Kontroleri masenog protoka（MFC) omogućuju precizno mjerenje i kontrolu masenog protoka plinova.
I. Koja je razlika između MFC-a i MFM-a?
Mjerač masenog protoka (MFM) je vrsta instrumenta koji točno mjeri protok plina, a njegova mjerna vrijednost nije netočna zbog fluktuacija temperature ili tlaka i ne zahtijeva kompenzaciju temperature i tlaka. Regulator masenog protoka (MFC) ne samo ima funkciju mjerača masenog protoka, ali što je još važnije, može automatski kontrolirati protok plina, odnosno korisnik može podešavati protok prema svojim potrebama, a MFC automatski održava protok konstantnim na zadanoj vrijednosti, čak i ako Fluktuacije ili promjene u temperaturi okoline neće uzrokovati odstupanje tlaka u sustavu od postavljene vrijednosti.Regulator masenog protoka je uređaj za stalni protok, koji je uređaj za stalni protok plina koji se može ručno postaviti ili automatski kontrolirati povezivanjem s računalom.Mjerači masenog protoka samo mjere, ali ne i kontroliraju.Regulator masenog protoka ima kontrolni ventil, koji može mjeriti i kontrolirati protok plina.
II.Kakva je struktura iprincip rada?
1、 Struktura
2、Načelo rada
Kada protok ulazi u usisnu cijev, najveći dio protoka prolazi kroz preklopni kanal, čiji mali dio ulazi u kapilarnu cijev unutar senzora.Zbog posebne strukture
skretnički kanal, dva dijela protoka plina mogu biti izravno proporcionalna.Senzor je predgrijan i grijan, a unutrašnja temperatura je viša od temperature ulaznog zraka.U ovom trenutku se maseni protok malog dijela plina mjeri principom prijenosa topline kapilarnom cijevi i principom kalorimetrije temperaturne razlike.Protok plina mjeren na ovaj način može zanemariti učinke temperature i tlaka.Signal mjerenja protoka koji detektira senzor ulazi u strujnu ploču, pojačava se i izlazi, a funkcija MFM-a je dovršena.Dodavanje funkcije automatske kontrole PID zatvorene petlje na sklopnu ploču, Usporedite signal mjerenja protoka izmjeren senzorom sa postavljenim signalom koji daje korisnik.Na temelju toga se regulacijskim ventilom upravlja tako da signal detekcije protoka bude jednak zadanom signalu, čime se ostvaruje funkcija MFC-a.
III.Prijave i značajke.
MFC， koji se naširoko primjenjuje u poljima kao što su: proizvodnja poluvodiča i IC, posebna znanost o materijalima, kemijska industrija, naftna industrija, farmaceutska industrija, zaštita okoliša i istraživanje vakuumskih sustava, itd.. Tipične primjene uključuju: mikroelektroničku procesnu opremu kao što je difuzija , oksidacija, epitaksija, CVD, plazma jetkanje, raspršivanje, ionska implantacija;oprema za vakuumsko taloženje, topljenje optičkih vlakana, oprema za mikroreakcije, plinski sustav za miješanje i usklađivanje, sustav za kontrolu kapilarnog protoka, plinski kromatograf i drugi analitički instrumenti.
MFC donosi visoku točnost, izvrsnu ponovljivost, brzi odziv, meki start, veću pouzdanost, širok izbor raspona radnog tlaka (dobar rad u situacijama visokog tlaka i vakuuma), jednostavno praktično rukovanje, fleksibilnu instalaciju, moguće povezivanje s računalom za izvođenje automatskog kontrolu nad sustavom korisnika.
IV.Kako odrediti i postupiti s fbolesti?
Naša tvrtka ima profesionalnog inženjera nakon prodaje, koji vam može pomoći u rješavanju problema u instalaciji i korištenju.
Vrijeme objave: 29. srpnja 2022