Beijing Super Q Technology Co., Ltd. muaj EV series roj-lubricated 600L, 1200L, 1600L compound molecular twj thiab 3600L turbine hom molecular twj;Roj-lubricated 300L, 650L, 1300L, 2000L compound molecular twj.Kab lus no tsom rau kev piav qhia txog cov yam ntxwv, kev teeb tsa, kev siv thiab kev saib xyuas ntawm EV-Z series roj lubrication compound molecular twj.
Cov yam ntxwv ntawm cov qauv
EV series roj molecular twj tso kua mis adopts imported precision ceramic bearings, lub twj tso kua mis rotor los ntawm lub dynamic tshuav nyiaj li cas, ruaj khov thiab txhim khu kev qha lag luam, lub cev muaj zog squirrel tawb peb-theem lub cev muaj zog, bearing lubrication los ntawm roj lubrication, yuav mounted nyob rau hauv tej orientation.
nstallation thiab siv
I. Txog Qhov Kawg Siab
Qhov "Qhov kawg Siab" ntawm lub twj tso kua mis molecular yog raws li ISO thoob ntiaj teb tus qauv "Tsim qauv rau kev ua tau zoo ntawm cov twj turbomolecular", Tom qab ci tag nrho lub twj tso kua mis lub cev thiab lub npog qhov ntsuas (48 teev ntawm ziab thiab degassing), qhov siab tshaj plaws ntsuas ntawm txoj haujlwm tshwj xeeb ntawm qhov ntsuas npog.tus nqi siab.Hauv kev siv tiag tiag, tus nqi ntawm 'limit pressure' muaj feem xyuam rau kev ua haujlwm siab thiab siv tau zoo ntawm lub twj tso kua mis rov qab.Xaiv lub twj tso kua mis rov qab ua haujlwm tau zoo dua kom tau txais lub tshuab nqus tsev ntau dua thiab txo lub sijhawm tso tawm.
Tsis tas li ntawd, vim qhov tshwj xeeb ntawm lub hauv paus ntsiab lus ntawm lub twj tso kua mis molecular, cov cua nkag ntawm lub twj tso kua mis yuav tsum tau dav raws li qhov ua tau, thiab cov pa roj los ntawm lub tshuab nqus tsev mus rau qhov chaw nres nkoj molecular twj tso kua mis yuav tsum tsis txhob tig ntau npaum li cas. ua tau, thiaj li ua tau zoo tshaj plaws efficiency ntawm lub twj tso kua mis molecular, thiab Guaranteed siab dua qhov kawg lub tshuab nqus tsev vacuum.
II.Kev teeb tsa
2.1 Qhib pob
Ua ntej kev teeb tsa, xyuas seb lub twj tso kua mis molecular puas tau puas hauv kev thauj mus los.
Cov txheej txheem yog raws li nram no: xa mus rau cov lus qhia fais fab mov ntawm lub twj tso kua mis molecular, txuas nws kom raug nrog lub twj tso kua mis molecular, tsis tas yuav hla dej los yog lub tshuab nqus tsev, pib lub twj tso kua mis molecular, thiab xyuas seb nws puas khiav thiab seb puas muaj ib qho twg. suab txawv txav.Yog tias muaj qhov txawv txav, nias lub khawm nres hauv lub sijhawm kom nres lub twj tso kua mis.Nco tseg: Lub zog zaus yuav tsum tsis txhob siab tshaj 25Hz thaum lub sijhawm ua haujlwm
2.2 Txuas lub Nqus Flange siab
Kev sib txuas ntawm lub twj tso kua mis molecular tuaj yeem raug hoisted los ntawm lub tshuab nqus tsev siab flange lossis tsau rau ntawm lub hauv paus.Lub twj tso kua mis molecular yuav tsum tau kho thaum lub tshuab nqus tsev siab flange ntawm lub twj tso kua mis molecular txuas nrog lub kaw lus los ntawm lub tshuab nqus hlau.
