ज्ञान - वैक्यूम वाल्व

I. वाल्व का परिचय
वैक्यूम वाल्व एक वैक्यूम सिस्टम घटक है जिसका उपयोग वायु प्रवाह की दिशा बदलने, गैस प्रवाह के आकार को समायोजित करने, वैक्यूम सिस्टम में पाइपलाइन को काटने या जोड़ने के लिए किया जाता है।वैक्यूम वाल्व के समापन भागों को रबर सील या धातु सील द्वारा सील किया जाता है।

द्वितीय.सामान्य वैक्यूम वाल्व अनुप्रयोग।
वैक्यूम वाल्व
उच्च या अति-उच्च वैक्यूम सिस्टम उपकरण में उपयोग किया जाता है जब वैक्यूम को बंद वैक्यूम हैंडलिंग सिस्टम में बनाए रखा जाना चाहिए।वैक्यूम वाल्व का उपयोग वैक्यूम चैम्बर में हवा के प्रवाह को नियंत्रित करने, अलग करने, वेंट करने, दबाव में कमी प्रदान करने या संचालन को नियंत्रित करने के लिए किया जाता है।गेट वाल्व, इनलाइन वाल्व और कोण वाल्व उच्च या अति-उच्च वैक्यूम अनुप्रयोगों के लिए उपयोग किए जाने वाले सबसे सामान्य प्रकार के वैक्यूम वाल्व हैं।अतिरिक्त वाल्व प्रकारों में तितली वाल्व, ट्रांसफर वाल्व, बॉल वाल्व, पेंडुलम वाल्व, ऑल-मेटल वाल्व, वैक्यूम वाल्व, एल्यूमीनियम कोण वाल्व, टेफ्लॉन-लेपित वैक्यूम वाल्व और स्ट्रेट-थ्रू वाल्व शामिल हैं।

तितली वाल्व
तेजी से खुलने वाले वाल्व होते हैं जिनमें धातु की डिस्क या वेन होते हैं जो पाइपलाइन में प्रवाह की दिशा में समकोण पर घूमते हैं और जब अपनी धुरी पर घूमते हैं, तो वाल्व वाल्व बॉडी में सीट को सील कर देता है।

स्थानांतरण वाल्व (आयताकार गेट वाल्व)
पृथक्करण वाल्व लोड-लॉक वैक्यूम कक्षों और स्थानांतरण कक्षों के बीच, और अर्धचालक विनिर्माण उपकरण में स्थानांतरण कक्षों और प्रसंस्करण कक्षों के बीच उपयोग के लिए उपयुक्त हैं।

वैक्यूम बॉल वाल्व
एक समान सीलिंग तनाव के लिए मैचिंग सर्कुलर सीटों के साथ एक गोलाकार क्लोजर असेंबली के साथ क्वार्टर टर्न स्ट्रेट फ्लो वाल्व हैं।

पेंडुलम वाल्व
प्रक्रिया निर्वात कक्ष और टर्बोमोलेक्यूलर पंप इनलेट के बीच लगाया गया एक बड़ा थ्रॉटल वाल्व है।ये वैक्यूम पेंडुलम वाल्व आमतौर पर ओएलईडी, एफपीडी और पीवी औद्योगिक विनिर्माण प्रणालियों सहित अनुप्रयोगों के लिए गेट या पेंडुलम वाल्व के रूप में डिजाइन किए जाते हैं।

ऑल-मेटल वाल्व
अल्ट्रा-हाई वैक्यूम वातावरण में उपयोग के लिए डिज़ाइन किया गया है जहां उच्च तापमान इलास्टोमर्स और क्रायोजेनिक गैसकेट धातुओं के उपयोग की अनुमति नहीं देता है।बेकेबल ऑल-मेटल वाल्व वायुमंडलीय दबाव से 10-11 एमबार से नीचे तक विश्वसनीय उच्च तापमान सीलिंग प्रदान करते हैं।

वैक्यूम वाल्व
सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रणालियों और रासायनिक और कण संदूषण वाले अनुप्रयोगों में विश्वसनीय रूप से काम करें।इनका उपयोग रफ वैक्यूम, हाई वैक्यूम या अल्ट्रा-हाई वैक्यूम वातावरण में किया जा सकता है।

एल्यूमीनियम कोण वाल्व
इन वाल्वों के इनलेट और आउटलेट एक दूसरे से समकोण पर हैं।ये कोण वाल्व एल्यूमीनियम A6061-T6 से बने होते हैं और इनका उपयोग सेमीकंडक्टर और उपकरण निर्माण, अनुसंधान एवं विकास और औद्योगिक वैक्यूम सिस्टम में मोटे से उच्च वैक्यूम अनुप्रयोगों के लिए किया जाता है।

टेफ्लॉन कोटेड वैक्यूम वाल्व एक टिकाऊ और अत्यधिक रासायनिक प्रतिरोधी कोटिंग के साथ एक पूरी तरह से इंजीनियर स्टेनलेस स्टील वैक्यूम घटक उपकरण है।

तृतीय.वैक्यूम वाल्व के लक्षण.
दबाव वायुमंडलीय दबाव से कम है और वाल्व फ्लैप पर दबाव ड्रॉप 1 किलो बल/सेमी से अधिक नहीं हो सकता है।माध्यम का कार्यशील तापमान प्रयुक्त उपकरण की प्रक्रिया पर निर्भर करता है।तापमान आमतौर पर -70 ~ 150°C की सीमा से अधिक नहीं होता है।ऐसे वाल्वों के लिए सबसे बुनियादी आवश्यकता कनेक्शन की उच्च स्तर की जकड़न और संरचना और गैसकेट सामग्री की सघनता सुनिश्चित करना है।

मध्यम दबाव के अनुसार वैक्यूम वाल्वों को चार समूहों में विभाजित किया जा सकता है।
1) कम वैक्यूम वाल्व: मध्यम दबाव p=760~1 mmHg।
2) मध्यम वैक्यूम वाल्व: p=1×10-3 mmHg।
3）उच्च वैक्यूम वाल्व: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4）अल्ट्रा-हाई वैक्यूम वाल्व: p≤1×10-8 mmHg।

250 मिमी से कम के मार्ग व्यास वाले क्लोज-सर्किट वाल्व के रूप में, व्यापक रूप से उपयोग किया जाने वाला स्टेम रैखिक आंदोलन के साथ एक वैक्यूम बेलो शट-ऑफ वाल्व है।हालाँकि, गेट वाल्व अधिक प्रतिबंधित हैं, लेकिन यह मुख्य रूप से बड़े व्यास के लिए है।गोलाकार प्लग वाल्व (बॉल वाल्व), प्लंजर वाल्व और तितली वाल्व भी उपलब्ध हैं।वैक्यूम वाल्व के लिए प्लग वाल्व को बढ़ावा नहीं दिया गया है क्योंकि उन्हें तेल स्नेहन की आवश्यकता होती है, जिससे तेल वाष्प के लिए वैक्यूम सिस्टम में प्रवेश करना संभव हो जाता है, जिसकी अनुमति नहीं है।वैक्यूम वाल्वों को क्षेत्र में मैन्युअल रूप से और दूर से, साथ ही विद्युत, विद्युत चुम्बकीय (सोलेनॉइड वाल्व), वायवीय और हाइड्रॉलिक रूप से नियंत्रित किया जा सकता है।