता नहीं होती है। द्रव्यमान प्रवाह नियंत्रक (एमएफसी) न केवल इसमें द्रव्यमान प्रवाह मीटर का कार्य होता है, लेकिन इससे भी महत्वपूर्ण बात यह है कि यह स्वचालित रूप से गैस प्रवाह को नियंत्रित कर सकता है, अर्थात, उपयोगकर्ता अपनी आवश्यकताओं के अनुसार प्रवाह निर्धारित कर सकता है, और एमएफसी स्वचालित रूप से निर्धारित मूल्य पर प्रवाह को स्थिर रखता है, भले ही सिस्टम दबाव परिवेश के तापमान में उतार-चढ़ाव या परिवर्तन के कारण यह निर्धारित मूल्य से विचलित नहीं होगा।द्रव्यमान प्रवाह नियंत्रक एक स्थिर प्रवाह उपकरण है, जो एक गैस स्थिर प्रवाह उपकरण है जिसे कंप्यूटर के साथ कनेक्शन द्वारा मैन्युअल रूप से सेट या स्वचालित रूप से नियंत्रित किया जा सकता है।द्रव्यमान प्रवाह मीटर केवल मापते हैं लेकिन नियंत्रित नहीं करते।द्रव्यमान प्रवाह नियंत्रक में एक नियंत्रण वाल्व होता है, जो गैस प्रवाह को माप और नियंत्रित दोनों कर सकता है।
द्वितीय.संरचना क्या है औरसंचालन सिद्धांत?
1、 संरचना
2、संचालन सिद्धांत
जब प्रवाह इनटेक पाइप में प्रवेश करता है, तो अधिकांश प्रवाह डायवर्टर चैनल से होकर गुजरता है, जिसका एक छोटा हिस्सा सेंसर के अंदर केशिका ट्यूब में प्रवेश करता है।की विशेष संरचना के कारण
डायवर्टर चैनल, गैस प्रवाह के दो भाग सीधे आनुपातिक हो सकते हैं।सेंसर पहले से गरम और गर्म होता है, और अंदर का तापमान इनलेट हवा के तापमान से अधिक होता है।इस समय, गैस के छोटे हिस्से का द्रव्यमान प्रवाह केशिका ट्यूब द्वारा गर्मी हस्तांतरण के सिद्धांत और तापमान अंतर कैलोरीमेट्री के सिद्धांत द्वारा मापा जाता है।इस तरह से मापा गया गैस का प्रवाह तापमान और दबाव के प्रभावों को नजरअंदाज कर सकता है।सेंसर द्वारा पता लगाया गया प्रवाह मापने का संकेत सर्किट बोर्ड में इनपुट होता है और प्रवर्धित और आउटपुट होता है, और एमएफएम का कार्य पूरा हो जाता है।सर्किट बोर्ड में पीआईडी बंद लूप स्वचालित नियंत्रण फ़ंक्शन जोड़ना, सेंसर द्वारा मापे गए प्रवाह माप सिग्नल की तुलना उपयोगकर्ता द्वारा दिए गए सेट सिग्नल से करें।इसके आधार पर, नियंत्रण वाल्व को नियंत्रित किया जाता है ताकि प्रवाह का पता लगाने वाला संकेत सेट सिग्नल के बराबर हो, इस प्रकार एमएफसी के कार्य को साकार किया जा सके।
तृतीय.अनुप्रयोग और सुविधाएँ.
एमएफसी, जिसे व्यापक रूप से क्षेत्रों में लागू किया जाता है: अर्धचालक और आईसी निर्माण, विशेष सामग्री विज्ञान, रासायनिक उद्योग, पेट्रोलिक उद्योग, फार्मास्युटिकल उद्योग, पर्यावरण संरक्षण और वैक्यूम सिस्टम शोध, आदि। विशिष्ट अनुप्रयोगों में शामिल हैं: माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक प्रक्रिया उपकरण जैसे प्रसार , ऑक्सीकरण, एपिटैक्सी, सीवीडी, प्लाज्मा नक़्क़ाशी, स्पटरिंग, आयन आरोपण;वैक्यूम जमाव उपकरण, ऑप्टिकल फाइबर पिघलने, सूक्ष्म प्रतिक्रिया उपकरण, मिश्रण और मिलान गैस प्रणाली, केशिका प्रवाह नियंत्रण प्रणाली, गैस क्रोमैटोग्राफ और अन्य विश्लेषणात्मक उपकरण।
एमएफसी उच्च सटीकता, उत्कृष्ट पुनरावृत्ति, त्वरित प्रतिक्रिया, सॉफ्ट-स्टार्ट, बेहतर विश्वसनीयता, ऑपरेशन दबाव की विस्तृत विविधता रेंज (उच्च दबाव और वैक्यूम स्थितियों में अच्छा संचालन), सरल सुविधाजनक संचालन, लचीली स्थापना, स्वचालित रूप से करने के लिए पीसी से कनेक्ट करना संभव बनाता है। उपयोगकर्ताओं के सिस्टम पर नियंत्रण.
चतुर्थ.एफ का निर्धारण और निपटान कैसे करेंऐल्युरेस?
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पोस्ट करने का समय: जुलाई-29-2022