(Lub flange sealing nto tsis muaj khawb, thiab yuav tsum tsis muaj dab tsi ntawm lub nplhaib sealing)
2.3 Foreline nqus tsev vacuum
Ib qho kev sib cais thiab qhov cua valve yuav tsum tau nruab nruab nrab ntawm lub foreline twj tso kua mis thiab lub twj tso kua mis molecular los tiv thaiv lub tshuab twj tso kua mis rov qab roj tom qab kaw.
2.4 Txuas lub tshuab them roj
Txhawm rau kom muaj lub tshuab nqus tsev huv, tom qab lub twj tso kua mis molecular raug tso tseg, lub tshuab nqus tsev tuaj yeem ntim nrog nitrogen lossis cua qhuav.Feem ntau, lub qhov cua valve tuaj yeem txuas nrog lub kav dej hauv ntej, lossis lub tshuab nqus tsev siab tuaj yeem siv los tso cov pa roj ntawm lub tshuab nqus tsev siab.
III.Txuas qhov cua txias
Vim lub siab ceev rotating kev sib txhuam ntawm cov kabmob, cua sov ntawm lub twj tso kua mis lub cev, thiab qhov kub ntawm lub cev muaj zog, cov kabmob thiab lub cev muaj zog yuav tsum tau txias thaum lub twj tso kua mis molecular ua haujlwm.Cov cua txias feem ntau yog siv, thiab cov dej txias yog siv thaum lub ambient kub siab tshaj 38 ° C.Cov kav dej muag muag nrog lub taub sab nraud ntawm 10mm tuaj yeem txuas ncaj qha rau cov dej nkag thiab qhov hluav taws xob ntawm lub twj tso kua mis molecular.Kev siv cov dej ntws nrog cov dej ntshiab yog siv, thiab cov kais dej uas muaj nag lossis daus kuj tseem siv tau (qhov dej kub yuav tsum yog ≤28 ° C).
Cov dej tsis sib haum lossis dej kub siab yuav ua rau qhov ntsuas kub ntawm lub twj tso kua mis molecular lub cev ua haujlwm, thiab lub zog hluav taws xob yuav ceeb toom tam sim ntawd thiab nres cov zis.
Muaj ib ntus li ntawm 15 feeb (lub sijhawm tshwj xeeb yog nyob ntawm qhov kub thiab txias) tom qab cov dej tsis xav tau nres lossis cov dej kub siab dhau mus txog thaum lub tswb ntsuas molecular vim overheating.
IV.Ci
Qhov siab kawg yog nyob ntawm qhov huv ntawm lub twj tso kua mis sab hauv thiab lub tshuab nqus tsev nrog rau lub tshuab nqus tsev chamber.Txhawm rau kom tau txais qhov siab tshaj plaws hauv lub sijhawm luv tshaj plaws, lub tshuab nqus tsev thiab lub twj tso kua mis molecular yuav tsum tau ci.Ci yuav tsum tau nqa tawm nrog lub twj tso kua mis molecular khiav ib txwm.
Qhov kub ntawm lub twj tso kua mis molecular yuav tsum qis dua 80 ° C, lub tshuab nqus tsev siab flange txuas nrog lub twj tso kua mis qhov chaw nres nkoj yuav tsum tsis txhob siab tshaj 120 ° C, thiab qhov kub ntawm lub tshuab nqus tsev yog feem ntau tsawg dua 300 ° C.ntawm kev puas tsuaj.
Lub sij hawm ci yog nyob ntawm qhov muaj kuab paug ntawm lub cev thiab lub twj tso kua mis molecular thiab qhov kev cia siab ntawm kev ua haujlwm siab, tab sis lub sijhawm tsawg kawg yuav tsum tsis pub tsawg dua 4 teev.
Txhawm rau kom tau txais lub tshuab nqus tsev ntawm 10-4Pa, hauv paus ntsiab lus, tsis tas yuav ci;kom tau txais lub tshuab nqus tsev ntawm 10-5Pa, tsuas yog ci lub tshuab nqus tsev nws tus kheej txaus;kom tau txais lub tshuab nqus tsev ultra-siab, lub tshuab nqus tsev thiab lub twj tso kua mis molecular feem ntau yuav tsum tau muab ci rau tib lub sijhawm.Kev ntsuas qhov system yuav tsum tau ci tag nrho, txwv tsis pub nws yuav cuam tshuam qhov tseeb ntawm cov ntaub ntawv ntsuas vim nws qhov kev tawm dag zog.
