Kompaund molekularne pumpe serije EV
Tehnički podaci serije EV
Model | EV-600 EV-600F | EV-1200 EV-1200F | EV-1600 EV-1600F | ||||
Ulazna prirubnica (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
Izlazna prirubnica (mm) | 40 KF | 40 KF | 50 KF | ||||
Brzina pumpanja (L/S) | 600 | 1200 | 1600 | ||||
Omjer kompresije | N2 | >109 | >109 | >109 | |||
H2 | >8X103 | >1X104 | >1X104 | ||||
Krajnji vakuum (Pa) | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | |
Brzina rotacije (rpm) | 24000 | 24000 | 24000 | ||||
Vibracija | ≤0,1 μm | ≤0,1 μm | ≤0,15 μm | ||||
Vrijeme pokretanja (min) | <4,5 | <5 | <6 | ||||
Potporna pumpa | 4-8 L/S | 8-15 L/S | 15 L/S | ||||
Metoda hlađenja | Vodeno (zračno) hlađenje | Vodeno (zračno) hlađenje | Vodeno (zračno) hlađenje | ||||
Temperatura rashladne vode (℃) | ≤20 | ≤20 | ≤20 | ||||
Temperatura okoline(℃) | ≤35 | ≤35 | ≤35 | ||||
Količina protoka rashladne vode | 1-2 L/min | 1-2 L/min | 1-2 L/min | ||||
Temperatura pečenja(℃) | <120 | <120 | <120 | ||||
Snaga grijača(w) | <250 | <300 | <300 | ||||
Ulazni napon grijača(v) | AC220 | AC220 | AC220 | ||||
Montaža | Okomito ±5° | Okomito ±5° | Okomito ±5° | ||||
Težina (kg) | ≈25 | ≈29 | ≈31 |
Atmosferska krivulja crpljenja spoja
Molekularna pumpa
Krivulja omjera kompresije dušika i vodika
molekularnom pumpom spojeva
Tablica montažnih dimenzija serije EV složene molekularne pumpe
Model | EV-600 | EV-1200 | EV-1600 | ||||
Ulazna prirubnica (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 | |
D2 | Φ212 | Φ212 | Φ237 | Φ237 | Φ274 | Φ274 | |
D3 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ296 | Φ296 | |
D4 | ¨145.7 | ¨145.7 | ¨167.6 | ¨167.6 | ¨183,9 | ¨183,9 | |
H1 | 375 | 375 | 405 | 405 | 393 | 393 | |
H2 | 235 | 235 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H3 | 238 | 238 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H4 | 108 | 108 | 113 | 113 | 110 | 110 | |
H5 | 4 | 4 | 19 | 19 | 16 | 16 | |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 160 | 160 | |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 176 | 176 | |
Otvor za vijak na nozici pumpe | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | |
Izlazna prirubnica (mm) | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF50 | KF50 |
Molekularne pumpe spoja zračnog hlađenja serije EV
Zrakom hlađena složena molekularna pumpa serije EV sastoji se od turbomolekularne pumpe i pumpe za vuču diska.Ima karakteristike visoke brzine pumpanja i omjera kompresije za molekularni protok turbomolekularne pumpe, velike brzine pumpanja i omjera kompresije za visoki tlak vučne pumpe, te proširuje opseg primjene molekularne pumpe.
Složena molekularna pumpa nema selektivnost i učinak pamćenja na pumpani plin.Zbog svog visokog omjera kompresije prema plinu velike molekularne težine, pumpa može postići čisti visoki i ultra visoki vakuum bez hladnog zamka i uljne pregrade.Široko se koristi u raznim područjima elektronike, metalurgije, kemijske industrije, znanstvenih istraživanja i vakuumske tehnologije.
Model | EV-600F | EV-1200F | EV-1600F | |||
Ulazna prirubnica (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 |
D2 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ274 | Φ274 |
D3 | ¨145.7 | ¨145.7 | ¨167.6 | ¨167.6 | ¨183,8 | ¨183,8 |
H1 | 455 | 455 | 472 | 472 | 465 | 465 |
H2 | 217.5 | 217.5 | 210 | 210 | 214.5 | 214.5 |
H3 | 151 | 151 | 151 | 151 | 153 | 153 |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 161 | 161 |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 166 | 166 |
Otvor za vijak na nozici pumpe | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 |