Znanje – Vakuumski ventili

I. Uvođenje ventila
Vakuumski ventil je komponenta vakuumskog sustava koja služi za promjenu smjera strujanja zraka, podešavanje veličine protoka plina, odsijecanje ili spajanje cjevovoda u vakuumskom sustavu.Dijelovi za zatvaranje vakuumskog ventila su zabrtvljeni gumenom brtvom ili metalnom brtvom.

II.Uobičajene primjene vakuumskog ventila.
Vakuumski ventili
Koristi se u opremi sustava visokog ili ultravisokog vakuuma kada se vakuum mora održavati u zatvorenom sustavu za rukovanje vakuumom.Vakuumski ventili koriste se za kontrolu protoka zraka u vakuumsku komoru, izolaciju, odzračivanje, smanjenje tlaka ili kontrolu provođenja.Zasuni, inline ventili i kutni ventili najčešći su tipovi vakuumskih ventila koji se koriste za aplikacije visokog ili ultravisokog vakuuma.Dodatne vrste ventila uključuju leptiraste ventile, prijenosne ventile, kuglaste ventile, klatne ventile, potpuno metalne ventile, vakuumske ventile, aluminijske kutne ventile, vakuumske ventile obložene teflonom i ravne ventile.

Leptir ventili
su ventili za brzo otvaranje koji se sastoje od metalnih diskova ili lopatica koje se okreću pod pravim kutom u odnosu na smjer protoka u cjevovodu i kada se okreću oko svoje osi, ventil brtvi sjedište u tijelu ventila.

Prijenosni ventili (pravokutni zasuni)
Razdjelni ventili prikladni za upotrebu između vakuumskih komora zaključanih opterećenjem i komora za prijenos, te između komora za prijenos i komora za obradu u opremi za proizvodnju poluvodiča.

Vakuumski kuglasti ventili
su četvrtokretni ventili ravnog protoka s kružnim sklopom za zatvaranje s odgovarajućim kružnim sjedištima za ravnomjerno brtvljenje.

Klatni ventili
je veliki prigušni ventil postavljen između procesne vakuumske komore i ulaza turbomolekularne pumpe.Ovi vakuumski klatni ventili obično su dizajnirani kao zasuni ili klatni ventili za primjene uključujući OLED, FPD i PV industrijske proizvodne sustave.

Potpuno metalni ventili
Dizajniran za korištenje u okruženjima s ultra visokim vakuumom gdje visoke temperature ne dopuštaju upotrebu elastomera i kriogenih metalnih brtvi.Potpuno metalni ventili koji se mogu peći pružaju pouzdano brtvljenje na visokim temperaturama od atmosferskog tlaka do ispod 10-11 mbar.

Vakuumski ventili
Pouzdano rade u sustavima za proizvodnju poluvodiča iu aplikacijama s kemijskom kontaminacijom i česticama.Mogu se koristiti u okruženjima grubog vakuuma, visokog vakuuma ili ultravisokog vakuuma.

Aluminijski kutni ventili
Ulaz i izlaz ovih ventila su međusobno pod pravim kutom.Ovi kutni ventili izrađeni su od aluminija A6061-T6 i koriste se u proizvodnji poluvodiča i instrumenata, istraživanju i razvoju te industrijskim vakuumskim sustavima za primjene u grubom do visokom vakuumu.

Vakuumski ventil presvučen teflonom potpuno je konstruiran uređaj za vakuumsku komponentu od nehrđajućeg čelika s izdržljivim premazom koji je vrlo otporan na kemikalije.

III.Karakteristike vakuumskih ventila.
Tlak je ispod atmosferskog tlaka i pad tlaka preko zaklopke ventila ne može prijeći 1 kg sile/cm.Radna temperatura medija ovisi o procesu uređaja koji se koristi.Temperatura općenito ne prelazi raspon od -70 ~ 150°C.Najosnovniji zahtjev za takve ventile je osiguranje visokog stupnja nepropusnosti spoja i gustoće strukture i materijala brtve.

Prema srednjem tlaku vakuumske ventile možemo podijeliti u četiri skupine.
1) Ventili za niski vakuum: srednji tlak p=760~1 mmHg.
2）Ventili za srednji vakuum: p=1×10-3 mmHg.
3）Visoki vakuumski ventili: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4）Ventil za ultra visoki vakuum: p≤1×10-8 mmHg.

Kao ventil zatvorenog kruga s promjerom prolaza manjim od 250 mm, široko korišteno vreteno je zaporni ventil s vakuumskim mijehom s linearnim kretanjem.Međutim, zasuni su više ograničeni, ali to je uglavnom za velike promjere.Dostupni su i kuglasti čep ventili (kuglasti ventili), klipni ventili i leptir ventili.Utični ventili za vakuumske ventile nisu promovirani jer zahtijevaju podmazivanje uljem, što omogućuje ulazak uljnih para u vakuumski sustav, što nije dopušteno.Vakuumskim ventilima se može upravljati ručno i daljinski na terenu, kao i električno, elektromagnetski (elektromagnetski ventili), pneumatski i hidraulički.