V.Kev ua haujlwm
Paub meej tias lub tshuab nqus tsev ua ntej zoo dua 15Pa, nias RON tus yuam sij kom pib lub twj tso kua mis molecular, thiab nias tus yuam sij STOP kom nres tom qab siv.Nco ntsoov!Tus yuam sij pib mos yuav tsum tau siv rau thawj zaug siv lossis rov siv dua tom qab siv sijhawm ntev.Kev pib ua haujlwm muag muag yog raws li hauv qab no: lub tshuab nqus tsev theem tam sim no zoo dua li 15Pa thiab qhov tseem ceeb pib yog nias.Tom qab 110 feeb, lub twj tso kua mis molecular mus txog qhov ua haujlwm zaus ntawm 550Hz (550Hz sib haum rau EV300Z molecular twj tso kua mis, 400Hz Raws li EV650Z, 1300Z, 2000 molecular twj tso kua mis,), ces nias lub soft start key (tus yuam sij yog nce) kom nres pib.
(Thaum lub sijhawm ua haujlwm li qub ntawm lub twj tso kua mis molecular, nws yog txwv tsis pub nqa, txav los yog sau nrog huab cua.)
VI.Kev tu thiab kho
6.1 Ntxuav lub twj tso kua mis
Thaum cov pa tawm thiab desorption tus nqi ntawm lub tshuab nqus tsev tsis hloov, thiab lub tshuab nqus tsev ua haujlwm tsis tuaj yeem rov qab tau txawm tias tom qab lub sijhawm ntev ntawm kev ci, lossis thaum lub twj tso kua mis rov qab hnyav, lub twj tso kua mis yuav tsum tau ntxuav.
(Yog tias lub twj tso kua mis yuav tsum tau kho thiab ntxuav, nws yuav tsum tau muab tshem tawm los ntawm cov kws tshaj lij.Yog hais tias nws yog disassembled yam tsis muaj kev cob qhia, qhov tshwm sim yuav nyob ntawm koj tus kheej txaus ntshai.)
6.2 Hloov cov bearings
Txij li thaum lub twj tso kua mis yuav tsum tau sib npaug, cov kabmob tsis tuaj yeem hloov tau los ntawm tus neeg siv.
6.3 Kev tiv thaiv kev cuam tshuam
Molecular twj tso kua mis yog lub tshuab ua haujlwm siab ceev.Qhov sib txawv ntawm cov phaj txav thiab cov phaj zoo li qub yog qhov me me, thiab nws tsis tuaj yeem tiv taus ntau dhau.Qhov ceev thiab acceleration ntawm lub tsheb thauj mus los nyob rau hauv kev sib cuag nrog nws yuav tsum raug txwv.Tsis tas li ntawd, qhov cuam tshuam tam sim ntawm atmospheric ntim thiab poob ntawm cov khoom nyuaj sab nraud thaum lub sijhawm ua haujlwm ntawm lub twj tso kua mis molecular yuav ua rau muaj kev puas tsuaj loj rau lub twj tso kua mis molecular.
6.4 Kev sib cais ntawm kev vibration
Feem ntau, lub twj tso kua mis molecular tau raug soj ntsuam nruj me ntsis, thiab qhov kev vibration yog me me, thiab nws tuaj yeem txuas ncaj qha rau lub twj tso kua mis.Rau cov ntawv thov kev ntsuas siab (xws li electron microscopes, thiab lwm yam), nws raug nquahu kom siv cov kev vibration isolators kom txo tau qhov cuam tshuam ntawm kev co ntawm qhov ntsuas.
6.5 Muaj zog magnetic teb shielding
Lub rotating rotor generates eddy tam sim no nyob rau hauv lub magnetic teb, uas yuav ua rau lub rotor kub.Txij li thaum tshav kub yuav ua rau lub zog ntawm cov khoom siv txhuas tsis muaj zog, daim ntawv thov ntawm lub twj tso kua mis molecular hauv cov hlau nplaum yog txwv rau qee yam.
