Regulator masenog protoka Mjerač masenog protoka CS200
Značajke
1. Visoka točnost i brz odgovor
Točnost CS200 MFC je poboljšana na ±1,0% SP, a najnapredniji modeli imaju smanjeno vrijeme odziva manje od 0,8 sekundi.
2. Mali pomak nule i temperaturni koeficijent
Izum nove senzorske tehnologije omogućuje CS200 MFC da održi stabilnost i izdrži temperaturne fluktuacije.Bez pojačala za automatsko podešavanje nule, očekivani pomak nule manji je od 0,6%FS/godina, a temperaturni koeficijent je manji od 0,02%FS/℃ (nula), 0,05%FS/℃ (raspon).
3. Metalno zabrtvljeni modeli i značajka visoke čistoće
Mokri put protoka serije CS200 MFC izrađen je od površinski pasiviziranog nehrđajućeg čelika.Svi CS200 MFC-i sastavljaju se u Sevenstarovim ultračistim čistim sobama klase 100 u skladu sa standardima SEMI i ISO 9001.
4. Kompatibilna sučelja
CS200 MFC je kompatibilan sa sljedećim sučeljima, koja kupac može odabrati: ±8V-±16V dvostruko napajanje i +14V-+28V jednostrano napajanje;ulaz i izlaz digitalnog ili analognog signala;SEMI standardne mehaničke dimenzije;i RS-485 ili DeviceNet komunikacijski modul.
5. Razne funkcije
Snažni korisnički softver standardno dolazi sa svakim modelom, dok su dodatne funkcije kao što su više plinova, više raspona, automatsko nuliranje, alarmi, meki start i odgoda dostupne po izboru korisnika.
Specifikacija
| CS200 | |||||||
| Tip | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Puni raspon ljestvice (N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Točnost | ±1,0% SP (≥35% FS) ±0,35% FS? (<35% FS) | ||||||
| Linearnost | ±0,5% FS | ||||||
| Ponovljivost | ±0,2% FS | ||||||
| Vrijeme odziva | ≤1 s | ≤0,8 s (SEMI E17-0600) | |||||
| Položaj mirovanja ventila | Normalno zatvoreno ili | Nema ventila | Normalno zatvoreno ili | Nema ventila | Normalno zatvoreno ili | Nema ventila | |
| Normalno otvoren（100 sccm≤FS≤5 slm） | Normalno otvoren（100 sccm≤FS≤5 slm） | Normalno otvoren（100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| Diferencijalni tlak | 0,05～0,35MPa （Protok≤10slm） | ＜0,02 MPa | (0,05～0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02 MPa | (0,05～0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02 MPa | |
| 0,1～0,35MPa（10slm＜Protok≤30slm） | (0,1～0,35) MPa（＞10slm） | (0,1～0,35) MPa（＞10slm） | |||||
| 0,2～0,45MPa （Protok＞30slm） | |||||||
| Maksimalni radni tlak | 0,45 MPa | |||||
| Temperatura | Nula: ≤±0,05% FS/℃; | Nula: ≤±0,02% FS/℃;Raspon: ≤±0,05% FS/℃ | ||||
| Koeficijent | Raspon: ≤±0,1% FS/℃（Protok≤30slm） | |||||
| Raspon: ≤±0,2% FS/℃（Protok>30slm） | ||||||
| Proof Pressure | 3 MPa (435 psig) | |||||
| Nulti pomak | ＜0,6%FS godišnje bez autonuliranja | |||||
| Integritet curenja | 1×10-9 atm·cc / sec He | 1×10-10atm·cc / sec He | ||||
| Mokri materijali | Viton; | Metal? (V/V od nehrđajućeg čelika, 5Ra) | Metal | |||
| Površinska kemija | —— | Omjer Cr/Fe >2,0;CrO debljina >20 Angstrema | ||||
| Završna obrada | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Radna temperatura | （5～45）℃ | （0～50）℃ | ||||
| Ulazni signal | Digitalni: RS485 ili ProfiBus | N/A | Digitalni: RS485 ili ProfiBus ili DeviceNetTM | N/A | Digitalni: RS485 ili ProfiBus ili DeviceNetTM | N/A |
| ili DeviceNetTM | Analogno: (0～5)VDC ili (4～20)mA ili (0～20)mA | Analogno: (0～5)VDC ili (4～20)mA?ili (0～20)mA | |||||
| Analogno: (0～5)VDC ili (4～20)mA ili (0～20)mA | |||||||
| Izlazni signal | Digitalno: RS485 ili DeviceNetTM ili ProfiBus Analogno: (0～5)VDC ili (4～20)mA ili (0～20)mA | ||||||
| Napajanje | ±8 ~ ±16 VDC ili +14 ~ +28 VDC (400mA) | ||||||
| Elektronički konektor | 9-pinski muški sub-D ， 15-pinski muški sub-D ，DeviceNetTM，ProfiBus, analogni | ||||||
| Okovi | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4” M; | |||||
| Kompresijski spoj Φ10; kompresijski spoj Φ6； | Kompresijski spoj Φ6, | ||||||
| Kompresijski spoj 3/8”;Kompresijski spoj 1/4”； | Kompresijski spoj Φ3, | ||||||
| Kompresijski spoj 1/8”;Kompresijski spoj Φ3； | Kompresijski spoj 1/4”, | ||||||
| F6(unutarnje)×1crijevo;f5(unutarnje)×1,5crijevo;f4(unutarnje)×1crijevo; | W-brtva, | ||||||
| A-sael ; | C-brtva | ||||||
| Težina | 1 kg | 0,8 kg | 1,2 kg | 1 kg | 1,2 kg | 1 kg | |
