Kev Paub - Nqus Valve

I. Taw qhia ntawm lub valve
Lub tshuab nqus tsev vacuum yog lub tshuab nqus tsev twj siv los hloov cov kev taw qhia ntawm airflow, kho qhov loj ntawm cov pa ntws, txiav tawm lossis txuas cov kav dej hauv lub tshuab nqus tsev.Qhov kaw qhov chaw ntawm lub tshuab nqus tsev vacuum yog kaw los ntawm roj hmab foob lossis hlau foob.

II.Kev siv lub tshuab nqus tsev vacuum.
Nqus li qub
Siv cov cuab yeej siv tshuab nqus tsev siab lossis ultra-siab thaum lub tshuab nqus tsev yuav tsum tau khaws cia hauv lub tshuab nqus tsev kaw.Lub tshuab nqus tsev vacuum yog siv los tswj cov huab cua ntws mus rau hauv lub tshuab nqus tsev chamber, cais tawm, qhov cua, muab kev txo qis los yog tswj kev ua haujlwm.Lub rooj vag li qub, Inline li qub thiab lub kaum ntse ntse li qub yog hom ntau tshaj plaws ntawm lub tshuab nqus tsev siv rau kev siv lub tshuab nqus tsev siab lossis ultra-siab.Lwm hom valve muaj xws li npauj npaim li qub, hloov li qub, pob li qub, pendulum li qub, tag nrho cov hlau li qub, lub tshuab nqus tsev, lub kaum sab xis aluminium, Teflon-coated nqus li qub thiab ncaj nraim li qub.

Npauj npaim li qub
yog cov ceev qhib li qub uas muaj cov hlau discs los yog cov vanes uas pivot ntawm txoj cai kaum mus rau cov kev taw qhia ntawm ntws nyob rau hauv lub pipeline thiab thaum tig ntawm lawv axis, lub valve kaw lub rooj zaum nyob rau hauv lub valve lub cev.

Hloov cov li qub (rectangular gate valves)
Kev sib cais li qub tsim nyog rau kev siv nruab nrab ntawm lub tshuab nqus tsev vacuum thiab hloov chaw, thiab nruab nrab ntawm cov chav hloov pauv thiab cov chav ua haujlwm hauv cov khoom siv semiconductor.

Nqus Pob Valves
yog peb lub hlis twg tig ncaj nraim li qub nrog lub voj voog kaw nrog cov rooj zaum sib txuam rau kev sib khi zoo sib xws.

Pendulum li qub
yog ib tug loj throttle valve haum nruab nrab ntawm lub tshuab nqus tsev chamber thiab lub turbomolecular twj tso kua mis inlet.Lub tshuab nqus tsev pendulum li qub no feem ntau yog tsim los ua rooj vag lossis pendulum li qub rau kev siv xws li OLED, FPD thiab PV industrial manufacturing systems.

All-hlau li qub
Tsim los siv nyob rau hauv ultra-high lub tshuab nqus tsev ib puag ncig qhov kub siab tsis pub siv cov elastomers thiab cryogenic gasket hlau.Bakeable tag nrho-hlau li qub muab txhim khu kev qha kub sealing los ntawm atmospheric siab mus rau hauv qab 10-11 mbar.

Nqus li qub
Ua haujlwm ntseeg tau hauv cov tshuab tsim khoom semiconductor thiab hauv kev siv tshuaj lom neeg thiab cov khoom sib kis.Lawv tuaj yeem siv rau hauv lub tshuab nqus tsev ntxhib, lub tshuab nqus tsev siab lossis lub tshuab nqus tsev ultra-siab.

Aluminium kaum li qub
Lub inlet thiab qhov hluav taws xob ntawm cov li qub no yog nyob ntawm txoj cai kaum rau ib leeg.Lub kaum sab xis no yog ua los ntawm txhuas A6061-T6 thiab siv nyob rau hauv semiconductor thiab instrumentation manufacturing, R&D thiab industrial nqus tshuab rau ntxhib mus rau siab nqus daim ntaub ntawv.

Teflon coated lub tshuab nqus tsev vacuum yog lub tshuab nqus tsev twj tso kua mis tag nrho cov khoom siv nrog cov khoom siv ruaj khov thiab cov tshuaj tiv thaiv zoo heev.

III.Cov yam ntxwv ntawm lub tshuab nqus tsev vacuum.
Lub siab yog qis dua atmospheric siab thiab lub siab poob ntawm lub valve nrov plig plawg tsis tuaj yeem tshaj 1 kg quab yuam / cm.Kev ua haujlwm kub ntawm qhov nruab nrab yog nyob ntawm cov txheej txheem ntawm cov cuab yeej siv.Qhov kub thiab txias feem ntau tsis tshaj qhov ntau ntawm -70 ~ 150 ° C.Qhov tseem ceeb tshaj plaws uas yuav tsum tau muaj rau cov li qub no yog los xyuas kom meej qhov siab ntawm qhov nruj ntawm kev sib txuas thiab qhov ntom ntom ntawm cov qauv thiab cov khoom siv gasket.

Raws li qhov nruab nrab siab lub tshuab nqus tsev valve tuaj yeem muab faib ua plaub pawg.
1) Lub tshuab nqus tsev qis: nruab nrab siab p = 760 ~ 1 mmHg.
2) Lub tshuab nqus tsev nruab nrab: p = 1 × 10-3 mmHg.
3) Lub tshuab nqus tsev siab: p = 1 × 10-4 ~ 1 × 10-7 mmHg.
4) Ultra-siab lub tshuab nqus tsev vacuum: p≤1 × 10-8 mmHg.

Raws li lub kaw-circuit valve nrog txoj kab uas hla tsawg dua 250 mm, lub qia siv dav yog lub tshuab nqus tsev vacuum kaw-off valve nrog linear txav.Lub rooj vag li qub, txawm li cas los xij, muaj kev txwv ntau dua, tab sis qhov no feem ntau yog rau cov kab loj loj.Tsis tas li ntawd muaj yog spherical plug li qub (pob li qub), plunger li qub thiab npauj npaim li qub.Plug li qub rau lub tshuab nqus tsev vacuum tsis tau txhawb nqa vim tias lawv xav tau cov roj lubrication, ua rau cov roj vapor nkag mus rau hauv lub tshuab nqus tsev, uas tsis tso cai.Lub tshuab nqus tsev tuaj yeem tswj tau manually thiab remotely hauv thaj teb, nrog rau hluav taws xob, electromagnetically (solenoid li qub), pneumatically thiab hydraulically.