6.6 electromagnetic cuam tshuam
Qee cov cuab yeej siv siab, xws li cov twj molecular thiab zaus hloov pauv, yuav ua rau muaj kev cuam tshuam electromagnetic rau ib puag ncig ib puag ncig.Tab sis nyob rau hauv cov ntaub ntawv ntawm ua tau raws li thoob ntiaj teb cov qauv, daim ntawv thov ntawm molecular twj yuav tsis txwv.Yog tias qhov yuav tsum tau ua tiav, cov ntawv pov thawj sib thooj yuav tsum tau muab rau tib lub sijhawm.
6.7 Kev txwv tsis pub muaj hluav taws xob muaj zog
Feem ntau cov ntaub ntawv yuav hloov lawv cov khoom nyob rau hauv ib tug muaj zog radioactive ib puag ncig, tshwj xeeb tshaj yog cov organic cov ntaub ntawv (xws li molecular twj tso kua mis roj, sealing rings) thiab semiconductor Cheebtsam.Molecular twj tso kua mis tuaj yeem tiv thaiv hluav taws xob siv ntawm 105rad.Los ntawm kev xaiv cov khoom siv hluav taws xob los tiv thaiv hluav taws xob thiab siv lub zog tsav hluav taws xob, lub zog tiv thaiv hluav taws xob tuaj yeem txhim kho.Thaum siv tritium, txhawm rau tiv thaiv lub xov tooj cua tritium los ntawm kev khiav mus rau hauv qhov chaw, tag nrho cov nplhaib sib khi hauv lub twj tso kua mis molecular yuav tsum tau ua los ntawm cov ntaub ntawv hlau.
6.8 Foreline twj tso kua mis
Ntawm qhov kawg siab kawg ntawm lub twj tso kua mis molecular kev ua tau zoo nkhaus, qhov nkag siab ntawm thaj tsam ntawm 200 Pa mus rau 10-1 Pa, hla peb qhov kev txiav txim siab.Qhov nruab nrab txoj kev pub dawb ntawm cov roj molecules ua me me, thiab cov nyhuv ntawm cov twj tso kua mis pib deteriorate.Yog li ntawd, nyob rau hauv txoj kev hloov chaw, qhov ntau dua ntawm kev siv lub twj tso kua mis rov qab, qhov ntau dua qhov ceev ntawm lub twj tso kua mis molecular.Lub foreline twj tso kua mis yuav tsum tsis pub tsawg tshaj 3 L / S yam tsawg kawg nkaus.
Feem ntau faults thiab teeb meem tua
EV-Z series roj-lubricated compound molecular twj tso kua mis yog lub tshuab nqus tsev twj tso kua mis uas paub txog huab cua rho tawm los ntawm kev sib hloov ceev ntawm ntau theem dynamic thiab zoo li qub turbine hniav.Lub twj tso kua mis turbomolecular muaj cov yam ntxwv ntawm kev siv siab ceev thiab siab compression piv nyob rau hauv cov molecular flow cheeb tsam, thiab yog ntau zog-txuag tshaj lub diffusion twj tso kua mis thiab tsis muaj roj thiab cov pa paug.EV series roj-lubricated compound molecular twj tso kua mis yog lub twj tso kua mis molecular nrog qhov loj tshaj plaws kev ceev ntawm 100 calibers hauv Suav teb.
Lub twj tso kua mis molecular no tsis muaj kev xaiv thiab tsis muaj lub cim xeeb cuam tshuam rau cov roj uas yuav tsum tau siv.Vim lub siab compression piv ntawm cov roj uas muaj qhov hnyav molecular, lub twj tso kua mis tuaj yeem tau txais lub tshuab nqus tsev siab thiab lub tshuab nqus tsev ultra-high tsis muaj cov ntxiab txias thiab roj baffles..Nws yog dav siv nyob rau hauv ntau yam ntawm electronics, metallurgy, tshuaj lom neeg kev lag luam, scientific kev tshawb fawb thiab tshuab nqus tsev tshuab.
Lub sij hawm xa tuaj: Plaub Hlis-01-2022